具体实施方式

以下结合附图1-6对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种新型曝光机。

参照图1，新型曝光机包括沿光刻胶100传送方向依次设置的放卷装置200、曝光装置300以及收卷装置400，其中，曝光装置300包括机架1、固设于机架1顶部的光刻板2、固设于光刻板2下方的曝光机构3以及盖设于光刻板2顶面的盖板机构4。曝光机工作过程中，光刻胶100在放卷装置200与收卷装置400的共同作用下间歇性地传送至曝光装置300内，并平铺在光刻板2顶面，此时，先利用盖板机构4盖设于光刻板2上方，再利用曝光机构3产生的聚焦电子束对光刻胶100进行曝光，使受电子束辐照后的光刻胶100的物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

参照图2和3，在本实施例中，盖板机构4包括框架41、软性压片组件42、抽真空组件43以及升降组件44，其中，框架41包括边框411以及密封圈412，边框411为方框状结构且边框411外轮廓小于光刻板2外轮廓，使得边框411能够盖设于光刻板2顶面，密封圈412通过胶粘方式固设于边框411朝向光刻板2一侧，使得边框411盖设于光刻板2顶面时，边框411与光刻板2之间具有较好的密封性。升降组件44固设于机架1上，并且升降组件44与边框411固定连接，以用于驱动边框411沿竖向上升/下降，使得框架41能够在升降组件44的驱动下盖设于光刻板2顶面。软性压片组件42封盖于框架41内侧，使得框架41在升降组件44的驱动下盖设于光刻板2顶面时，光刻板2、框架41以及软性压片组件42能够共同形成一密闭的抽真空腔体500，另外，软性压片组件42采用弹性材料制作而成，使得软性压片组件42能够产生弹性拉伸形变。抽真空组件43包括真空泵、一端与真空泵相连通真空管以及用于控制真空泵运行的控制单元；边框411一侧开设有与抽真空腔体500相连通的气孔413，气孔413远离抽真空腔体500一端可拆卸安装有一快速接头414，快速接头414为本领域技术人员所公知，此处不再赘述；快速接头414与真空管远离真空泵一端相连通，使得控制单元能够控制真空泵将抽真空腔体500内的空气抽出/往抽真空腔体500内通入空气，即控制抽真空腔体500内的气压大小。

盖板机构4工作过程中，在光刻胶100平铺在光刻板2顶面时，框架41在升降组件44的驱动下沿竖向下降并盖设于光刻板2顶面，使光刻板2、框架41以及软性压片组件42共同形成一抽真空腔体500，此时，通过抽真空组件43将抽真空腔体500内的空气抽出以形成负压，使封盖于框架41内侧的软性压片组件42在大气压作用下产生弹性拉伸形变，并贴紧在光刻胶100背离光刻板2一侧，以将光刻胶100与光刻板2之间的残留空气压出，从而提高光刻胶100的平整度，进而提高光刻胶100的曝光效果。

在本实施例中，软性压片组件42包括由上至下依次设置的高弹性压片421以及低弹性压片422，其中，高弹性压片421以及低弹性压片422均为橡胶材料制作而成的片状结构，并且高弹性压片421厚度为3mm，低弹性压片422厚度为5mm，因此，高弹性压片421的弹性系数小于低弹性压片422的弹性系数。

参照图3和4，高弹性压片421封盖于边框411内侧顶部。具体的，框架41内侧顶部四周开设有开口朝内布置的密封槽54，密封槽54槽口下侧通过焊接方式固设有一密封块55，密封块55朝向密封槽54槽底一侧通过胶粘方式固设有一密封条56，密封条56为橡胶材料制作而成，高弹性压片421四周延伸至密封槽54内，并且高弹性压片421四周绕过密封条56后与密封块55固定连接，以令密封条56夹持于密封块55与高弹性压片421之间，从而实现将高弹性压片421封盖于边框411内侧顶部，进而实现光刻板2、框架41以及软性压片组件42能够共同形成一密闭的抽真空腔体500。

低弹性压片422设置于边框411内侧中部。具体的，边框411内侧中部相对设置的两侧均开设有呈水平布置的安装槽51，并且每个安装槽51内均可转动地设有呈水平布置的安装轴52，低弹性压片422相对设置的两侧分别延伸至两个安装槽51内，并且低弹性压片422相对设置的两侧分别固定绕设于两个安装轴52外周，即，两个安装轴52能够分别对低弹性压片422相对设置的两侧进行收卷。每个安装轴52外周均套设有一弹性复位件53，本实施例中的弹性复位件53为扭簧，弹性复位件53一端与安装轴52外周固定连接，另一端与边框411固定连接，使得两个安装轴52在相对应的弹性复位件53的扭力作用下能够分别对低弹性压片422相对设置的两侧进行收卷，即，两个安装轴52能够分别对低弹性压片422两侧形成拉力，使得低弹性压片422在不受到其他外界作用力时拉紧在抽真空腔体500中部。

当抽真空组件43将抽真空腔体500内的空气抽出以形成负压时，高弹性压片421在大气压作用下产生弹性拉伸形变，使高弹性压片421中部区域竖直朝下移动，并且推动低弹性压片422中部区域，使低弹性压片422克服弹性复位件53的扭力作用并竖直朝下移动至贴紧在光刻胶100背离光刻板2一侧，以实现将光刻胶100与光刻板2之间的残留空气压出；同时，由于低弹性压片422通过克服弹性复位件53的扭力作用进行放卷的方式贴紧在光刻胶100背离光刻板2一侧，因此低弹性压片422在贴紧过程中的形变量较小，对薄膜状的光刻胶100形成保护作用，防止高弹性压片421所产生的较大的形变直接作用于光刻胶100上而导致光刻胶100发生变形，有利于提高光刻胶100的曝光效果。

参照图3、5、6，在本实施例中，升降组件44包括升降架441、两组升降柱442以及驱动结构443，其中，升降架441为方框状结构且升降架441内轮廓大于边框411外轮廓，使得升降架441能够围设于边框411四周，升降架441与边框411之间通过多个预设的连接件固定连接；两组升降柱442分别位于升降架441两侧，每组升降柱442均由两个升降柱442组成，并且每个升降柱442底部均竖直固设于机架1上；每个升降柱442朝向升降架441一侧均开设有沿竖向延伸的升降槽444，每个升降槽444内均设有与其相滑动适配的滑块445，并且每个滑块445朝向升降架441一侧与升降架441之间均通过焊接方式固定连接，使得多个滑块445沿升降槽444延伸方向滑动时，多个滑块445能够共同带动升降架441沿竖向上升/下降；每个升降槽444内均可转动地设有沿竖向布置的丝杆446，并且位于相同升降槽444内的丝杆446与滑块445之间，丝杆446与滑块445上预设的螺孔螺纹连接，使得丝杆446转动时能够带动滑块445沿竖向上升/下降；驱动结构443安装于升降柱442顶部，并且驱动结构443用于驱动所有丝杆446同步转动。

当驱动结构443驱动所有丝杆446同步转动时，多个丝杆446均通过螺纹连接传动以带动所有滑块445沿竖向上升/下降，从而带动升降架441沿竖向上升/下降，进而带动边框411沿竖向上升/下降，即实现了由升降组件44驱动框架41沿竖向下降盖设于光刻板2顶面，使光刻板2、框架41以及软性压片组件42共同形成一抽真空腔体500。

具体的，在本实施例中，用于驱动所有丝杆446同步转动的驱动结构443包括主轴61、两个副轴62以及驱动件63，其中，本实施例中的驱动件63为电机；机架1上方架设有龙门状的支架，主轴61可转动地设置于支架顶部，驱动件63固设于支架顶部，并且驱动件63输出轴与主轴61一端同轴连接，使得驱动件63能够驱动主轴61转动；两个副轴62与两组升降柱442一一相对应设置，每个副轴62均可转动地穿设于相对应的升降柱442顶部，并且每个副轴62均与主轴61相垂直布置。

每个副轴62与相对应升降柱442内的丝杆446之间、主轴61与两个副轴62之间均通过预设的传动结构64相连接传动，使得驱动件63驱动主轴61转动时，主轴61通过传动结构64带动两个副轴62同步转动，两个副轴62通过传动结构64带动所有丝杆446同步转动，从而实现由驱动结构443驱动所有丝杆446同步转动的效果，使得框架41沿竖向上升/下降的过程中保持水平布置。

为了防止粘附于光刻板2顶面的光刻胶100被收卷装置400拉扯变形，机架1与放卷装置200之间、机架1与收卷装置400之间均设有一抬升组件7。

参照图1和5，具体的，在本实施例中，两个抬升组件7均包括抬升辊71以及两个呈竖直布置的抬升杆72，其中，两个抬升辊71分别位于机架1与放卷装置200之间、机架1与收卷装置400之间，并且两个抬升辊71均始终位于光刻胶100的下方。

相同抬升组件7内的，每个抬升杆72一侧均固设有呈竖直布置的直线导轨73，并且每个直线导轨73均滑动设置于升降架441内侧预设的直线滑槽74内，使得抬升杆72与升降架441之间能够产生沿竖向的相对滑动；每个抬升杆72顶部均固设有一限位块75，以防止抬升杆72在重力作用下滑动脱离升降架441，即，升降架441沿竖向上升过程中能够利用限位块75带动抬升杆72沿竖向上升；抬升辊71两端分别可转动地穿设于两个抬升杆72底部，使得升杆沿竖向上升的过程中能够带动抬升辊71沿竖向上升。

在光刻胶100曝光完毕，升降组件44驱动框架41沿竖向上升的过程中，抬升组件7的抬升辊71能够将光刻胶100进行抬升，使光刻胶100与光刻板2相分离，从而实现防止粘附于光刻板2顶面的光刻胶100被收卷装置400拉扯变形；同时，为了减少机架1与放卷装置200之间、机架1与收卷装置400之间安装抬升组件7所需的空间，抬升杆72与升降架441之间设置为相对滑动，当抬升辊71下降至一定高度并且无法继续下降时，通过抬升杆72与升降架441之间的相对滑动，能够使得升降架441的下降不受影响，从而实现减少机架1与放卷装置200之间、机架1与收卷装置400之间为了安装抬升组件7所需预留的空间。

工作原理：

S1、光刻胶100在放卷装置200与收卷装置400的共同作用下间歇性地传送至曝光装置300内，并平铺在光刻板2顶面。

S2、升降组件44驱动框架41沿竖向下降并盖设于光刻板2顶面，使光刻板2、框架41以及软性压片组件42共同形成一抽真空腔体500。

S3、通过抽真空组件43将抽真空腔体500内的空气抽出以形成负压，使封盖于框架41内侧的软性压片组件42在大气压作用下产生弹性拉伸形变，并贴紧在光刻胶100背离光刻板2一侧，以将光刻胶100与光刻板2之间的残留空气压出。

S4、利用曝光机构3产生的聚焦电子束对光刻胶100进行曝光，使受电子束辐照后的光刻胶100的物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

S5、升降组件44驱动框架41沿竖向上升且带动抬升组件7上升，以将光刻胶100进行抬升，使光刻胶100与光刻板2相分离。

以此循环。

本具体实施方式的实施例均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之上内。