具体实施方式

在本公开的实施方式涉及的传感器元件以及角速度传感器的结构中，除检测用的布线涉及的结构以及作用以外，还能够应用专利文献1以及2中记载的结构。因此，专利文献1以及2的内容可以成为基于参照的引用(Incorporation by reference)。

以下，参照附图来对本公开涉及的实施方式进行说明。以下的附图是示意性的附图。因此，有时省略细节，此外，尺寸比率等不一定与现实一致。此外，多个附图相互的尺寸比率也不一定一致。

此外，在各图中，为了便于说明，标注了正交坐标系xyz。正交坐标系xyz基于传感器元件(压电体)的形状定义。即，x轴、y轴以及z轴不限于表示晶体的电轴、机械轴以及光轴。关于传感器元件，也可以使用任意的方向作为上方或下方，但在以下，为了方便起见，有时以z轴方向的正侧为上方，并使用上表面或下表面等用语。此外，在简称为俯视的情况下，只要未特别声明，则设为在z轴方向上观察。

对于相同或类似的结构，有时如“驱动臂7A”、“驱动臂7B”那样，标注互相不同的字母的附加符号，此外，在该情况下，有时简称为“驱动臂7”，从而不进行区分。

在第2实施方式之后，基本上仅对与之前说明过的实施方式的差异点进行说明。未特别提及的点可以设为与之前说明过的实施方式的结构相同。此外，对于在多个实施方式间互相对应的(相同或类似的)结构，有时即使形状等不同也标注共用的符号。

[第1实施方式]

图1是示出第1实施方式涉及的传感器元件1的结构的立体图。但是，在该图中，基本上省略设置在传感器元件1的表面的导电层的图示。

传感器元件1例如构成检测绕z轴的角速度的压电振动式的角速度传感器51(符号为图2的(b))。传感器元件1具有压电体3。如果在向压电体3施加电压从而压电体3振动的状态下旋转压电体3，则在压电体3产生由科里奥利的力引起的振动。通过检测因由该科里奥利的力引起的振动而产生的电信号(例如电压或电荷)，可检测角速度。具体地，如以下所示。

(压电体的形状)

关于压电体3，例如其整体被一体地形成。压电体3既可以是单晶体，也可以是多晶体。此外，关于压电体3的材料，可以适当地选择，例如石英(SiO₂)、LiTaO₃、LiNbO₃、PZT或硅酮。

在压电体3中，电轴或极化轴(以下，有时仅提及极化轴来代表两者。)设定为与x轴一致。极化轴也可以在给定范围内(例如15°以内)相对于x轴而倾斜。此外，在压电体3是单晶体的情况下，可以将机械轴以及光轴设为适当的方向。例如，可以将机械轴设为y轴方向，将光轴设为z轴方向。

关于压电体3，例如厚度(z轴方向)作为整体而被设为固定。此外，压电体3例如大致相对于与y轴平行的未图示的对称轴，具有线对称的形状。但是，因例如用于降低起因于压电体3相对于蚀刻的各向异性的形状、布线的短路的可能性的凹凸的存在等，从而细节不一定是线对称的。

压电体3例如具有框架5、从框架5延伸的两个(例如一对，以下以一对的情况来进行说明)驱动臂7(7A以及7B)以及检测臂9和支撑框架5的两个(例如一对，以下以一对情况来进行说明)安装臂11。

一对驱动臂7是通过施加电压(电场)而被激振的部分。检测臂9是由于科里奥利的力而振动，以生成与角速度相应的电信号的部分。框架5是有助于驱动臂7以及检测臂9的支撑、以及振动从驱动臂7向检测臂9的传递的部分。安装臂11是有助于向未图示的安装基体(例如外壳的一部分或电路基板)安装传感器元件1的部分。

框架5例如是作为整体以x轴方向为长度方向的长条形状，架设于一对安装臂11。框架5的两端成为由一对安装臂11支撑的被支撑部。框架5在俯视下，能够如两端被支撑着的梁那样地挠曲变形。

在图示的例子中，关于框架5，其整体被设为在x轴方向上直线状地延伸的形状。但是，也可以将框架5设为这以外的形状。例如，框架5也可以在两端具有屈曲部。在该情况下，因为框架5的全长变长等，所以框架5变得容易挠曲变形。

框架5的各种尺寸可以适当地设定。例如，关于框架5的宽度(y轴方向)以及厚度(z轴方向)，也可以是任一者大于另一者。此外，例如，因为框架5被预设为在俯视下挠曲变形，所以可以将框架5的宽度设为比较小。例如，可以使框架5的宽度小于压电体3中的设置后述的端子13的部分(在本实施方式中是安装臂11)的宽度。此外，例如，可以调整框架5的长度以及宽度，以使得俯视下的挠曲变形的固有振动频率接近驱动臂7的因电压施加而被激振的方向上的固有振动频率、和/或接近检测臂9的因科里奥利的力而振动的方向上的固有振动频率。

框架5的长度L1例如可以设为从框架5的一端到另一端的长度(从框架5的两个支撑位置的一者到另一者的长度)。在图示的例子中，长度L1与从-x侧的安装臂11的+x侧的侧面到+x侧的安装臂11的-x侧的侧面为止的距离(最短距离)相同。在框架5具有屈曲部等框架5不是直线状的情况下，长度L1可以被设为沿着框架5(更详细地，其中心线)的路径的长度。

驱动臂7从框架5在y轴方向延伸，其前端被设为自由端。因此，驱动臂7能够如悬臂梁那样地挠曲变形。一对驱动臂7在沿x轴方向互相远离的位置处互相并列(例如平行)地延伸。一对驱动臂7例如穿过框架5的中央，相对于与y轴平行的未图示的对称轴(参照检测臂9)而设置在线对称的位置。

如后述那样(图3的(a)以及图3的(b))，一对驱动臂7被期望通过x轴方向的激振使框架5在俯视下挠曲变形(振动)。因此，例如，可以适当地设定一对驱动臂7相对于框架5的x轴方向的位置，以使得通过一对驱动臂7的振动使框架5的挠曲变形变大。例如，在将框架5的x轴方向上的长度3等分时，一对驱动臂7分别位于两侧的区域。

驱动臂7的具体的形状等可以适当地设定。例如，驱动臂7被设为长条的长方体状。即，截面形状(xz平面)为矩形。虽然未特别图示，但驱动臂7也可以被设为宽度(x轴方向)在前端侧部分处变宽的锤子形状。一对驱动臂7例如被设为大致互相线对称的形状以及大小。因此，两者的振动特性互相等同。但是，例如，为了降低无用振动，有时通过调整横截面的形状(例如矩形地设置缺口等)，从而一对驱动臂7的形状成为非线对称。

驱动臂7如后述那样在x轴方向上激振。因此，若驱动臂7的宽度(x轴方向)变大，则激振方向(x轴方向)上的固有振动频率变高，如果其长度(在另外的观点中为质量)变大，则激振方向上的固有振动频率变低。例如可以设定驱动臂7的各种尺寸，以使得驱动臂7的激振方向上的固有振动频率接近期望的频率。在该情况下，期望的频率可以被设定为从无用振动频率(在压电体3的z轴方向上产生无用的振动的频率)偏离1kHz以上。原因是，能够降低驱动臂7的激振时的框架动作的不平衡，并且能够降低后述的检测臂9的不期望的振动。

检测臂9从框架5在y轴方向延伸，其前端被设为自由端。因此，检测臂9能够如悬臂梁那样地挠曲变形。此外，检测臂9在一对驱动臂7之间，相对于一对驱动臂7而并列(例如平行)地延伸。检测臂9例如位于框架5的x轴方向中央，和/或位于一对驱动臂7之间的中央。

检测臂9的具体的形状等可以适当地设定。例如，可将检测臂9设为长条的长方体状。即，截面形状(xz平面)为矩形。也可以将检测臂9设为宽度(x轴方向)在前端侧部分处变宽的锤子形状(参照后述的图8的检测臂9A以及9B)。

检测臂9如后述那样，在本实施方式中，因科里奥利的力而在x轴方向上振动。因此，若检测臂9的宽度(x轴方向)变大，则振动方向(x轴方向)上的固有振动频率变高，如果其长度(在另外的观点中是质量)变大，则振动方向上的固有振动频率变低。例如可以没定检测臂9的各种尺寸，以使得检测臂9的振动方向上的固有振动频率接近驱动臂7的激振方向上的固有振动频率。检测臂9的长度例如与驱动臂7的长度等同。但是，两者也可以不同。

一对安装臂11例如形成为以y轴方向为长度方向的形状。在图示的例子中，安装臂11的横截面(xz截面)的形状被设为在长度方向(y轴方向)上是固定的。但是，关于安装臂11，也可以使宽度在与框架5的连结部处较窄等，从而横截面的形状在长度方向上变化。安装臂11的各种的尺寸可以适当地设定。

(端子)

在一对安装臂11的下表面至少设置有4个端子13(13A～13D)。端子13与未图示的设置在安装基体的焊盘对置，并相对于其安装基体的焊盘，通过焊料或包含导电性粘接剂的凸块粘接。由此，完成传感器元件1与安装基体的电连接，此外，传感器元件1(压电体3)在驱动臂7以及检测臂9能够振动的状态下被支撑。4个端子13例如设置在一对安装臂11的两端。

(激振电极以及检测电极)

图2的(a)是将传感器元件1的一部分放大而示出的立体图。此外，图2的(b)是图2的(a)的IIb-IIb线处的剖视图。

传感器元件1具有用于向驱动臂7施加电压的激振电极15(15A以及15B)、和提取在检测臂9产生的信号的检测电极17(17A以及17B)。它们利用形成在压电体3的表面的导体层而构成。导体层的材料例如是Cu、Al等金属。

激振电极15以及检测电极17的附加符号A、B基于正交坐标系xyz而标注。因此，如后述那样，不限于一个驱动臂7的激振电极15A和另一驱动臂7的激振电极15A是相同电位。对于激振电极15B也是同样的。在设置多根检测臂9的方式(在后述的实施方式)中，对于检测电极17A以及17B也是同样的。

激振电极15A在各驱动臂7中，分别设置在上表面以及下表面(例如面向z轴方向的两侧的一对面)。此外，激振电极15B在各驱动臂7中，分别没置在例如一对侧面(面向x轴方向的两侧的一对面)。

在后述的实施方式中，有时设置从框架5向y轴方向的负侧延伸的驱动臂7。在这样的驱动臂7中，也设为激振电极15的附加符号A对应于上表面以及下表面，并且激振电极15的附加符号B对应于侧面。

在各驱动臂7的上下左右的各面中，激振电极15例如形成为覆盖各面的大部分。但是，激振电极15A以及15B的至少一者(在本实施方式中为激振电极15A)在宽度方向上形成为小于各面，以使得不互相短路。此外，驱动臂7的根部侧以及前端侧的一部分也可以设为激振电极15的非配置位置。

在各驱动臂7中，两个激振电极15A被设为彼此电位相同。此外，在各驱动臂7中，两个激振电极15B被设为彼此电位相同。应当被设为彼此电位相同的激振电极15之间例如互相连接。

如果在激振电极15A与激振电极15B之间施加电压，则例如在驱动臂7中，产生从上表面朝向一对侧面(x轴方向的两侧)的电场以及从下表面朝向一对侧面的电场。另一方面，极化轴与x轴方向一致。因此，如果着眼于电场的x轴方向的分量，则在驱动臂7中的x轴方向的一侧部分中电场的朝向与极化轴的朝向一致，在另一侧部分中电场的朝向与极化轴的朝向相反。

其结果是，驱动臂7中的x轴方向的一侧部分在y轴方向上收缩，另一侧部分在y轴方向上伸长。并且，驱动臂7如两种金属那样地向x轴方向的一侧弯曲。如果使向激振电极15A以及15B施加的电压相反，则驱动臂7向相反方向地弯曲。根据这样的原理，如果向激振电极15A以及15B施加交流电压，则驱动臂7在x轴方向上振动。

虽然未特别图示，但在驱动臂7的上表面和/或下表面，设置有沿着驱动臂7的长度方向延伸的一个以上的凹槽(该凹槽也可以在驱动臂7的长度方向上排列多个凹部而构成)，激振电极15A也可以遍及该凹槽内而设置。在该情况下，变成激振电极15A和激振电极15B隔着凹槽的壁部而在x轴方向上对置，从而激振的效率提高。

在一对驱动臂7中，驱动臂7A的激振电极15A和驱动臂7B的激振电极15B被设为相同电位，驱动臂7A的激振电极15B和驱动臂7B的激振电极15A被设为相同电位。应当被设为相同电位的激振电极15彼此例如互相连接。

如果在这样的连接关系下，在激振电极15A与激振电极15B之间施加交流电压，则变成对一对驱动臂7施加相位彼此相反的电压。其结果是，一对驱动臂7如在x轴方向上在彼此相反的朝向上挠曲变形那样地振动。

检测电极17在本实施方式中设为与激振电极15同样的结构。即，检测电极17A在检测臂9中，分别设置在上表面以及下表面(例如面向z轴方向的两侧的一对面)。此外，检测电极17B在检测臂9中，分别设置在一对侧面(面向x轴方向的两侧的例如一对面)。两个检测电极17A彼此互相连接，此外，两个检测电极17B彼此互相连接。

与激振电极15同样，在检测电极17中，附加符号A也对应于上表面以及下表面，附加符号B也对应于侧面。对于上述的激振电极15的驱动臂7中的宽度以及配置位置的说明可以在检测电极17的检测臂9中的宽度以及配置位置中引用。此外，在检测臂9中，也可以在上表面和/或下表面形成有凹槽。

如果检测臂9在x轴方向上挠曲变形，则根据与驱动臂7的激振相反的原理，在检测电极17A与检测电极17B之间产生电压。换言之，检测电极17A以及17B从检测臂9提取互相正负(极性)不同的电荷(在另外的观点中为电位或信号)。如果检测臂9在z轴方向上振动，则向检测电极17赋予的电压作为交流电压被检测出。

(布线部(概要))

传感器元件1具有：多个激振用布线部19，将多个端子13中的至少两个(在本实施方式中4个端子13中的两个)以及多个激振电极15相互连接；和多个检测用布线部21，将多个端子13中的另外至少两个(在本实施方式中4个中的另外两个)以及多个检测电极17相互连接。

更详细地，多个激振用布线部19的一部分将多个激振电极15A以及4个端子13中的一个相互连接。此外，多个激振用布线部19的剩余激振用布线部将多个激振电极15B以及4个端子13中的另外一个相互连接。多个检测用布线部21的一部分将多个检测电极17A以及4个端子13中的又一个相互连接。此外，多个检测用布线部21的剩余检测用布线部将多个检测电极17B以及4个端子13中的剩余一个相互连接。

多个激振用布线部19以及多个检测用布线部21利用形成在压电体3的表面的导体层构成。导体层的材料例如是Cu、Al等金属。此外，这些布线部可以利用与激振电极15以及检测电极17的材料相同的材料构成。

多个激振用布线部19以及多个检测用布线部21能够利用通过在压电体3的各部分的上表面、下表面和/或侧面中适当地配设从而其整体设置在压电体3的表面的方式，来实现上述的连接，而不会互相短路。但是，也可以通过在位于压电体3上的布线部上设置绝缘层，并在其上设置其他布线部，从而形成立体相交部。

此外，也可以在压电体3设置有从外部赋予基准电位的基准电位用的一个以上的端子13、和与该基准电位用的端子13连接的基准电位布线20(在图2的(a)中示为2点划线)。可以是，基准电位用的端子13是和与激振用布线部19以及检测用布线部21连接的上述4个端子13不同的未图示的端子，例如，设置在安装臂11的下表面的适当的位置。

基准电位布线20例如具有位于激振用布线部19与检测用布线部21之间的部分。更具体地，例如，基准电位布线20的一部分在框架5的上表面和/或下表面中，在一个以上(在图示的例中为两个)的激振用布线部19与一个以上(在图示的例子中为两个)的检测用布线部21之间，沿着框架5的长度方向(例如平行地)延伸。

通过在激振用布线部19与检测用布线部21之间设置基准电位布线20，例如基准电位布线20作为屏蔽体而起作用，从而能够降低流经激振用布线部19的驱动信号对流经检测用布线部21的检测信号带来的影响。其结果是，检测精度提高。在另外的观点中，能够将激振用布线部19和检测用布线部21接近配置。

(驱动电路以及检测电路)

如图2的(b)所示，角速度传感器51具有向激振电极15施加电压的驱动电路103、和检测来自检测电极17的电信号的检测电路105。

驱动电路103例如包括振荡电路、放大器而构成，经由两个端子13在激振电极15A与激振电极15B之间施加给定频率的交流电压。频率既可以在角速度传感器51内预先决定，也可以从外部的设备等指定。

检测电路105例如包括放大器、检波电路而构成，经由两个端子13检测检测电极17A与检测电极17B的电位差，并向外部的设备等输出与其检测结果相应的电信号。更具体地，例如，上述的电位差作为交流电压而被检测出，检测电路105输出与检测出的交流电压的振幅相应的信号。可基于该振幅确定角速度。此外，检测电路105输出与驱动电路103的施加电压和检测出的电信号的相位差相应的信号。可基于该相位差来确定旋转的朝向。

驱动电路103以及检测电路105作为整体而构成控制电路107。控制电路107例如利用芯片IC(Integrated Circuit，集成电路)构成，并且被安装于安装传感器元件1的电路基板或适当的形状的安装基体。

(角速度传感器的动作)

图3的(a)以及图3的(b)是用于说明压电体3的激振的示意性的俯视图。在两图中，向激振电极15施加的交流电压的相位互相偏离180°。

如上述那样，驱动臂7A以及7B通过向激振电极15施加交流电压而以彼此相反的相位激振，以使得在x轴方向上在彼此相反的朝向上变形。此时，如图3的(a)所示，如果一对驱动臂7互相向x轴方向的外侧(一对驱动臂7互相远离的一侧)挠曲，则其弯曲力矩传导向框架5，从而框架5向y轴方向的正侧挠曲。其结果是，检测臂9向y轴方向的正侧位移。反之，如图3的(b)所示，如果一对驱动臂7互相向x轴方向的内侧(一对驱动臂7互相接近的一侧)挠曲，则其弯曲力矩传导向框架5，从而框架5向y轴方向的负侧位移。其结果是，检测臂9向y轴方向的负侧位移。因此，通过一对驱动臂7激振，从而成为检测臂9在y轴方向上振动。

图4的(a)以及图4的(b)是用于说明由科里奥利的力引起的检测臂9的振动的示意性的立体图。图4的(a)以及图4的(b)对应于图3的(a)以及图3的(b)的状态。在该图中，对于驱动臂7以及框架5的变形，省略了图示。

如参照图3的(a)以及图3的(b)说明的那样，设压电体3正在振动。在该状态下，如果传感器元件1绕z轴旋转，则因为检测臂9在y轴方向上振动(位移)，所以因科里奥利的力而在与旋转轴(z轴)和振动方向(y轴)正交的方向(x轴方向)上振动(变形)。因该变形而产生的信号(例如电压)如上述那样由检测电极17提取。关于科里奥利的力(进一步地，检测出的信号的电压)，角速度越大则变得越大。由此，可检测角速度。

(检测用布线部)

图5的(a)是示意性地示出检测用布线部21的俯视图(示出+z侧的面的图)。图5的(b)是示意性地示出检测用布线部21的仰视图(示出-z侧的面的图)。但是，图5的(b)从上方(+z侧)透视传感器元件1，从而示出了传感器元件1的下表面。

在这些图中，示意性地示出了压电体3、检测电极17、检测用布线部21以及端子13。如已描述的那样，与检测电极17、检测用布线部21以及检测用布线部21连接的端子13从电位的观点出发被分成2组。对于该电位互相不同的组合，标注有互相不同的阴影线。

此外，在图5的(a)中，设置有基准电位布线20的情况下的该布线的至少一部分的位置的例子也示为2点划线。可以在基准电位布线20的与检测用布线部21相反的一侧设置在此未图示的激振用布线部19。在后述的其他实施方式中的相当于图5的(a)的其他附图中，也是同样的。

将多个检测用布线部21中的与一个电位有关的检测用布线部称为“第1布线部21P”。将多个检测用布线部21中的与另一电位有关的检测用布线部称为“第2布线部21N”。第1布线部21P例如包括将检测电极17和端子13连接的检测用布线部21、和将检测电极17彼此连接的检测用布线部21。换言之，第1布线部21P包括由检测电极17划分的多个部位。对于第2布线部21N也是同样的。

此外，将框架5中的相比于检测臂9更靠框架5的长度方向的一侧(-x侧)的部分称为“第1部位5a”。将框架5中的相比于检测臂9更靠框架5的长度方向的另一侧(+x侧)的部分称为“第2部位5b”。第1部位5a以及第2部位5b的结构大致相对于检测臂9是线对称的。

如已描述的那样，检测电极17A彼此互相连接，检测电极17B彼此互相连接。在图示的例子中，检测电极17A彼此通过第2布线部21N中的位于检测臂9的前端的部分而互相连接。检测电极17B彼此通过第1布线部21P中的位于框架5的检测臂9的根部周围的部分而互相连接。将检测电极17彼此连接的检测用布线部21相对于检测臂9的位置关系(前端侧或根部侧)也可以与图示的例子相反。

第1布线部21P具有从检测臂9的根部附近向框架5的长度方向的一侧(-x侧)沿着框架5延伸的部分。同样地，第2布线部21N具有从检测臂9的根部附近向框架5的长度方向的一侧(-x侧)沿着框架5延伸的部分。即，第1布线部21P以及第2布线部21N在框架5中，相对于检测臂9而互相向相同侧延伸。相同侧也可以与图示的例子相反，是+x侧。在另外的观点中，两个布线部的至少一部分在框架5上沿框架5的长度方向并列地延伸。并列地延伸的长度在图示的例子中是稍短于框架5的长度的1/2的长度，换言之，是框架5的长度的1/4以上。第1布线部21P以及第2布线部21N延伸到框架5的端部为止之后，在安装臂11上延伸，并与端子13A以及13C连接。

第1布线部21P以及第2布线部21N的第1部位5a(或第2部位5b。以下，同样。)中的形状以及宽度等可以适当地设定。例如，第1布线部21P以及第2布线部21N遍及第1部位5a的全长或8成以上而以固定的宽度直线状地延伸。此外，第1部位5a中的宽度例如在第1布线部21P和第2布线部21N中是相同的。但是，第1布线部21P以及第2布线部21N也可以在第1部位5a中在沿其长度方向上延伸的过程中折弯，宽度也可以变化，宽度也可以互相不同。

如以上所示，在本实施方式中，传感器元件1具有压电体3、多个激振电极15、多个检测电极17、多个端子13、多个激振用布线部19、和第1以及第2检测用布线部(第1布线部21P以及第2布线部21N)。压电体3具有框架5、一对驱动臂7和检测臂9。框架5将正交坐标系xyz的x轴方向设为长度方向。一对驱动臂7在x轴方向上互相远离的位置处从框架5在y轴方向互相并列地延伸。检测臂9在x轴方向上成为一对驱动臂7的中央的位置处从框架5在y轴方向延伸。多个激振电极15以在x轴方向上对一对驱动臂7进行激振的配置位于一对驱动臂7。检测电极17A以及17B以在检测臂9沿x轴方向或z轴方向(在本实施方式中x轴方向)振动时提取互相正负不同的电荷的配置位于检测臂9。多个激振用布线部19以在向两个激振用端子(在图5的(b)中13B以及13D)施加交流电压时，一对驱动臂7在x轴方向上向彼此相反侧折弯并以相反的相位振动的连接关系，将多个激振电极15以及两个端子13B以及13D连接。第1布线部21P与一个以上的第1检测电极(在图示的例子中检测电极17B)和第1检测用端子(在图示的例子中端子13A)连接。第2布线部21N与一个以上的第2检测电极(在图示的例子中检测电极17A)和第2检测用端子(在图示的例子中端子13C)连接。第1布线部21P的至少一部分和第2布线部21N的至少一部分在框架5上(第1部位5a上)沿框架5的长度方向遍及框架5的长度的1/4以上的长度而并列地延伸。

因此，例如能够使检测精度提高。具体地，如以下所示。

图6的(a)以及图6的(b)是示意性地示出比较例涉及的传感器元件101的检测用布线部21的相当于图5的(a)以及图5的(b)的图。

在传感器元件101中，与实施方式不同，第1布线部21P以及第2布线部21N在框架5中，相对于检测臂9而向彼此相反方向延伸。伴随着该差异，与第2布线部21N连接的端子13也与实施方式不同。虽然未特别图示，激振用布线部19的配置以及与激振用布线部19连接的端子13也与实施方式不同。

在传感器元件101中，与实施方式的传感器元件1同样地，框架5在y轴方向上挠曲变形。伴随着该挠曲变形，在框架5的上表面中产生电荷。该电荷的正负和/或大小在第1部位5a和第2部位5b中互相不同。例如，在如本实施方式那样将传感器元件1构成为一对驱动臂7在x轴方向上被线对称地驱动的情况下，在第1部位5a以及第2部位5b产生的电荷的正负大致彼此相反，此外，成为几乎等同的大小(绝对值)的情况较多。在以下的说明中，也采用该情况作为例子。

并且，在第1部位5a产生的电荷被赋予到位于第1部位5a的第1布线部21P。在第2部位5b产生的电荷被赋予到位于第2部位5b的第2布线部21N。因此，变成从框架5向第1布线部21P以及第2布线部21N施加电压。

其结果是，与第1布线部21P以及第2布线部21N连接的两个端子13(在图6的(b)中是13A以及13B)之间的电压相对于由检测电极17检测出的电压成为叠加有从框架5向布线部施加的电压的电压。由此，两个端子13之间的电压大于或小于应当检测出的电压。即，在来自检测电极17的检测信号中混入有噪声，传感器元件1的检测精度下降。

另一方面，在实施方式涉及的传感器元件1中，第1布线部21P以及第2布线部21N均位于第1部位5a，而不位于第2部位5b。因此，从框架5向两个布线部赋予的电荷的正负相同。并且，通过该电荷，两个布线部的电位一起上升或一起下降。即，通过在框架5产生的电荷，向两个布线部施加的电压或者不产生或者相较于比较例而被降低。其结果是，混入于来自检测电极17的检测信号的噪声被降低，传感器元件1的检测精度提高。

对于第1实施方式的结构以及效果的一部分，相比于与比较例的比较，在与第2实施方式的比较中说明更容易理解。因此，在后述的第2实施方式的说明中，对第1实施方式的结构以及效果进行补充。

在实施方式中，第1布线部21P以及第2布线部21N仅位于框架5的上表面以及下表面中的上表面。但是，两个布线部也可以位于框架5的下表面。此外，在上表面和下表面产生的电位的正负相同的情况较多。因此，两个布线部的至少一部分也可以在上表面以及下表面分开配置。在后述的实施方式中也是同样的。

在检测臂9的根部周围处，检测用布线部21交错，由此第1布线部21P和第2布线部21N可能不期望地沿着框架5的长度方向而并行。但是，认为这样的仅在检测臂9的根部周围处的并行不会遍及框架5的长度的1/4以上。

在以上的第1实施方式中，检测电极17B是第1(或第2)检测电极的一个例子。检测电极17A是第2(或第1)检测电极的一个例子。第1布线部21P是第1(或第2)检测用布线部的一个例子。第2布线部21N是第2(或第1)检测用布线部的一个例子。端子13A是第1(或第2)检测用端子的一个例子。端子13C是第2(或第1)检测用端子的一个例子。端子13B以及13D是激振用端子的一个例子。

[第2实施方式]

图7的(a)是示意性地示出第2实施方式涉及的传感器元件201的检测用布线部21的相当于图5的(a)的图(俯视图)。传感器元件201的仰视图与比较例涉及的图6的(b)相同。

传感器元件201在比较例涉及的传感器元件101中，变更了第2布线部21N的结构。具体地，第2布线部21N被设为相对于传感器元件101的相当于第2布线部21N的布线主体21a，追加了调整用布线21b的结构。

布线主体21a是在第2布线部21N(或第1布线部21P)中，一端与检测电极17连接，另一端与其他检测电极17或端子13连接的部分。即，布线主体21a构成了检测信号从检测电极17向检测电路105的传递路径。另一方面，调整用布线21b是在第2布线部21N(或第1布线部21P)中，一端直接或间接地与检测电极17连接，另一端被设为开放端的部分。即，调整用布线21b不直接地构成检测信号从检测电极17向检测电路105的传递路径。

如根据后述的各种实施方式可理解的那样，可以分别在第1布线部21P以及第2布线部21N中，设置多个布线主体21a，此外，也可以设置多个调整用布线21b。多个布线主体21a的一部分也可以互相共用。调整用布线21b的一端既可以直接地与检测电极17连接，也可以经由布线主体21a或端子13与检测电极17连接。根据布线的屈曲的方式等，即使看起来布线主体21a从调整用布线21b的中途延伸，从检测电极17到端子13为止也是布线主体21a。此外，所谓调整用布线21b的另一端被设为开放端，换言之是指该另一端不与端子13等连接。

第2布线部21N的布线主体21a与比较例同样，从检测臂9的根部周围向框架5的长度方向延伸的方向与第1布线部21P(其布线主体21a)成为相反方向。另一方面，第2布线部21N的调整用布线21b从检测臂9的根部周围向框架5的长度方向延伸的方向与第1布线部21P成为相同方向。换言之，第1布线部21P的布线主体21a以及第2布线部21N的调整用布线21b均位于第1部位5a。

调整用布线21b的形状以及尺寸等可以适当地设定。例如，调整用布线21b遍及第1部位5a的全长或8成以上而以固定的宽度直线状地延伸。此外，调整用布线21b的第1部位5a中的宽度例如与第1布线部21P和/或第2布线部21N的布线主体21a的宽度相同。但是，调整用布线21b也可以小于第1部位5a的全长的8成，也可以在第1部位5a中在其长度方向上延伸的过程中折弯，宽度也可以变化，宽度也可以与第1布线部21P和/或第2布线部21N的宽度不同。进一步地，调整用布线21b也可以如在框架5或安装臂11等中折返那样地延伸。

也可以与图示的例子相反，不是第2布线部21N在第1部位5a具有调整用布线21b，而是第1布线部21P在第2部位5b具有调整用布线21b。

根据以上的结构，也能够获得降低在上述的框架5中产生的电荷的影响的效果。具体地，在本实施方式的第2布线部21N中，赋予到位于第2部位5b的布线主体21a的电荷与赋予到位于第1部位5a的调整用布线21b的电荷的正负变得相反。其结果是，两电荷的至少一部分在第2布线部21N被抵消。例如，如果假定在第2布线部21N中所有电荷被抵消，则第1布线部21P以及第2布线部21N之间的电压仅因赋予到第1布线部21P的电荷而产生。另一方面，在比较例中，如已描述的那样，因赋予到第1布线部21P以及第2布线部21N的正负互相不同的电荷而向两个布线部施加电压。因此，在本实施方式中，相较于比较例，起因于框架5的挠曲变形而向第1布线部21P以及第2布线部21N施加的电压(噪声)被降低。

对于上述的效果，设立用于使说明简单的假定而进一步地进行探讨。如图6的(a)所示，设第1部位5a以及第2部位5b各自的长度方向的长度为La。设第1布线部21P以及第2布线部21N在第1部位5a或第2部位5b延伸的长度也同样是La。在第1部位5a以及第2部位5b中产生的电荷的正负相反且大小彼此相同。若检测用布线部21在第1部位5a或第2部位5b中沿x轴方向延伸的长度相同，则赋予相同的大小(绝对值)的电荷。在以下的各种说明中，为了方便起见，有时忽略准确性而在该假定下进行说明。

如果如上述那样进行假定，则在第1布线部21P以及第2布线部21N之间产生的电荷之差的大小能够根据两个布线部的第1部位5a以及第2部位5b中的长度的比较来确定，并且可代替为长度La而进行考虑。例如，可考虑针对第1布线部21P从第1部位5a中的长度中减去第2部位5b中的长度得到的第1长度LP、和针对第2布线部21N从第1部位5a中的长度中减去第2部位5b中的长度得到的第2长度LN。只要LP与LN之差为0，则在第1布线部21P和第2布线部21N中赋予的电荷中无差异，在两者之间不产生电压(噪声)。只要LP与LN之差的绝对值较大，则在两个布线部之间产生的电压变大。

例如，在比较例(图6的(a))中，针对第1布线部21P，从第1部位5a中的长度(La)中减去第2部位5b中的长度(0)得到的长度LP为La。针对第2布线部21N，从第1部位5a中的长度(0)中减去第2部位5b中的长度(La)得到的长度LP为-La。因此，长度LP与LN之差成为(La-(-La))＝2La。

此外，例如，在第1实施方式(图5的(a))中，针对第1布线部21P，从第1部位5a中的长度(La)中减去第2部位5b中的长度(0)得到的长度LP为La。针对第2布线部21N，从第1部位5a中的长度(La)中减去第2部位5b中的长度(0)得到的长度LP为La。因此，长度LP与LN之差成为(La-La)＝0。

此外，例如，在第2实施方式(图7的(a))中，针对第1布线部21P，从第1部位5a中的长度(La)中减去第2部位5b中的长度(0)得到的长度LP为La。针对第2布线部21N，从第1部位5a中的长度(布线主体21a的长度La)中减去第2部位5b中的长度(调整用布线21b的长度La)得到的长度LP为0。因此，长度LP与LN之差成为La-0＝La。

因此，在上述的假定下，第1在实施方式中，从框架5向第1布线部21P以及第2布线部21N赋予的电压(噪声)全部被消除。此外，在第2实施方式中，相较于比较例，可使从框架5向第1布线部21P以及第2布线部21N赋予的电压为一半。

如以上所示，在本实施方式中，第1检测用布线部(第1布线部21P)的至少一部分和第2检测用布线部(第2布线部21N)的至少一部分也在框架5上沿框架5的长度方向遍及框架5的长度的1/4以上而并列地延伸。因此，可实现与第1实施方式同样的效果。例如，能够降低从框架5向第1布线部21P赋予的电荷与从框架5向第2布线部21N赋予的电荷之差，并降低起因于框架5的挠曲变形的噪声。

此外，在本实施方式中，第1检测用布线部(第1布线部21P)具有第1布线主体(布线主体21a)。第1布线部21P的布线主体21a的一端与第1检测电极(检测电极17B)连接，另一端与另一第1检测电极(另一检测电极17B)或第1检测用端子(参照图6的(b)的端子13A)连接。第2检测用布线部(第2布线部21N)具有第2布线主体(布线主体21a)和调整用布线21b。第2布线部21N的布线主体21a的一端与第2检测电极(检测电极17A)连接，另一端与另一第2检测电极(另一检测电极17A)或第2检测用端子(参照图6的(b)的端子13B)连接。调整用布线21b的一端与检测电极17A、第2布线部21N的布线主体21a或端子13B连接，另一端被设为开放端。第1布线部21P的布线主体21a的至少一部分和第2布线部21N的调整用布线21b的至少一部分在框架5上沿框架5的长度方向并列地延伸。

因此，例如，如根据比较例(图6的(a))、第1实施方式(图5的(a))以及本实施方式(图7的(a))的比较可理解的那样，在本实施方式中，相对于比较例，变更布线主体21a的位置和/或各种电极与多个端子13的连接关系的必要性降低。因此，例如，通过不对初始设计加以较大的变更而通过追加调整用布线21b的简便的方法，能够降低起因于框架5的挠曲变形的噪声。此外，例如，因为调整用布线21b的长度(在另外的观点中是开放端的位置)是任意的，所以能够基于起因于框架5的挠曲变形的噪声的实测值来对调整用布线21b的长度进行调整，从而使噪声降低的效果提高。

此外，在本实施方式中，第1检测用布线部(第1布线部21P)中的在框架5上向框架5的长度方向延伸的部分从检测臂9的根部侧仅向第1部位5a侧延伸。第2检测用布线部(第2布线部21N)中的在框架5上向框架5的长度方向延伸的部分从检测臂9的根部侧向第1部位5a侧以及第2部位5b侧这两方延伸。

在该情况下，例如，在第1部位5a以及第2部位5b中产生的电荷均能够经由检测用布线部21导向外部。因此，能够使第1部位5a以及第2部位5b的电荷在检测臂9或驱动臂7的周围形成不期望的电场的可能性下降。此外，例如，相较于第1布线部21P以及第2布线部21N仅向第1部位5a侧延伸的方式(第1实施方式)，容易使位于第1部位5a的检测用布线部21的面积和位于第2部位5b的检测用布线部21的面积接近。其结果是，例如，容易使检测用布线部21对框架5的刚性带来的影响在第1部位5a以及第2部位5b中接近。

(第1实施方式的说明的补充)

第1在实施方式中，与第2实施方式不同，第1布线主体(第1布线部21P的布线主体21a)的至少一部分和第2布线主体(第2布线部21N的布线主体21a)的至少一部分在框架5上沿框架5的长度方向并列地延伸。

在该情况下，例如，因为通过布线主体21a自身的结构降低起因于框架5的挠曲变形的噪声，所以容易降低框架5上的检测用布线部21的面积。

此外，在第1在实施方式中，第1检测用布线部(第1布线部21P)位于第1部位5a以及第2部位5b中的至少第1部位5a。第2检测用布线部(第2布线部21N)位于第1部位5a以及第2部位5b中的至少第1部位5a。从第1布线部21P的第1部位5a中的长度(La)中减去第1布线部21P的第2部位5b中的长度(0)得到的第1长度(LP＝La-0)、与从第2布线部21N的第1部位5a中的长度(La)减去第2布线部21N的第2部位5b中的长度(0)得到的第2长度(LN＝La-0)之差为第1部位5a的长度La的一半以下(0)。

因此，如已描述的那样，第1实施方式不仅相对于比较例而且相对于第2实施方式，均能够降低起因于框架5的挠曲变形的噪声。上述中的检测用布线部21的长度例如可以设为检测用布线部21的中心线上的长度，此外，不仅包括在x轴方向上延伸的长度，还可以包括在y轴方向上延伸的长度。如已描述的那样，由于检测用布线部21在检测臂9的根部周围交错，从而在比较例(图6的(a))中，有时也会不期望地缩小第1长度LP以及第2长度LN之差。但是，认为如果是由这样的交错导致的缩小，则该差不会成为长度La的一半以下。

此外，在第1实施方式中，在第1检测用布线部(第1布线部21P)以及第2检测用布线部(第2布线部21N)的任一者中，在框架5上向框架5的长度方向延伸的部分均从检测臂9的根部侧仅向第1部位5a侧延伸。

在该情况下，例如，能够减少调整用布线21b的数量或去除调整用布线21b。即，能够利用简化的结构，将上述的第1长度LP与第2长度LN之差设为长度La的一半以下。

在第2实施方式以及后述的第3实施方式中，与第1实施方式不同，端子13B是第2(或第1)检测用端子的一个例子(参照图6的(b))。端子13C以及13D是激振用端子的一个例子。

[第3实施方式]

图7的(b)是示意性地示出第3实施方式涉及的传感器元件301的检测用布线部21的相当于图5的(a)的图(俯视图)。传感器元件301的仰视图与比较例涉及的图6的(b)相同。

第2在实施方式中，仅在第1布线部21P以及第2布线部21N中的第2布线部21N设置有调整用布线21b。相对于此，在本实施方式中，在第1布线部21P也设置有调整用布线21b。此外，在本实施方式中，从第1布线部21P的第1部位5a中的长度(布线主体21a的长度La)中减去第1布线部21P的第2部位5b中的长度(调整用布线21b的长度La)得到的第1长度(LP＝La-La＝0)、与从第2布线部21N的第1部位5a中的长度(调整用布线21b的长度La)中减去第2布线部21N的第2部位5b中的长度(布线主体21a的长度La)得到的第2长度(LN＝La-La＝0)之差(0-0＝0)是第1部位5a的长度La的一半以下。

如以上所示，在本实施方式中，也与第1以及第2实施方式同样，第1检测用布线部(第1布线部21P)的至少一部分和第2检测用布线部(第2布线部21N)的至少一部分在框架5上沿框架5的长度方向遍及框架5的长度的1/4以上而并列地延伸。因此，可实现与其他实施方式同样的效果。例如，能够降低从框架5向第1布线部21P赋予的电荷与从框架5向第2布线部21N赋予的电荷之差，并且降低起因于框架5的挠曲变形的噪声。

此外，在本实施方式中，与第2实施方式同样，第1布线部21P以及第2布线部21N的一者的布线主体21a的至少一部分、和第1布线部21P以及第2布线部21N的另一者的调整用布线21b的至少一部分在框架5上沿框架5的长度方向并列地延伸。因此，例如，与第2实施方式同样，能够通过相对于比较例(在另外的观点中为初始设计)追加调整用布线21b的简便的方法，从而降低起因于框架5的挠曲变形的噪声。另一方面，在本实施方式中，与第1实施方式同样，第1长度LP与第2长度LN之差是第1部位5a的长度La的一半以下。因此，相比于第2实施方式，容易降低起因于框架5的挠曲变形的噪声。

在另外的观点中，在第1检测用布线部(第1布线部21P)以及第2检测用布线部(第2布线部21N)的任一者中，在框架5上向框架5的长度方向延伸的部分均从检测臂9的根部侧向第1部位5a侧以及第2部位5b侧这两方延伸。

在该情况下，例如，与第1实施方式同样，能够将上述的第1长度LP与第2长度LN之差设为长度La的一半以下。另一方面，与第2实施方式同样，例如，能够使在第1部位5a以及第2部位5b中产生的电荷均经由检测用布线部21导向外部。此外，例如，容易使位于第1部位5a的检测用布线部21的面积和位于第2部位5b的检测用布线部21的面积接近。

[第4实施方式]

图8是示出第4实施方式涉及的传感器元件401的结构的俯视图。但是，在该图中，基本上省略了设置在传感器元件401的表面的导电层的图示。

(传感器元件的结构)

首先，传感器元件401的压电体403包括如组合了两个第1实施方式的压电体3那样的形状。即，压电体403具有两个单元404(404A以及404B)，各单元404具有框架5(5A或5B)、从框架5在y轴方向互相并列地延伸的至少一对(在本实施方式中两对)驱动臂7(7C～7J)以及检测臂9(9A或9B)。

两个单元404配置为使与驱动臂7以及检测臂9延伸的方向相反的一侧彼此对置。两个单元404间的距离例如可以适当地设定，以使得框架5A以及5B不互相接触。两个单元404彼此例如是大致相同的形状以及大小(相对于与x轴平行的未图示的对称轴线对称的形状以及大小)。

此外，第1实施方式的压电体3具有一对安装臂1，以作为设置支撑框架5的部分以及端子13的部分。相对于此，在压电体403中对应于安装臂11的安装部411在俯视下具有支撑框架5的内框23、从内框23向其外侧突出的突部25、和与突部25的前端连接的外框27，在外框27的下表面设置有多个端子13。

图示的安装部411只是支撑两个框架5的安装部的一个例子。安装部能够是各种形状。例如，外框27也可以是一边向适当的方向屈曲一边延伸的多个脚状，而不是框状。突部25也可以仅设为一个，而不是两个。也可以不设置外框27以及突部25，而在内框23设置多个端子13。也可以代之于安装部411，通过与第1实施方式的一对安装臂11同样的结构，来实现两根框架5的支撑。

多个端子13在图示的例子中设置有6个。其中的4个与第1实施方式同样，与从电位的观点出发分成2组的激振电极15、和从电位的观点出发分成2组的检测电极17连接。其余两个例如是在第1实施方式中也提及过的赋予基准电位的端子，并与基准电位布线20连接。6个端子13可以配置在外框27的适当的位置。也可以不设置基准电位布线20以及基准电位用的端子13。

第1实施方式的压电体3相对于一根框架5具有一对驱动臂7，而压电体403的单元404相对于一根框架5具有两对驱动臂7。如后述那样(图10的(a)以及图10的(b))，相邻的两根驱动臂7彼此(7C以及7D的两根、7E以及7F的两根、7G以及7H的两根、和7I以及7J的两根)以相同的相位施加电压，以使得互相一起向x轴方向的相同侧折弯。因此，相邻的两根驱动臂7可以看作相当于第1实施方式的一根驱动臂7。

通过像这样将第1实施方式的驱动臂7分割成两根，例如，即使使驱动臂7的长度缩短，也能够确保作为驱动臂7整体的质量，进一步地，能够兼顾小型化和检测灵敏度的提高。驱动臂7也可以相对于一根框架设置多于两对。相邻的两根驱动臂7的形状以及尺寸例如大致彼此相同。但是，也可以互相不同。压电体403例如大致是相对于未图示的对称轴(检测臂9)线对称的形状，多个驱动臂7的形状以及配置也大概线对称。

传感器元件401的各单元404中的激振电极15以及检测电极17的结构以及连接关系可以与传感器元件1同样。如已描述的那样，相邻的两根驱动臂7相当于第1实施方式的一根驱动臂7，彼此以相同相位施加电压。因此，在该两根驱动臂7之间，激振电极15A彼此被设为相同电位，激振电极15B彼此被设为同电位。应当成为相同电位的激振电极15彼此例如通过激振用布线部19连接。

对于单元404间的激振电极15以及检测电极17的连接关系，在以下的动作的说明中进行说明。

(角速度传感器的动作)

图9的(a)以及图9的(b)是示意性地示出第4实施方式中的压电体403的激振状态的俯视图，对应于第1实施方式的图3的(a)以及图3的(b)。在这些示意图中，关于安装部411，仅示出了内框23的一部分(一对侧方部23a的一部分)。

各单元404中的激振与第1实施方式中的压电体3的激振基本上相同。但是，在各单元404中，以相同的相位施加电压，以使得相邻的两根驱动臂7彼此一起向相同侧折弯，相当于压电体3的一根驱动臂7。

在两个单元404彼此中，例如相对于检测臂9位于x轴方向的相同侧(正侧或负侧)的驱动臂7彼此以相同的相位施加电压，以使得向x轴方向的相同侧折弯。因此，框架5A以及5B彼此向相反方向挠曲。此外，检测臂9A以及9B彼此向相反方向位移。

为了如上述那样的电压施加，例如在相对于检测臂9位于x轴方向的相同侧的驱动臂7(7C、7D、7G以及7H、或7E、7F、7I以及7J)中，激振电极15A彼此被设为相同的电位，激振电极15B彼此被设为相同的电位。应当成为相同电位的激振电极15彼此例如通过多个激振用布线部19互相连接。并且，所有激振电极15经由6个端子13中的两个而与驱动电路103(图2的(b))连接。

图10的(a)以及图10的(b)是用于示意性地说明传感器元件401中的检测臂9的振动的俯视图，对应于第1实施方式的图4的(a)以及图4的(b)。在这些图中，省略了框架5以及驱动臂7的变形的图示。

如参照图9的(a)以及图9的(b)说明的那样，考虑压电体403正在振动的状态。在该状态下，如果传感器元件401绕z轴旋转，则在各单元404中，与第1实施方式同样，检测臂9因科里奥利的力而在x轴方向上振动。此时，因为检测臂9A以及9B正在y轴方向上以彼此向相反侧位移的相位振动，所以相对于绕z轴的旋转方向，在相同侧受到科里奥利的力。在另外的观点中，检测臂9A以及9B在x轴方向上如彼此向相反侧折弯那样地振动。

为了将在这样的检测臂9A以及9B中产生的信号相加，例如，检测臂9A的检测电极17A和检测臂9B的检测电极17B被连接，检测臂9A的检测电极17B和检测臂9B的检测电极17A被连接。该连接例如通过多个检测用布线部21实现。并且，所有检测电极17经由6个端子13中的两个与检测电路105(图2的(b))连接。

(检测用布线部)

图11是示意性地示出传感器元件401的检测用布线部21的俯视图，相当于第1实施方式的图5的(a)。图12是示意性地示出检测用布线部21的从上方透视而示出的仰视图，相当于第1实施方式的图5的(b)。但是，在图11中，与图5的(a)不同，基准电位布线20的至少一部分的位置被示为实线。在相当于图5的(a)的后述的其他附图(图13～图16)中也是同样的。

与第1实施方式同样，在各检测臂9中，检测电极17A彼此被互相连接，检测电极17B彼此被互相连接。该连接例如与第1实施方式同样，在各检测臂9的前端或根部侧进行。

此外，检测臂9A的检测电极17B和检测臂9B的检测电极17A通过第1布线部21P连接。检测臂9A的检测电极17A和检测臂9B的检测电极17B通过第2布线部21N连接。

更具体地，在图示的例子中，第1布线部21P具有从检测臂9A的检测电极17B在框架5A(其第1部位5a)向-x侧延伸并到达侧方部23a的布线主体21a。此外，第1布线部21P具有从检测臂9B的检测电极17A在框架5B(其第1部位5a)向-x侧延伸并到达侧方部23a的布线主体21a。上述的两个布线主体21a汇合，并沿着侧方部23a延伸。虽然未特别图示，该汇合后的布线主体21a从内框23经由突部25到达外框27，并与端子13连接。

此外，在图示的例子中，第2布线部21N具有从检测臂9A的检测电极17A在框架5A(其第2部位5b)向+x侧延伸并到达侧方部23a的布线主体21a。该布线主体21a进一步地在+x侧的侧方部23a向框架5B侧延伸之后，在框架5B(其第2部位5b)向-x侧延伸，并与检测臂9B的检测电极17B连接。此外，第2布线部21N具有从检测臂9B的检测电极17B在框架5B(其第1部位5a)向-x侧延伸并到达侧方部23a的布线主体21a。虽然未特别图示，该布线主体21a从内框23经由突部25到达外框27，并与端子13连接。

并且，第1布线部21P中的从检测臂9B的检测电极17A在框架5B(其第1部位5a)向-x侧延伸的部分、和第2布线部21N中的从检测臂9B的检测电极17B在框架5B(其第1部位5a)向-x侧延伸的部分互相并列地延伸。其并列地延伸的长度是一个框架5的长度的1/4以上(在图示的例子中为大致1/2)。因此，在本实施方式中，也可实现与第1实施方式同样的效果。例如，能够降低从框架5向第1布线部21P赋予的电荷与从框架5向第2布线部21N赋予的电荷之差，从而降低起因于框架5的挠曲变形的噪声。

更详细地，在本实施方式中，与第1实施方式同样，第1布线部21P以及第2布线部21N的布线主体21a彼此在框架5中互相并列地延伸。此外，在本实施方式中，与第2实施方式同样，第1布线部21P以及第2布线部21N的一者(第1布线部21P)从检测臂9的根部侧仅向第1部位5a侧延伸，另一者(第2布线部21N)从检测臂9的根部侧仅向第1部位5a侧以及第2部位5b侧这两方延伸。

在本实施方式中，关于两个框架5的第1部位5a彼此，成为极化轴(x轴)的正侧的部分的变形和成为负侧的部分的变形的相对关系相同。因此，在两个框架5的第1部位5a中产生的电荷的正负相同且大小等同的情况较多。对于第2部位5b，也是同样的。因此，在考虑上述的第1长度LP以及第2长度LN时，可以考虑第1布线部21P以及第2布线部21N的两个框架5整体中的长度。

例如，在本实施方式中，从第1布线部21P的第1部位5a中的长度(2×La)中减去第1布线部21P的第2部位5b中的长度(0)得到的第1长度LP成为2La-0＝2La。从第2布线部21N的第1部位5a中的长度(La)中减去第2布线部21N的第2部位5b中的长度(2×La)得到的第2长度LN成为La-2La＝-La。因此，两者之差(LP-LN)成为2La-(-La)＝3La。

另一方面，作为比较例，例如，关于第2布线部21N，考虑不设置从检测臂9B的检测电极17B在框架5B(其第I部位5a)向-x侧延伸的布线主体21a，而将位于+x侧的侧方部23a的布线主体21a向突部25延长以向端子13连接的结构。在该结构中，第1长度LP与本实施方式相同。此外，第2长度LP成为-2La。因此，两者之差(LP-LN)成为2La-(-2La)＝4La。

因此，在本实施方式中，相较于上述的比较例，可知通过设置从检测臂9B的检测电极17B在框架5B(其第1部位5a)向-x侧延伸的布线主体21a，降低了第1长度LP以及第2长度LN之差。即，能够确认通过第1布线部21P以及第2布线部21N在框架5中互相并列地延伸，可降低噪声。

在比较例中，实际上可能因检测臂9的根部侧的检测用布线部21的交错而不期望地降低第1长度LP与第2长度LN之差。但是，认为在该情况下的差不会变得比4La-La/2＝7La/2短。

[第5实施方式]

图13是示意性地示出第5实施方式涉及的传感器元件501的检测用布线部21的俯视图，相当于第1实施方式的图5的(a)。传感器元件501的仰视图与第4实施方式涉及的图12相同。

如果直接了当地说，则传感器元件501的检测用布线部21的结构是在第4实施方式(图11)的第2布线部21N中，将从检测臂9A的检测电极17A经由+x侧的侧方部23a而到达检测臂9B的检测电极17B的布线主体21a变更为经由-x侧的侧方部23a的结构。其结果是，该布线主体21a与第1布线部21P中的从检测臂9A的检测电极17B到达检测臂9B的检测电极17A的布线主体21a在框架5A以及5B的第1部位5a中并列地延伸。

在这样的结构中，与其他实施方式同样，因为第1布线部21P和第2布线部21N遍及框架5的长度的1/4以上而并列地延伸，所以电可实现与第1实施方式同样的效果。例如，能够降低从框架5向第1布线部21P赋予的电荷与从框架5向第2布线部21N赋予的电荷之差，从而降低起因于框架5的挠曲变形的噪声。

更详细地，在本实施方式中，与第1实施方式同样，第1布线部21P以及第2布线部21N的布线主体21a彼此在框架5中互相并列地延伸。此外，在本实施方式中，与第1实施方式同样，第1布线部21P以及第2布线部21N这两者从检测臂9的根部侧仅向第1部位5a侧延伸。

在本实施方式中，从第1布线部21P的第1部位5a中的长度(2×La)中减去第1布线部21P的第2部位5b中的长度(0)得到的第1长度LP成为2La-0＝2La。从第2布线部21N的第1部位5a中的长度(3La)中减去第2布线部21N的第2部位5b中的长度(0)得到的第2长度LN成为3La-0＝3La。因此，两者之差(LP-LN)成为2La-3La＝-La。该长度(绝对值)相较于第4实施方式的第1长度LP和第2长度LN之差(3La)较短。即，本实施方式相较于第4实施方式，能够进一步降低噪声。

本实施方式以及后述的第6～第8实施方式的第1长度LP与第2长度LN之差均比第4实施方式短。如果考虑检测用布线部21的检测臂9的根部侧的交错，则根据与第4实施方式的对比，能够说第5～第8实施方式是第1长度LP与第2长度LN之差为5La/2(＝3La-La/2)以下的方式。此外，能够说本实施方式是第1长度LP与第2长度LN之差(绝对值)为3La/2以下的方式。

在本实施方式中，第2布线部21N的到达端子13的布线主体21a从检测臂9B的检测电极17B在框架5B向-x侧延伸并到达侧方部23a，在此朝向未图示的突部25延伸。但是，该布线主体21a也可以从+x侧的检测电极17B向+x侧延伸并到达侧方部23a，并且朝向突部25延伸。在该情况下，第1长度LP与第2长度LN之差的绝对值也是La。

[第6实施方式]

图14是示意性地示出第6实施方式涉及的传感器元件601的检测用布线部21的俯视图，相当于第1实施方式的图5的(a)。传感器元件601的仰视图与第4实施方式涉及的图12相同。

如果直接了当地说，则传感器元件601的检测用布线部21的结构是在第5实施方式(图13)的第2布线部21N中，追加了在框架5B的第2部位5b延伸的调整用布线21b的结构。更详细地，该调整用布线21b的一端与将检测臂9A的检测电极17A和检测臂9B的检测电极17B连接的布线主体21a连接，另一端被设为开放端。

第2实施方式(图7的(a))以及第3实施方式(图7的(b))的调整用布线21b构成为与电位不同的其他布线部(布线主体21a)并列地延伸的部分。另一方面，本实施方式的调整用布线21b未形成为与电位不同的其他布线部并列地延伸。调整用布线21b有助于降低第1长度LP与第2长度LN之差。由此，例如，能够降低从框架5向第1布线部21P赋予的电荷与从框架5向第2布线部21N赋予的电荷之差，以降低起因于框架5的挠曲变形的噪声。

具体地，在本实施方式中，从第1布线部21P的第1部位5a中的长度(2×La)中减去第1布线部21P的第2部位5b中的长度(0)得到的第1长度LP成为2La-0＝2La。从第2布线部21N的第1部位5a中的长度(3La)中减去第2布线部21N的第2部位5b中的长度(La)得到的第2长度LN成为3La-La＝2La。因此，两者之差(LP-LN)成为2La-2La＝0。该长度相较于第5实施方式的第1长度LP和第2长度LN之差(La)比较短。即，本实施方式相较于第5实施方式，能够进一步降低噪声。

如根据第5实施方式(图13)可理解的那样，若仅利用布线主体21a的位置的调整，可能难以使第1长度LP和第2长度LN之差为0。在这样的情况下，如根据本实施方式可理解的那样，能够通过设置调整用布线21b来使第1长度LP和第2长度LN之差为0。

如果考虑检测用布线部21的检测臂9的根部侧的交错，则根据与第5实施方式的对比，能够说本实施方式是第1长度LP与第2长度LN之差为La/2以下的方式。此外，在本实施方式中，与第1实施方式同样，第1布线部21P以及第2布线部21N的布线主体21a彼此在框架5中互相并列地延伸。此外，在本实施方式中，与第2实施方式(图7的(a))同样，第1布线部21P从检测臂9的根部侧仅向第1部位5a侧延伸，第2布线部21N从检测臂9的根部侧向第1部位5a侧以及第2部位5b侧这两方延伸。

[第7实施方式]

图15是示意性地示出第7实施方式涉及的传感器元件701的检测用布线部21的俯视图，相当于第1实施方式的图5的(a)。传感器元件701的仰视图与第4实施方式涉及的图12相同。

如果直接了当地说，则传感器元件701的检测用布线部21的结构是在第4实施方式(图11)的第1布线部21P中，追加了在框架5B的第2部位5b延伸的调整用布线21b的结构。更详细地，该调整用布线21b的一端与将检测臂9A的检测电极17B和检测臂9B的检测电极17A连接的布线主体21a连接，另一端被设为开放端。

通过调整用布线21b的追加，在本实施方式中，相较于第4实施方式，第1长度LP与第2长度LN之差变短。具体地，在本实施方式中，从第1布线部21P的第1部位5a中的长度(2×La)中减去第1布线部21P的第2部位5b中的长度(La)得到的第1长度LP成为2La-La＝La。从第2布线部21N的第1部位5a中的长度(La)中减去第2布线部21N的第2部位5b中的长度(2×La)得到的第2长度LN成为La-2La＝-La。因此，两者之差(LP-LN)成为La-(-La)＝2La。该长度相较于第4实施方式的第1长度LP和第2长度LN之差(3La)较短。即，本实施方式相较于第4实施方式，能够进一步降低噪声。

在像这样通过调整用布线21b降低了噪声的情况下，如在第2以及第3实施方式(图7的(a)以及图7的(b))中说明的那样，能够降低相对于初始设计(在此是图11)的布线主体21a等的设计变更的程度。

在本实施方式中，与第1实施方式同样，第1布线部21P以及第2布线部21N的布线主体21a彼此在框架5中互相并列地延伸。此外，在本实施方式中，与第2以及第3实施方式(图7的(a)以及图7的(b))同样，电位不同的布线部(21P以及21N)的布线主体21a和调整用布线21b在框架5中互相并列地延伸。此外，在本实施方式中，与第3实施方式同样，第1布线部21P以及第2布线部21N均从检测臂9的根部侧向第1部位5a侧以及第2部位5b侧这两方延伸。

[第8实施方式]

图16是示意性地示出第8实施方式涉及的传感器元件801的检测用布线部21的俯视图，相当于第1实施方式的图5的(a)。传感器元件801的仰视图与第4实施方式涉及的图12相同。

如果直接了当地说，则传感器元件801的检测用布线部21的结构是在第7实施方式(图15)的第1布线部21P中，追加了在框架5A的第2部位5b延伸的调整用布线21b的结构。更详细地，该调整用布线21b的一端与将检测臂9A的检测电极17B和检测臂9B的检测电极17A连接的布线主体21a连接，另一端被设为开放端。

通过该调整用布线21b的追加，在本实施方式中，相较于第7实施方式，第1长度LP与第2长度LN之差变短。具体地，在本实施方式中，从第1布线部21P的第1部位5a中的长度(2×La)中减去第1布线部21P的第2部位5b中的长度(2×La)得到的第1长度LP成为2La-2La＝0。从第2布线部21N的第1部位5a中的长度(La)中减去第2布线部21N的第2部位5b中的长度(2×La)得到的第2长度LN变为La-2La＝-La。因此，两者之差(LP-LN)成为0-(-La)＝La。该长度相较于第7实施方式的第1长度LP和第2长度LN之差(2La)比较短。即，本实施方式相较于第7实施方式，能够进一步降低噪声。

[第9实施方式]

图17的(a)是将第9实施方式涉及的传感器元件901的一部分放大而示出的与图2的(a)同样的立体图。图17的(b)是示出第9实施方式涉及的角速度传感器951的与图2的(b)同样的图，包括对应于图17的(a)的XVIIb-XVIIb线的剖视图。

第2实施方式涉及的角速度传感器951与第1实施方式涉及的角速度传感器51同样，通过使一对驱动臂7在x轴方向上振动，从而使框架5弯曲(振动)，进一步地使检测臂9在y轴方向上位移(振动)。并且，使科里奥利的力直接地作用于在检测臂9。但是，相对于检测角速度传感器51绕z轴的旋转，角速度传感器951检测绕x轴的旋转。具体地，如以下所示。

传感器元件901具有压电体3、多个激振电极15、多个检测电极917(917A以及917B)、多个端子13(参照图1)、多个激振用布线部19以及多个检测用布线部21。这些除多个检测电极917(以及检测用布线部21的检测臂9以及其周围的具体的位置)之外，可以设为基本上与第1实施方式的传感器元件1相同。图1可以被看作示出传感器元件901的立体图。

但是，在本实施方式中，与第1实施方式不同，期望检测臂9因科里奥利的力而在z轴方向上振动。基于这样的差异，各种的尺寸可以与第1实施方式不同。

检测电极917A在检测臂9中，分别设置在面向x轴方向的负侧的面中的z轴方向的正侧(例如相比于该面的中央更靠正侧)的区域、以及面向x轴方向的正侧的面中的z轴方向的负侧(例如相比于该面的中央更靠负侧)的区域。检测电极917B在检测臂9中，分别设置在面向x轴方向的负侧的面中的z轴方向的负侧(例如相比于该面的中央更靠负侧)的区域、以及面向x轴方向的正侧的面中的z轴方向的正侧(例如相比于该面的中央更靠正侧)的区域。

在检测臂9的各侧面中，检测电极917A以及917B空出适当的间隔，以使得不互相短路，并且沿着检测臂9延伸。两个检测电极917A彼此例如通过检测用布线部21连接。此外，两个检测电极917B彼此例如通过检测用布线部21连接。

在这样的检测电极917的配置以及连接关系中，如果检测臂9在z轴方向上挠曲变形，则例如产生与z轴方向平行的电场。即，在检测臂9的各侧面中，在检测电极917A与检测电极917B之间产生电压。电场的朝向由极化轴的朝向和弯曲的朝向(z轴方向的正侧或负侧)决定，在x轴方向的正侧部分和负侧部分中彼此相反。该电压(电场)被输出到检测电极917A以及检测电极917B。如果检测臂9在z轴方向上振动，则电压作为交流电压而被检测出。关于电场，如上述那样与z轴方向平行的电场也可以是支配性的，与x轴方向平行且在z轴方向的正侧部分和负侧部分中彼此相反朝向的电场的比例也可以较大。总之，与检测臂9向z轴方向的挠曲变形相应的电压在检测电极917A与检测电极917B之间产生。

虽然未特别图示，也可以在检测臂9形成从上表面向下表面贯通，并沿着检测臂9的长度方向延伸的一个以上的贯通槽(狭缝)。并且，也可以分别在由贯通槽分割的多个长条状部分中，如图示的例子的检测臂9那样，配置以及连接检测电极917A以及917B。在该情况下，相较于仅将多个检测电极917设置在检测臂9的外侧面的情况，作为整体的面积变大。其结果是，能够高效地提取在检测臂9中产生的电荷以作为电信号。

多个检测用布线部21如上述那样将检测电极17彼此连接。此外，多个检测用布线部21将从电位的观点出发分成2组的检测电极17和两个端子13连接。该多个检测用布线部21与到此为止的实施方式同样，具有第1布线部21P以及第2布线部21N。第1布线部21P以及第2布线部21N的框架5中的配置也可以设为与到此为止的实施方式所示的任一配置相同。

(角速度传感器的动作)

第9实施方式中的压电体3的激振与第1实施方式中的激振相同。图3的(a)以及图3的(b)可以被看作示出了第9实施方式中的压电体3的激振状态的图。因此，一对驱动臂7在x轴方向上如互相接近以及反向远离那样地振动，检测臂9在y轴方向上位移(振动)。

图18的(a)以及图18的(b)是用于说明由科里奥利的力引起的检测臂9的振动的示意性的立体图。图18的(a)以及图18的(b)对应于图3的(a)以及图3的(b)的激振状态。

如参照图3的(a)以及图3的(b)说明过的那样考虑压电体3正在振动的状态。在该状态下，因为如果传感器元件901绕x轴旋转，则检测臂9在y轴方向上振动(位移)，所以因科里奥利的力而在与旋转轴(x轴)和振动方向(y轴)正交的方向(z轴方向)上振动(变形)。因该变形而产生的信号(电压)如上述那样由检测电极17提取。关于科里奥利的力(进一步地检测出的信号的电压)，角速度越大则变得大。由此，可检测角速度。

本发明不限定于以上的实施方式，可以作为各种方式来实施。

上述的多个实施方式可以适当地组合。第4实施方式等相邻的两根驱动臂同相地激振，从而如一根臂那样地振动的结构也可以应用于第1实施方式等框架为一根的方式。反之，在第4实施方式等框架为两根的结构中，驱动臂在各框架中也可以仅设置一对。此外，例如，第9实施方式的检测电极也可以应用于框架为两根的结构。在该情况下，两个检测臂通过绕x轴的旋转而向z轴方向的彼此相反侧振动。因此，一个检测臂的检测电极917A和另一检测臂的检测电极917B被连接。

在第4实施方式等中，两个单元404使与驱动臂以及检测臂延伸出的一侧相反的一侧对置，并被共同的支撑部支撑。但是，两个单元404也可以使驱动臂以及检测臂延伸出的一侧对置，并被共同的支撑部支撑(参照专利文献1的图8)。此外，驱动臂以及检测臂也可以从一根框架向与该框架相交的方向的两侧延伸(参照专利文献I的图9)。此外，两个单元404也可以使驱动臂以及检测臂延伸出的一侧对置，并且驱动臂的前端彼此被连接(参照专利文献2)。

布线部的长度、宽度以及厚度之中，对于框架的挠曲变形向布线部赋予的电荷的大小，长度的影响较大。此外，布线部的宽度以及厚度也由激振电极以及检测电极的设计值和形成布线的工艺的精度等规制。因此，基本上如本实施方式中说明的那样，可以以框架的第1部位以及第2部位中的布线部的长度为基准，实现起因于框架的挠曲变形的噪声的降低的调整。但是，也可以对布线部的第1部位以及第2部位中的宽度以及厚度进行调整。

传感器元件或角速度传感器可以构成为MEMS(Micro Electro MechanicalSystems，微机电系统)的一部分。在该情况下，也可以安装在MEMS的基板上以构成传感器元件的压电体，也可以是，MEMS的基板利用压电体构成，并利用其一部分来构成传感器元件的压电体。

-符号说明-

1：传感器元件；3：压电体；5：框架；7：驱动臂；9：检测臂；13：端子(激振用端子；第1检测用端子或第2检测用端子)；15：激振电极；17A：检测电极(第1检测电极或第2检测电极)；17B：检测电极(第2检测电极或第1检测电极)；19：激振用布线部；21P：第1布线部(第1检测用布线部)；21N：第2布线部(第2检测用布线部)；51：角速度传感器；103：驱动电路；105：检测电路。