具体实施方式

以下，一边参照附图一边详细说明实施形态的真空泵。在本实施形态中，作为真空泵，以涡轮分子泵为例进行说明。

(1)第一实施形态

图1是本发明的第一实施形态的涡轮分子泵的示意性正面图。图2是图1的涡轮分子泵的A-A线剖面图。如图1所示，涡轮分子泵100包括：电源装置1、冷却器2、第一隔热板3、连接板4、第二隔热板5、泵主体6以及加热器7。

电源装置1包括电源装置框体1a。电源装置框体1a收容电源电路基板以及温度传感器等。所述电源装置1对泵主体6以及加热器7供给电力。在本实施形态中，如图2所示，电源装置框体1a具有八边柱外形。

如图1所示，冷却器2设置于电源装置框体1a的上表面上。冷却器2包括水冷夹套2a。在水冷夹套2a的内部设置冷却水配管。另外，在水冷夹套2a的外部形成冷却水入口2b以及冷却水出口2c。若对冷却水入口2b供给冷却水，则冷却水经由冷却水配管而从冷却水出口2c排出。由此，电源装置1得以冷却。在本实施形态中，如图2所示，冷却器2具有八边柱外形。

如图1所示，在冷却器2的上表面上，介隔第一隔热板3而设置连接板4。第一隔热板3例如是由具有隔热效果的树脂材料形成。在本实施形态中，如图2所示，第一隔热板3具有八边形形状的外缘以及八边形形状的内缘。第一隔热板3具有一定的宽度w1。连接板4例如是由金属形成。在本实施形态中，连接板4具有八边形形状。

电源装置1、冷却器2、第一隔热板3以及连接板4在俯视时具有相同的外形以及相同的尺寸。因此，电源装置1、冷却器2、第一隔热板3以及连接板4的侧面形成为同一面。

如图1所示，在连接板4的上表面上，介隔第二隔热板5而设置泵主体6。第二隔热板5例如是由具有隔热效果的树脂材料形成。另外，如图2所示，第二隔热板5具有宽度w2的圆环形状。图1的泵主体6包括圆筒状的壳体6a。壳体6a例如是由金属形成，收容转子以及马达等。连接板4通过螺栓等而连结于壳体6a。在壳体6a的外周面6b设置加热器7。加热器7对泵主体6进行加热，以使产物不附着于壳体6a的内部。

在本实施形态中，第二隔热板5以及泵主体6的壳体6a在俯视时具有相同的外形以及相同的尺寸。因此，第二隔热板5以及泵主体6的外周面6b形成为同一面。从连接板4的中心起至外缘为止的长度的最小值长于第二隔热板5以及壳体6a的半径。由此，连接板4在俯视时具有从泵主体6的外周面6b向外侧遍及整周地突出的突出部40。从泵主体6的外周面6b起至连接板4的外缘为止的长度的最小值(突出部40的最小宽度)为w3。

图3是图1的涡轮分子泵100的一部分的放大剖面图。第一隔热板3的下表面与冷却器2的上表面2u接触，第一隔热板3的上表面与连接板4的下表面4d接触。在冷却器2的上表面2u与连接板4的下表面4d之间，形成由第一隔热板3的内周面3a包围的间隙GP1。间隙GP1具有厚度t1。间隙GP1作为第一空气隔热层发挥功能。

第二隔热板5的下表面与连接板4的上表面4u接触，第二隔热板5的上表面与泵主体6的下表面6d接触。在连接板4的上表面4u与泵主体6的下表面6d之间，形成由第二隔热板5的内周面5a包围的间隙GP2。间隙GP2具有厚度t2。间隙GP2作为第二空气隔热层发挥功能。

在本实施形态中，泵主体6的外周面6b与第一隔热板3的内缘之间的距离D1为突出部40的最小宽度w3的1/2以上。在图3的例子中，第一隔热板3的内周面3a位于较突出部40的最小宽度w3的中间点C而言更靠外侧的位置。

根据第一实施形态的涡轮分子泵100，通过配置于冷却器2与连接板4之间的第一隔热板3，抑制冷却器2与连接板4之间的热的移动。另外，通过配置于泵主体6与连接板4之间的第二隔热板5，抑制泵主体6与连接板4之间的热的移动。由此，从由加热器7加热的泵主体6经由连接板4而移动至冷却器2的热的量得以减少。

另外，间隙GP1以及间隙GP2分别作为第一空气隔热层以及第二空气隔热层发挥功能。通常，空气的导热率小于树脂等固体材料的导热率。由此，通过作为间隙GP1的第一空气隔热层以及作为间隙GP2的第二空气隔热层，充分抑制冷却器2与泵主体6之间的热的移动。

进而，由于将第一隔热板3配置于冷却器2与连接板4的突出部40之间，因此从泵主体6起经过第二隔热板5、连接板4以及第一隔热板3而到达冷却器2的路径变长。由此，从泵主体6经由第一隔热板3而移动至冷却器2的热的量得以进一步减少。另外，在冷却器2与连接板4的除了突出部40以外的中央部之间形成间隙GP1。因此，泵主体6与冷却器2之间的最短路径中的热的移动得到充分抑制。

另外，第一隔热板3的宽度w1与连接板4的突出部40的最小宽度w3相比充分小。即，第一隔热板3的面积小。进而，第一隔热板3与泵主体6的外周面6b的距离充分长。由此，经过第一隔热板3的热的移动得到充分抑制。

这些的结果是能够在短时间内使泵主体6的温度上升到所期望的温度。

(2)第二实施形态

图4是本发明的第二实施形态的涡轮分子泵100的示意性正面图。图5是图4的涡轮分子泵100的B-B线剖面图。图4的涡轮分子泵100与图1的涡轮分子泵100在以下方面不同。

图4的涡轮分子泵100不具有图1的第二隔热板5。由此，连接板4与泵主体6的壳体6a一体化。另外，在图4的连接板4的下表面4d，形成嵌入区域4a。关于嵌入区域4a的详细情况，将在以后叙述。在嵌入区域4a，嵌入第一隔热板3的上表面。

如图5所示，嵌入区域4a沿着连接板4的最外周而形成。所述嵌入区域4a为外侧面开放的八边形的环状凹部。嵌入区域4a具有与第一隔热板3相同的宽度w1。

图6是图4的涡轮分子泵100的一部分的放大剖面图。第一隔热板3具有厚度t3。在将第一隔热板3嵌入至连接板4的嵌入区域4a的状态下，第一隔热板3的下表面与冷却器2的上表面2u接触，第一隔热板3的上表面与连接板4的嵌入区域4a的下表面接触。由此，在冷却器2的上表面2u与连接板4的下表面4d之间，形成由第一隔热板3的内周面3a包围的间隙GP1。第一隔热板3的厚度t3大于间隙GP1的厚度t1。

根据第二实施形态的涡轮分子泵100，第一隔热板3的厚度t3大于间隙GP1的厚度t1。换句话说，通过设置嵌入区域4a，可不增大涡轮分子泵100的总高地增大第一隔热板3的厚度t3。由此，通过第一隔热板3，充分减少连接板4与冷却器2之间的热的移动量。

另外，由于间隙GP1作为第一空气隔热层发挥功能，因此通过第一空气隔热层，充分减少冷却器2与连接板4之间的热的移动量。由此，从由加热器7加热的泵主体6经由连接板4而移动至冷却器2的热的量得以减少。

另外，第一隔热板3的宽度w1与连接板4的突出部40的最小宽度w3相比充分小。即，第一隔热板3的面积小。进而，第一隔热板3与泵主体6的外周面6b的距离充分长。由此，经过第一隔热板3的热的移动得到充分抑制。

这些的结果是能够在短时间内使泵主体6的温度上升到所期望的温度。

(3)其他实施形态

(a)图7是表示涡轮分子泵100的其他例的一部分的放大剖面图。图7的涡轮分子泵100与图3的涡轮分子泵100在以下方面不同。在图7的涡轮分子泵100中，在冷却器2的上表面2u形成嵌入区域2d(环状的凹部)。在嵌入区域2d嵌入第一隔热板3的下表面。另外，在泵主体6的下表面6d形成嵌入区域6c(环状的凹部)。在嵌入区域6c嵌入第二隔热板5的上表面。

第一隔热板3具有厚度t3。在将第一隔热板3嵌入至冷却器2的嵌入区域2d的状态下，第一隔热板3的下表面与冷却器2的嵌入区域2d的上表面接触，第一隔热板3的上表面与连接板4的下表面4d接触。由此，在冷却器2的上表面2u与连接板4的下表面4d之间，形成由第一隔热板3的内周面3a包围的间隙GP1。第一隔热板3的厚度t3大于间隙GP1的厚度t1。

另外，第二隔热板5具有厚度t4。在将第二隔热板5嵌入至泵主体6的嵌入区域6c的状态下，第二隔热板5的下表面与连接板4的上表面4u接触，第二隔热板5的上表面与泵主体6的嵌入区域6c的下表面接触。由此，在连接板4的上表面4u与泵主体6的下表面6d之间，形成由第二隔热板5的内周面5a包围的间隙GP2。第二隔热板5的厚度t4大于间隙GP2的厚度t2。

根据图7的涡轮分子泵100，间隙GP1作为第一空气隔热层发挥功能。由此，冷却器2与连接板4之间的热的移动量得以减少。间隙GP2作为第二空气隔热层发挥功能。由此，连接板4与泵主体6之间的热的移动量得以减少。

另外，通过将第一隔热板3嵌入至嵌入区域2d，第一隔热板3的厚度t3大于间隙GP1的第一空气隔热层的厚度t1。换句话说，通过设置嵌入区域2d，可不增大涡轮分子泵100的总高地增大第一隔热板3的厚度t3。由此，冷却器2与连接板4之间的热的移动量得以进一步减少。

另外，通过将第二隔热板5嵌入至嵌入区域6c，第二隔热板5的厚度t4大于间隙GP2的第二空气隔热层的厚度t2。换句话说，通过设置嵌入区域6c，可不增大涡轮分子泵100的总高地增大第二隔热板5的厚度t4。由此，连接板4与泵主体6之间的热的移动量得以进一步减少。

(b)图8是表示涡轮分子泵100的又一其他例的一部分的放大剖面图。图8的涡轮分子泵100与图7的涡轮分子泵100在以下方面不同。在图8的涡轮分子泵100中，并未在冷却器2的上表面2u形成第一嵌入区域2d，而是在连接板4的下表面4d形成嵌入区域4a(环状的凹部)。在嵌入区域4a嵌入第一隔热板3的上表面。另外，并未在泵主体6的下表面6d形成第二嵌入区域6c，而是在连接板4的上表面4u形成嵌入区域4b(环状的凹部)。在嵌入区域4b嵌入第二隔热板5的下表面。图8的涡轮分子泵100的其他部分的结构与图7的涡轮分子泵100的结构相同。

根据图8的涡轮分子泵100，可获得与图7的涡轮分子泵100相同的效果。另外，根据图8的涡轮分子泵100，由于是将嵌入区域4a以及嵌入区域4b两者形成于连接板4，因此涡轮分子泵100的制造工序的数量得以减少。

(c)在所述实施形态中，第一嵌入区域形成于冷却器2的上表面2u或连接板4的下表面4d的任一者，但本发明并不限定于此。第一嵌入区域也可形成于冷却器2的上表面2u以及连接板4的下表面4d两者。

(d)在所述实施形态中，第二嵌入区域形成于连接板4的上表面4u或泵主体6的下表面6d的任一者，但本发明并不限定于此。第二嵌入区域也可形成于连接板4的上表面4u或泵主体6的下表面6d两者。

(e)在所述实施形态中，第一隔热板3以及第二隔热板5是由树脂材料形成，但本发明并不限定于此。第一隔热板3以及第二隔热板5也可由具有隔热效果的橡胶材料等其他材料形成。

(f)在所述实施形态中，电源装置1、冷却器2、第一隔热板3以及连接板4在俯视时具有相同的八边形形状，但本发明并不限定于此。电源装置1、冷却器2、第一隔热板3以及连接板4也可在俯视时具有相同或不同的椭圆形状或四边形形状等其他形状。

(g)在所述实施形态中，第一隔热板3沿着连接板4的最外周而配置，但第一隔热板3也可配置于较连接板4的最外周而言更靠内侧的位置。所述情况下，嵌入区域4a以及嵌入区域2d也可为在外缘以及内缘具有侧面的环状的凹部。

(h)在所述实施形态中，嵌入区域4a以及嵌入区域2d在俯视时以包围泵主体6的外周面6b的方式遍及壳体6a的整周而连续地设置，但嵌入区域4a以及嵌入区域2d也可间断地设置。另外，嵌入区域6c以及嵌入区域4b沿着泵主体6的外周面6b而连续地设置，但嵌入区域6c以及嵌入区域4b也可间断地设置。

(i)在所述实施形态中，示出了真空泵为涡轮分子泵100的情况，但本发明并不限定于此。例如，本发明也能够应用于西格巴恩泵(Siegbahn pump)或霍尔维克泵(Holweckpump)等仅包括拖拽泵(drag pump)(螺纹槽泵)的真空泵，或者也能够应用于包含涡轮分子泵以及拖拽泵的组合的真空泵。

(4)实施例以及比较例

为了对涡轮分子泵100的泵主体6的外周面6b的温度变化进行比较，而进行以下所示的模拟以及实机试验。在实施例1中，使用图6的涡轮分子泵100。在实施例2中，使用图7的涡轮分子泵100。

实施例1以及实施例2的泵主体6的间隙GP1的厚度t1为3mm，第一隔热板3的厚度t3为5mm。另外，实施例2的泵主体6的间隙GP2的厚度t2为3mm，第二隔热板5的厚度t4为5mm。

图9是比较例中所使用的涡轮分子泵100a的一部分的放大剖面图。如图9所示，连接板4介隔具有厚度t5的隔热板30而设置于冷却器2的上表面上。泵主体6设置于连接板4的上表面上。隔热板30的宽度w4大于突出部40的最小宽度w3的1/2。具体而言，比较例的隔热板30的上表面以及下表面的面积比实施例1、实施例2的第一隔热板3的上表面以及下表面的面积大约3成。

隔热板30的下表面与冷却器2的上表面2u接触，隔热板30的上表面与连接板4的下表面4d接触。由此，在冷却器2的上表面2u与连接板4的下表面4d之间，形成由隔热板30的内周面3a包围的间隙GP1。间隙GP1的厚度为t5。比较例的涡轮分子泵100a的间隙GP1的厚度t5以及隔热板30的厚度t5为3mm。比较例的涡轮分子泵100a的其他部分的结构与实施例1的涡轮分子泵100的结构相同。

在模拟中，使用设计软件并以下述分析条件算出泵主体6的壳体6a的温度。在实机试验中，使用具有所述结构的涡轮分子泵100、涡轮分子泵100a并测定泵主体6的壳体6a的温度。

作为分析条件，设为加热器7的发热量为300W、放热为13W/m²·K的外观部对流(亦即是指放热的条件，以将风送至泵构件的表面，通过对流使热逸散这种条件进行的热解析)。另外，将冷却器2的水冷夹套2a的温度固定为25℃。实机试验是在与分析条件几乎相同的条件下进行。其中，在实机试验中，以泵主体6的壳体6a的温度不会超过90℃的方式控制加热器7。

图10是表示实施例1、实施例2以及比较例的结果的图。在比较例的模拟中，泵主体6的壳体6a的温度为71.3℃。另外，在比较例的实机试验中，泵主体6的壳体6a的温度为70.0℃。

相对于此，在实施例1的模拟中，泵主体6的壳体6a的温度为84.7℃。另外，在实施例1的实机试验中，泵主体6的壳体6a的温度为85.0℃。在实施例2的模拟中，泵主体6的壳体6a的温度为95.0℃。另外，在实施例2的实机试验中，泵主体6的壳体6a的温度为90.0℃。

根据实施例1以及比较例的结果，确认到：通过增大第一隔热板3的厚度t3并减小第一隔热板3的面积，能够使泵主体6的壳体6a的温度上升到更高的温度。

根据实施例2以及比较例的结果，确认到：通过增大第一隔热板3的厚度t3并减小第一隔热板3的面积、且在泵主体6与连接板4之间设置第二隔热板5，能够使泵主体6的壳体6a上升到进而高的温度。

(5)权利要求书的各结构要素与实施形态的各要素的对应关系

以下，对权利要求书的各结构要素与实施形态的各要素的对应关系的例子进行说明。在所述实施形态中，涡轮分子泵100为真空泵的例子，嵌入区域2d以及嵌入区域4a为第一嵌入区域的例子，嵌入区域6c以及嵌入区域4b为第二嵌入区域的例子，间隙GP1为第一间隙的例子，间隙GP2为第二间隙的例子，泵主体6的下表面6d为第一面的例子，冷却器2的上表面2u为相向面或第二面的例子，俯视为在第一方向进行观察的例子。

(6)形态

本领域技术人员理解所述多个例示性的实施形态为以下形态的具体例。

(第1项)一形态的真空泵可包括：

泵主体；

加热器，设置于所述泵主体；

电源装置，对所述泵主体供给电力；

冷却器，设置于所述泵主体与所述电源装置之间；

连接板，设置于所述泵主体与所述冷却器之间；

第一隔热板，配置于所述冷却器与所述连接板之间；以及

第二隔热板，配置于所述泵主体与所述连接板之间。

根据第1项记载的真空泵，电源装置由冷却器冷却，泵主体由加热器加热。所述情况下，通过配置于冷却器与连接板之间的第一隔热板，抑制冷却器与连接板之间的热的移动。另外，通过配置于泵主体与连接板之间的第二隔热板，抑制泵主体与连接板之间的热的移动。由此，从由加热器加热的泵主体经由连接板而移动至冷却器的热的量得以减少。结果，能够在短时间内使泵主体的温度上升到所期望的温度。

(第2项)第1项记载的真空泵中，也可

所述冷却器以及所述连接板中的至少一者具有供所述第一隔热板嵌入的第一嵌入区域，且

在所述冷却器与所述连接板之间形成第一间隙，

所述第一隔热板的厚度大于所述第一间隙的厚度。

根据第2项记载的真空泵，形成于冷却器与连接板之间的第一间隙作为第一空气隔热层发挥功能。通常，空气的导热率小于固体材料的导热率。由此，通过第一空气隔热层，充分减少冷却器与连接板之间的热的移动量。另外，通过将第一隔热板嵌入至第一嵌入区域，第一隔热板的厚度大于第一间隙的厚度。由此，通过第一隔热板，充分减少冷却器与连接板之间的热的移动量。

(第3项)第1项或第2项记载的真空泵中，也可

所述泵主体以及所述连接板中的至少一者具有供所述第二隔热板嵌入的第二嵌入区域，且

在所述泵主体与所述连接板之间形成第二间隙，

所述第二隔热板的厚度大于所述第二间隙的厚度。

根据第3项记载的真空泵，形成于泵主体与连接板之间的第二间隙作为第二空气隔热层发挥功能。由此，通过第二空气隔热层，充分减少冷却器与连接板之间的热的移动量。另外，通过将第二隔热板嵌入至第二嵌入区域，第二隔热板的厚度大于第二间隙的厚度。由此，通过第二隔热板，充分减少泵主体与连接板之间的热的移动量。

(第4项)第1项至第3项中任一项记载的真空泵中，也可

所述泵主体具有与所述连接板相向的第一面并且具有外周面，

所述冷却器具有与所述连接板相向的第二面，

所述连接板于在与所述第一面垂直的第一方向进行观察时，具有从所述泵主体的所述外周面向外侧突出的突出部，

所述第一隔热板配置于所述突出部与所述冷却器的所述第二面之间。

根据第4项记载的真空泵，由于将第一隔热板配置于冷却器与连接板的突出部之间，因此从泵主体起经过第二隔热板、连接板以及第一隔热板而到达冷却器的路径变长。由此，从泵主体经由第一隔热板而移动至冷却器的热的量得以进一步减少。另外，在冷却器与连接板的除了突出部以外的中央部之间形成间隙。根据所述结构，由于冷却器与连接板的中央部之间的间隙作为空气隔热层发挥功能，因此冷却器与连接板之间的热的移动量得以充分减少。因此，泵主体与冷却器之间的最短路径中的热的移动得到充分抑制。

(第5项)第4项记载的真空泵中，也可

所述突出部于在所述第一方向进行观察时，以至少部分包围所述泵主体的所述外周面的方式形成，

所述第一隔热板于在所述第一方向进行观察时，以至少部分包围所述泵主体的所述外周面的方式连续或间断地设置，

所述第二隔热板于在所述第一方向进行观察时，沿着所述泵主体的所述外周面连续或间断地设置。

根据第5项记载的真空泵，在冷却器与连接板的中央部之间形成间隙，且在泵主体与连接板的中央部之间形成间隙。冷却器与连接板的中央部之间的间隙作为第一空气隔热层发挥功能，泵主体与连接板的中央部之间的间隙作为第二空气隔热层发挥功能。由此，通过第一空气隔热层以及第二空气隔热层，充分抑制泵主体与冷却器之间的最短路径中的热的移动。另外，在泵主体的周向上，通过第一隔热板以及第二隔热板，充分且均匀地抑制泵主体与冷却器之间的热的移动。

(第6项)其他形态的真空泵也可包括：泵主体；

加热器，设置于所述泵主体；

电源装置，对所述泵主体供给电力；

冷却器，设置于所述泵主体与所述电源装置之间；

连接板，设置于所述泵主体与所述冷却器之间；以及

第一隔热板，配置于所述冷却器与所述连接板之间，并且

所述冷却器以及所述连接板中的至少一者具有供所述第一隔热板嵌入的第一嵌入区域，且

在所述冷却器与所述连接板之间形成第一间隙，

所述第一隔热板的厚度大于所述第一间隙的厚度。

根据第6项记载的真空泵，电源装置由冷却器冷却，泵主体由加热器加热。将第一隔热板嵌入至第一嵌入区域，并且在冷却器与连接板之间形成第一间隙。在所述结构中，第一隔热板的厚度大于第一间隙的厚度。由此，通过第一隔热板，充分减少连接板与冷却器之间的热的移动量。另外，由于第一间隙作为第一空气隔热层发挥功能，因此通过第一空气隔热层，充分减少冷却器与连接板之间的热的移动量。由此，从由加热器加热的泵主体经由连接板而移动至冷却器的热的量得以减少。结果，能够在短时间内使泵主体的温度上升到所期望的温度。

(第7项)第6项记载的真空泵中，也可

所述泵主体具有外周面，

所述冷却器具有与所述连接板相向的相向面，

所述连接板于在与所述相向面垂直的第一方向进行观察时，具有以从所述泵主体的所述外周面向外侧突出的方式形成的突出部，

所述第一嵌入区域设置于所述冷却器以及所述突出部中的至少一者，

所述第一隔热板以嵌入至所述第一嵌入区域的方式配置于所述冷却器与所述突出部之间。

根据第7项记载的真空泵，由于将第一隔热板配置于冷却器与连接板的突出部之间，因此从泵主体起经过连接板以及第一隔热板而到达冷却器的路径变长。由此，从泵主体经由第一隔热板而移动至冷却器的热的量得以进一步减少。另外，第一间隙形成于冷却器与连接板的除了突出部以外的中央部之间。由此，冷却器与连接板的中央部之间的第一间隙作为空气隔热层发挥功能，因此连接板的中央部与冷却器之间的热的移动量得以充分减少。因此，泵主体与冷却器之间的最短路径中的热的移动得到充分抑制。

(第8项)第7项记载的真空泵中，也可

所述突出部于在所述第一方向进行观察时，以至少部分包围所述泵主体的所述外周面的方式形成，

所述第一嵌入区域于在所述第一方向进行观察时，以至少部分包围所述泵主体的所述外周面的方式，连续或间断地设置于所述冷却器以及所述突出部中的至少一者，

所述第一隔热板以嵌入至所述第一嵌入区域的方式配置于所述冷却器与所述突出部之间。

根据第8项记载的真空泵，在泵主体的周向上，通过第一隔热板，充分且均匀地抑制泵主体与冷却器之间的热的移动。

(第9项)第4项、第5项、第7项或第8项中记载的真空泵中，也可

于在所述第一方向进行观察时，所述第一隔热板的宽度为所述突出部的最小宽度的二分之一以下。

根据第9项记载的真空泵，由于配置于冷却器与连接板的突出部之间的第一隔热板的宽度与突出部相比充分小，因此在冷却器与连接板之间经过第一隔热板的热的移动得到充分抑制。

(第10项)第9项记载的真空泵中，也可

于在所述第一方向进行观察时，所述第一隔热板的内缘部与所述泵主体的所述外周面之间的距离为所述突出部的所述最小宽度的二分之一以上。

根据第10项记载的真空泵，由于第一隔热板与泵主体的外周面之间的距离充分长，因此从泵主体经由连接板以及第一隔热板而移动至冷却器的热的量得以充分减少。