具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设有”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

现结合说明书附图，详细说明本发明的结构特点。

参见图1-2，一种晶圆自动清洗装置，包括箱体1、过滤箱4、电机8、底座11，所述箱体1上设有操作板2，通过操作板2对装置进行操作，同时对其内部运行状况进行观察，所述操作版2下侧设有插入孔3，通过插入孔3提供插入槽22的放置空间，同时对插入槽22进行固定，所述箱体1一侧固定设有过滤箱4，通过过滤箱4对水管18供应清洗液，同时对流水槽33流入的废水进行过滤，所述箱体1内下表面固定设有底板5，通多底板5支撑地面，所述底板5四角固定设有支撑架6，通过支撑架6对清洗装置进行支撑，所述支撑架6上固定设有稳定架7，通过稳定架7对电机8进行固定，防止其在运转的过程中对装置产生剧烈的震动等影响因素，所述稳定架7中心处固定设有电机8，通过电机8进行驱动，所述支撑架6顶端固定设有支撑板9，通过支撑板9对上部的清洗装置进行支撑，所述支撑板9上固定设有挡环10，通过挡环10防止在清洗过程中清洗液溅出，所述挡环10内设有固定在支撑板9上的底座11，通过底座11对环形轨道12进行支撑，同时与挡环10配合形成流水槽33，所述底座11两侧设有流水槽33，通过流水槽33盛放、排放废液，同时提供喷淋头20与下电控吸盘21的运转空间，所述底座11上表面固定设有环形轨道12，通过环形轨道12提供滑块37的运动轨迹。

参见图5，所述环形轨道12上设有凹槽13，通过凹槽13使滑块37下沉，并在压缩弹簧36的推动下带动摆动柱32下沉，所述底座11位于流水槽33内固定设有下电控吸盘21，通过下电控吸盘21对从上电控吸盘34上释放的晶圆进行吸取。

参见图2，所述电机8的输出轴14贯穿支撑板9与底座11延伸至底座11的上方，通过输出轴14进行传动，所述输出轴14固定连接有均匀排列的连接杆15，所述连接杆15上通过关节16连接有摆动柱32，通过摆动柱32对上电控吸盘34进行固定，且让其可以上下摆动，所述输出轴14顶端固定设有与连接杆15相匹配的固定架17，通过固定架17对压缩弹簧36进行固定。

参见图5，所述摆动柱32上方固定设有稳定座35，通过稳定座对压缩弹簧36进行固定，使其推力作用到摆动柱32上，所述稳定座35上固定设有压缩弹簧36，所述压缩弹簧36另一端与固定架17固定相连，通过压缩弹簧36提供的推力使滑块37紧贴在环形轨道12上，且辅助滑块37在滑动到凹槽13处时使摆动柱32下沉，带动上电控吸盘34下沉。

参见图2-4，所述过滤箱4通过水泵连接有水管18，通过水管18流通清洗液，所述水管18上设有水阀19，通过水阀19实现水管18内清洗液的释放与阻断，所述水管18另一端固定设有加粗管24，通过加粗管24提供旋转柱25与螺旋桨28的运动空间，所述加粗管24另一端固定连接有喷淋头20，通过喷淋头20进行喷射清洗液，所述加粗管24内设有旋转柱25，通过旋转柱25对螺旋桨28进行固定，同时连接稳定块28与毛刷盘34，且旋转柱25上均匀的设有螺旋桨28，通过螺旋桨28在水流经过加粗管24时发生旋转，带动旋转柱25旋转，所述喷淋头20中心处贯穿设有凸块27，通过凸块27提供稳定块26的运动空间，使其能够在凸块27内旋转，所述凸块27内贯穿设有稳定块26，通过稳定块26在凸台27内旋转，同时对旋转柱25进行限位，所述稳定块26与旋转柱25固定相连，所述旋转柱25另一端固定连接有毛刷盘34，通过毛刷盘34对毛刷31进行固定，所述毛刷盘34上均匀的设有毛刷31，通过毛刷31对晶圆表面进行刷洗。

参见图2，摆动柱32远离输出轴的一端固定设有上电控吸盘34,，通过上电控吸盘34对晶圆进行抓取，使其在经过喷淋头20处进行对晶圆进行清洗，在经过下电控吸盘21时将晶圆释放，在晶圆清洗完毕后再次将其抓取。

参见图1-2，插入孔3内可拆卸设有插入槽22，通过插入槽将供应槽23插入到指定的位置进行固定，所述插入槽22内固定设有位置与上电控吸盘34相匹配的供应槽23，通过供应槽23对晶圆进行盛放，所述供应槽23内设置有弹簧盘，弹簧盘上放置有待清洗的晶圆，通过弹簧盘对晶圆进行托放，在每个晶圆被吸取后将下一个晶圆上托，使其配合上电控吸盘34的位置。

参见图2，水管18有两条，一条水管18的喷淋头20位于下电控吸盘21的上方，使其对下电控吸盘21吸取的晶圆进行清洗，另一条水管18的喷淋头20位于上电控吸盘34的下方，使其对上电控吸盘21吸取的晶圆进行清洗，所述喷淋头20位于凸块27的周围均匀的设有喷孔30。

参见图3，毛刷31由耐腐蚀的柔性材料构成，使其在洗刷时对晶圆不构成损坏，且对于清洗液具有防腐蚀性，所述毛刷31延伸至下电控吸盘21与上电控吸盘34的吸盘处，使其在通过毛刷盘29旋转时，能够在晶圆表面进行旋转刷洗。

参见图1-2，流水槽33的底部设有排水孔，排水孔连接的管道与过滤箱4相连，在流水槽33内的废水能够及时排放，同时把废水流入过滤箱4中，通过过滤箱4进行过滤，在过滤完毕后通过水泵进入水管18再次进行利用，实现水循环。

参见图2，关节16内设有上下摆动的滑动，所述环形轨道12上滑动设有滑块37，通过滑块37在环形轨道12运动，使滑块37在环形轨道12上限位，所述滑块37上方与摆动柱32固定相连，使其在运动时摆动柱32能够随之上下运动。

本发明的晶圆自动清洗装置，结构简单，便于操作，能够对晶圆自动清洗，在清洗的过程中防止吸盘对清洗后的晶圆污染，且清洗全面，能够在清洗的时候对晶圆进行刷洗，适合推广。

具体地使用时，参照图1-2，在使用时，将晶圆放入供应槽23中，将插入槽22插入到插入孔3中固定，电机8运转，输出轴14开始旋转，连接杆15与固定架17旋转，摆动柱32上的滑块37在环形轨道12上运动，在摆动柱32带动上电控吸盘34移动至晶圆上方时，上电控吸盘34将晶圆吸取，在每个晶圆被吸取后将下一个晶圆上托，使其配合上电控吸盘34的位置，当上电控吸盘24将晶圆移动至喷淋头20处时进行清洗，清洗完毕后，输出轴14继续旋转，旋转至环形轨道12上的凹槽13处时，滑块37滑入凹槽13，并在压缩弹簧36的推动下带动摆动柱32下沉，使其带动下电控吸盘21下沉，当滑块37滑动至凹槽13的最底端时，摆动柱32带动上电控吸盘34移动至下电控吸盘21的正下方，上电控吸盘34将晶圆释放，下电控吸盘21将晶圆吸取，将晶圆的另一面进行清洗，使晶圆的清洗更加全面，在清洗完毕后，下一个上电控吸盘34对其进行抓取，将插入槽22取出，放入清洗后的插入槽22，上电控吸盘34将清洗好后放入到清洗后的供应槽23中；

参见图3-4，在使用喷淋头20时，当水管18上的水阀19打开后，水管18通过水流，在水流流经加粗管24处时，螺旋桨28在水流的作用下旋转，带动旋转柱25旋转，旋转柱25通过稳定块26在喷淋头20实现稳定旋转，在旋转柱25带动毛刷盘29旋转，使水流通过喷孔30喷出的同时，毛刷31旋转在晶圆的清洗表面，实现在喷淋时进行洗刷，且喷淋头20同时负责对上电控吸盘34上的吸盘进行刷洗。

参见图2，在喷淋头20的使用过程中，当喷淋头20喷水洗刷时，清洗废水流入流水槽33中，通过流水槽33的底部设有的排水孔，排水孔连接的管道与过滤箱4相连，过滤箱4将废水进行过滤，在过滤完毕后通过水泵进入水管18再次进行利用，使其在装置内部循环使用。

在装置运行的过程中，在装置启动后，电机8进行运转，带动上电控吸盘34至供应槽23拖放的晶圆处，上电控吸盘34上的电控系统运转，对晶圆进行抓取，在每个上电控吸盘34移动至流水槽33内的喷淋头20处时电机8停止，控制喷淋头20的水阀19打开，对晶圆或上电控吸盘34上的吸盘进行清洗，在晶圆清洗完毕后，再次通过上电控吸盘34进行吸取，将晶圆进行移动至指定位置，实现自动化。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。