具体实施方式

根据本发明的实施例，提供了一种歧管组件，该歧管组件与过滤器胶囊一起使用，过滤器胶囊具有第一配件和第二配件，该歧管组件包括：(a)上部可调节框架装置，上部可调节框架装置包括块，该块包括用于接收第一配件的通孔、第一侧壁、第二侧壁、前壁和后壁，该后壁包括锁定销开口和空腔，空腔用于接收线性引导件，线性引导件包括带槽板，其中线性引导件安装到块上、并且布置成在第一位置和第二位置之间竖直地引导可调节框架装置；可滑动手柄，可滑动手柄设置在第一侧壁上；狭槽，狭槽在第一侧壁中；可滑动锁定销，可滑动锁定销布置在块中，可滑动锁定销具有端部，其中，在可滑动地水平移动手柄时，可滑动锁定销可以从块延伸穿过锁定销开口，其中，可滑动手柄通过穿过第一侧壁中的狭槽的至少一个保持器连接到可滑动锁定销，其中，可滑动手柄可以移动可滑动锁定销，以将锁定销端部滑动到第一开口中，从而将上部可调节框架装置锁定在第一位置中，并且将锁定销端部滑动到第二开口中，从而将可调节框架装置锁定在第二位置中，其中当锁定销端部不在第一开口或第二开口中时，上部可调节框架装置可沿着线性引导件在第一位置和第二位置之间移动；(b)下部框架装置，下部框架装置包括用于接收第二配件的通孔；以及(c)歧管框架，歧管框架连接到上部可调节框架装置并连接到下部框架装置，歧管框架包括第一开口和第二开口。

在另一个实施例中，提供了一种用于将过滤器胶囊接合在歧管组件中的方法，方法包括：将过滤器胶囊放置到歧管组件中，过滤器胶囊具有第一配件和第二配件，歧管组件包括(a)上部可调节框架装置，上部可调节框架装置包括块，该块包括用于接收第一配件的通孔、第一侧壁、第二侧壁、前壁和后壁，该后壁包括锁定销开口和空腔，空腔用于接收线性引导件，线性引导件包括带槽板，其中线性引导件安装到块上并且布置成在第一位置和第二位置之间竖直地引导可调节框架装置；可滑动手柄，可滑动手柄设置在第一侧壁上；狭槽，狭槽在第一侧壁中；可滑动锁定销，可滑动锁定销布置在块中，可滑动锁定销具有端部，其中在可滑动地水平移动手柄时，可滑动锁定销可以从块延伸穿过锁定销开口，其中可滑动手柄通过穿过第一侧壁中的狭槽的至少一个保持器连接到可滑动锁定销，其中，可滑动手柄可以移动可滑动锁定销，以将锁定销端部滑动到第一开口中，从而将上部可调节框架装置锁定在第一位置中，并且将锁定销端部滑动到第二开口中，从而将可调节框架装置锁定在第二位置中，其中，当锁定销端部不在第一开口或第二开口中时，上部可调节框架装置可沿着线性引导件在第一位置和第二位置之间移动；(b)下部框架装置，下部框架装置包括用于接收第二配件的通孔；以及(c)歧管框架，歧管框架连接到上部可调节框架装置并连接到下部框架装置，歧管框架包括第一开口和第二开口；将第二配件放入下部框架装置的通孔中；将上部可调节框架装置从第一位置移动到第二位置，并将第一配件放置在上部可调节框架装置的通孔中；以及移动可移动手柄，以将上部可调节框架装置锁定在第二位置。

有利的是，过滤器胶囊可以安装在歧管组件中，可以容易地连接和断开，并且在有限的空间中可以快速更换。此外，可以轻松安装过滤器胶囊，无需将每个过滤器胶囊配件单独连接到歧管组件。此外，过滤器胶囊可以插入歧管组件中并进行接合，而无需旋转过滤器胶囊。

本发明的实施例可以与各种过滤器和过滤器胶囊一起使用，包括例如可从PallCorporation(East Hills,NY)获得的过滤器和过滤器胶囊。过滤器和过滤器胶囊适用于过滤各种流体，包括但不限于各种浆料和液体，诸如化学机械平坦化(CMP)浆料。

现在将在下面更详细地描述本发明的每一个部件，其中相似的部件具有相似的附图标记。

图1和图2示出了歧管组件600的实施例，歧管组件600包括：上部可调节框架装置100，上部可调节框架装置100包括块150，块150包括顶壁151和底壁152、用于接收第一配件的通孔101(图3所示)、第一侧壁153、第二侧壁154、前壁155和后壁156，通孔穿过顶壁和底壁，后壁包括锁定销开口156A和用于接收线性引导件190的空腔156B，线性引导件190包括在轨道192上滑动的带槽板191，其中，线性引导件经由轨道192安装到块上(其中，轨道经由诸如螺栓和/或螺钉或按压配合件的保持器193A和193B安装到块上)、并且布置成在第一位置和第二位置之间竖直地引导可调节框架装置；可滑动手柄175，可滑动手柄175设置在第一侧壁上，该可滑动手柄具有前壁或前面171；狭槽176，狭槽176在第一侧壁中；可滑动锁定销177，可滑动锁定销177布置在块中，该可滑动锁定销具有端部177A，当可滑动地水平移动手柄时，该端部177A可以朝向块缩回(例如，进入块)并且从块延伸(例如，通过锁定销开口156A)，其中，可滑动手柄通过穿过第一侧壁中的狭槽的至少一个保持器(示出了在开口175C和175D处连接到锁定销177的两个保持器175A和175B，诸如螺栓和/或螺钉(或按压配合件))连接到可滑动锁定销，其中，可滑动手柄可以移动可滑动锁定销以将锁定销端部滑动到第一开口195A中，从而将上部可调节框架装置锁定在第一位置，以及将锁定销端部滑动到第二开口195B中，从而将可调节框架装置锁定在第二位置，其中，当锁定销端部不在第一开口或第二开口中时，上部可调节框架装置可沿着线性引导件在第一和第二位置之间移动；(b)下部框架装置200，下部框架装置200包括用于接收第二配件的通孔201；以及(c)歧管框架300，歧管框架300连接到上部可调节框架装置、并连接到下部框架装置，歧管框架包括第一开口和第二开口。

在示例的实施例中，上部可调节框架装置具有大致“L”形，使得该块包括下部第二前壁155A和下部第二底壁152A，并且侧壁153和154的面向歧管框架300的若干部分从顶壁151延伸到下部第二底壁152A，并且侧壁153和154的其它部分从顶壁151延伸到底壁152。

可选地，如图1和图3所示，通过保持环178防止可滑动锁定销177跑出锁定销开口154A，并且可选的定位销177’连接到锁定销177(例如，通过螺纹或按压配合件)，其中，定位销177’提供端部177A，并且锁定销177可以滑动穿过保持环178，并且端部177A可以滑动到第一开口195A或第二开口195B中。可选地，可滑动锁定销177本身可能具有端部177A。

在示例的实施例中(例如，如图1和图2所示)，下部框架装置200包括顶壁251和底壁252、第一侧壁253、第二侧壁254、前壁255和后壁256，其中，用于接收第二配件的通孔201穿过顶壁和底壁。

在示例的实施例中(例如，图1)，歧管框架300具有正面355，并且背面356包括布置在正面中的空腔196中的垫圈195，其中，垫圈具有第一开口195A和第二开口195B；然而，垫圈是可选的，并且开口可以直接位于歧管框架的正面355中。

如本领域已知的那样，上部可调节框架装置和下部框架装置可以例如通过螺钉和/或螺栓连接到歧管框架。

图1还示出了上部连接端口配件701和下部连接端口配件702。

如将在下面更详细讨论的，上部框架装置和下部框架装置中的每一个都配置成经由上部框架装置中的通孔101以及经由下部框架装置中的通孔201接收过滤器胶囊配件。

图1和图2示出了上部连接端口配件701和下部连接端口配件702，上部连接端口配件701和下部连接端口配件702分别包括螺母701A和702A以及中空主体701B和702B。图3所示的示例性中空主体包括第一配件流体流动端口701C，以及图4A所示的示例性中空主体包括第二配件流体流动端口702C。通常，如图4B所示，中空主体和螺母包括相应的螺纹，并且中空主体的端部配置成紧密配合到导管(管道；这里显示为具有扩口端部)的内直径，使得当螺母紧固在中空主体的螺纹上时，导管可以提供与歧管组件的流体连通。虽然图中未示出，如本领域中已知的那样，中空主体可以例如通过螺纹、按压配合等附接到框架装置。

多种连接端口配件适用于本发明的实施例，并且在本领域中是已知的。

根据用于将过滤器胶囊接合在歧管组件中的方法的实施例，并且参考图5A至图5D(其中，歧管组件的上部可调节框架装置100最初从第二位置(图5A)移动到第一位置(图5B))，将具有第一配件901和第二配件902的过滤器胶囊900放置在歧管组件的实施例中，水平移动过滤器胶囊、同时保持竖直，并且当第二配件放置在通孔201中时，过滤器胶囊向下移动、同时保持竖直(图5C)。

如图1、图5B和图5D所示，当上部可调节框架装置锁定在第一位置或第二位置时，手柄面171将与块的前壁155在同一平面内。因此，如果手柄面与块的前壁不在同一平面内，用户将知道：锁定销不在第一开口或第二开口中，并且上部框架装置没有锁定到位。

当水平移动手柄175以将上部可调节框架装置从第一位置解锁时(图5C)，上部可调节框架装置向下移动到第二位置，第一配件放置在通孔101中，并且手柄移动以将上部可调节框架装置锁定在第二位置(图5D)。

因此，过滤器胶囊可以插入歧管组件中并接合，而无需旋转过滤器胶囊。

在一些实施例中，歧管组件包括指示器，该指示器向组件的操作者示出过滤器胶囊已经安装在正确的位置、和/或上部可调节框架装置锁定在第二位置。如图6所示，如果已经插入过滤器胶囊，当上部可调节框架装置的顶壁151与标记为“锁定”的面向内的箭头对齐时，过滤器胶囊处于正确的位置，并且上部可调节框架装置锁定在第二位置。

优选地，过滤器胶囊可以安装在歧管组件中，并且在第一配件和第一配件流体流动端口之间以及在第二配件和第二配件流体流动端口之间形成径向密封。

在用于具有过滤器入口配件和过滤器出口配件的不同构造的过滤器胶囊的实施例中，通孔的尺寸可以设置成使得过滤器胶囊只可以单向安装在歧管组件中，从而确保过滤器胶囊在使用过程中的正确定向。

流体可以通过过滤器胶囊来过滤流体。过滤器胶囊第一配件可以是过滤器入口配件或过滤器出口配件。通常，过滤器胶囊第一配件是出口配件，使得在过滤期间，过滤后的流体从过滤器出口配件通过，并通过第一配件流体流动端口。

一旦过滤完成，在移动可移动板和旋转手柄之后，可以将歧管放置在第一配件脱离位置，并且可以移除过滤器胶囊，并且插入新的胶囊。

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本文描述了本发明的优选实施例，其包括发明人已知的最佳方式以用于实施本发明。在阅读前面的描述时，对那些优选实施例的变化对于本领域普通技术人员来说可能变得显而易见。本发明人期望本领域技术人员在适当情况下使用此种变型，并且本发明人希望本发明以不同于本文具体描述的方式来实施。因此，本发明包括根据适用法律允许的在此所附的权利要求中所述的主题的所有修改和等同物。此外，除非本文另有说明或上下文明显矛盾，否则本发明涵盖上述元素的其所有可能变型的任何组合。