基板(10)具备重叠的第一层(L1)及第二层(L2),第一层(L1)包含结晶质的AlN及添加元素,第二层(L2)包含结晶质的α-氧化铝,添加元素为选自稀土元素、碱土元素及碱金属元素中的至少一种,第一层(L1)的厚度为5～600nm,RC(002)为源自AlN的(002)面的衍射X射线的摇摆曲线,RC(002)通过第一层(L1)的表面S-(L1)的ω扫描来测定,RC(002)的半值宽度为0～0.4°,RC(100)为源自AlN的(100)面的衍射X射线的摇摆曲线,RC(100)通过第一层(L1)的表面S-(L1)的扫描来测定,RC(100)的半值宽度为0～0.8°。

本发明公开了一种全电脑化可控硅退火炉,包括底座和炉体；所述的底座的顶端安装有进料密封箱,且进料密封箱的表面螺钉连接有微型电脑；所述的进料密封箱的内壁安装有进料带,且进料密封箱的顶端螺钉连接有支撑架；所述的支撑架的顶端两侧均安装有滚轮,所述的底座的内壁设置有多组吸尘风扇,所述的安装框的内壁两侧均开设有滑槽,本发明,通过设置有进料密封箱、滚轮、连接绳、安装块和电动推杆,这样便于在有物料进行上料时,通过电动推杆伸缩以带动安装块和连接绳进行伸缩,以带动箱门进行开合,进行插板密封法,可以有效的保证炉体内的压力与热量不流失,以达到炉体内的温度与压力符合工艺标准。