本申请公开了一种扩散炉,包括：炉管结构,其包括炉管本体和炉底,所述炉管本体的底端与所述炉底连接围成反应腔；承载结构,其包括基座和设于所述基座上的晶舟,所述晶舟设为多个,所述基座设于所述炉底上。通过将晶舟设为多个,可将炉管本体的高度降低,同时可将炉管本体的宽度加宽,这样设备维修和保养的空间变大,有利于对设备进行维修和保养；同时反应腔的高度降低,上下反应条件差异变小,可使得晶圆成膜质量差异变小,可提高产品良率,而且由于上下反应条件差异变小可减少制程时间,提高生产效率。