本发明公开了一种晶硅太阳能电池扩散用石英舟的清洗与饱和方法,包括如下步骤：1)将石英舟置入HF与HCL的混酸溶液中完全浸泡；2)将石英舟置入纯水浸泡清洗；3)纯水清洗排尽后,再用水枪或喷淋清洗；4)用氮气枪将石英舟吹干；5)将石英舟放入扩散炉管,进舟时通入氮气吹扫；6)扩散炉管抽真空,通入氮气和氧气并升温；7)通入三氯氧磷和氧气；8)通入氮气和氧气并降温；9)炉管充氮回常压,出舟。本发明能缩短总处理时间、减少气体用量、减少对石英舟和炉管的腐蚀并改善所生产电池片的良率,提高产能,降低生产运营成本。