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电磁波辐照或粒子辐射法掺杂
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技术分类
电解法
盐溶剂，例如助熔剂生长
金属溶剂
使用其他溶剂的
使用晶体组成之一种组分作溶剂的
熔融溶液冷却法
熔融态溶剂的蒸发法
使用熔融态溶剂之熔体的单晶生长
由溶液中的化学反应生成的结晶化材料
电解法
加压法，例如水热法
溶液冷却法
用非水溶剂的
用水溶剂的
溶剂蒸发法
常温液态溶剂之溶液，例如水溶液的单晶生长；用正常凝固法或温度梯度凝固法的入C30B11/00；在保护流体下的入C30B27/00）
添加掺杂材料的
凝胶的单晶生长
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
在气体气氛或等离子体内
在溶液或熔体内
侵蚀
晶体的接合
用电场或磁场或粒子辐射
热处理
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理
离子注入法
电磁波辐照或粒子辐射法掺杂
控制或调节
气体供给或排出的装置；气流的变换
衬底夹持器或基座
反应室的加热
反应室；其所用材料的选择
扩散材料为被扩散元素之化合物的
同气态扩散材料接触的
同液态扩散材料接触的
同固态扩散材料接触的
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
在微重力或零重力条件下的
用机械振荡的
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