本发明是一种电容电感嵌套结构小型化谐振器,其共分为9层,并采用低温共烧陶瓷作为基底；谐振器采用电容、电感并联结构,外围是三维多层螺旋电感,螺旋电感内部是垂直叉指电容,三维螺旋电感与所述垂直叉指电容连接；谐振器相对的两个侧面分别设有端口,电感和电感设置在两个端口之间且电容被埋置在电感内部。本发明具有尺寸小、集成度高、可靠性高和耐高温的特点；同时实现了构成谐振器所需的大参数电感和大参数电容,高Q值并具有良好频率选择特性,可以被应用于具有良好频率选择特性的LTCC高性能集总参数滤波器、耦合器等器件的小型化设计中。

本发明涉及一种用于制造包括至少一个高电阻率衬底(1)类型的超导LC型谐振器的方法,所述至少一个高电阻率上印刷有电感线圈(3)、称为下部的第一电极(41)和称为上部的第二电极(40),该第二电极与第一电极相对布置以形成与电感线圈(3)并联连接的电容器(4),以及专用于所述谐振器的电感耦合装置(2),其中牺牲铝层沉积在所述第一和第二电极之间。本发明还涉及由此获得的超导LC型谐振器以及涉及这种谐振器用于检测毫米光子噪声的用途。