横向激励薄膜体声波谐振器封装和方法

公开了声波谐振器器件和滤波器。压电板附接到基板,压电板的一部分形成横跨基板中的空腔的隔膜。第一导体图案,在压电板的表面上形成。第一导体图案包括布置在隔膜上的叉指换能器的交错指状物,以及第一多个接触焊盘。第二导体图案,在基部的表面上形成,第二导体图案包括第二多个接触焊盘。第一多个接触焊盘中的每个焊盘直接接合到第二多个接触焊盘中的相应焊盘。在压电板的周边和基部的周边之间形成环形密封。

2021-10-26

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滤波器及包括滤波器的前端模块

本发明提供一种滤波器及包括滤波器的前端模块,所述滤波器可包括：一个或更多个串联单元；及分路单元,设置在所述一个或更多个串联单元与地之间。所述一个或更多个串联单元包括选择性地操作的多个串联谐振器,所述多个串联谐振器中的每个包括薄膜体声波谐振器。

2021-10-26

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具有增加带宽的RF滤波器以及滤波器部件

提供了一种具有增加带宽的RF滤波器。该滤波器包括半格型拓扑结构和移相器(PS),该移相器包括并联支路中的电感耦合电感元件,该并联支路与滤波器的第一端口(P1)和第二端口(P2)之间的信号路径(SP)的第一分段(S1)平行。

2021-10-22

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滤波器及其制备方法、双工器

本发明实施例公开了一种滤波器及其制备方法、双工器,各谐振器层在衬底的一侧沿衬底厚度方向堆叠设置,各谐振器层形成垂直结构而非平铺结构,使得滤波器所占用平面的面积减小,提高滤波器的集成度,进而有利于实现包括本实施例的滤波器的通信系统的小型化。并且,本发明实施例的滤波器仅包括一个晶圆,进而使得滤波器中所需晶圆数量减少,有利于节约成本；且相邻谐振器层直接接触,因此直接在一谐振器层的一侧进行相邻谐振器层的沉积即可,无需采用键合工艺,使得滤波器的制备工艺也较为简化。

2021-10-22

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声波谐振器滤波器

本公开提供一种声波谐振器滤波器,所述声波谐振器滤波器包括：至少一个串联声波谐振器,电连接在射频(RF)信号通过的第一端口与第二端口之间；分支节点,电连接到所述至少一个串联声波谐振器,并且具有均朝向地延伸的相应的第一分路连接路径和第二分路连接路径；第一分路声波谐振器,与所述第一分路连接路径串联电连接；以及第二分路声波谐振器,与所述第二分路连接路径串联电连接,并且所述第二分路声波谐振器的谐振频率高于所述第一分路声波谐振器的谐振频率。所述第二分路连接路径的电感高于所述第一分路连接路径的电感。

2021-10-12

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体声波谐振器和体声波滤波器装置

本发明提供一种体声波谐振器和体声波滤波器装置,所述体声波谐振器包括：基板；第一电极,设置在所述基板上；压电层,覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极,覆盖所述压电层的至少一部分。当从上方观察所述第一电极和所述第二电极彼此叠置的有效区域时,在由所述有效区域形成的多边形的至少三个顶点接触的矩形的四条边中,最长的边定义为边B,并且连接到边B的边定义为边A,并且高宽比(边B/边A)为1.3至3。

2021-10-12

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体声波谐振器及制造方法、体声波谐振器组件、滤波器及电子设备

本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法。该谐振器包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中：压电层与基底之间设置有声学阻抗结构；所述声学阻抗结构包括在横向方向上彼此相邻设置的第一声学阻抗层和第二声学阻抗层,第一声学阻抗层与第二声学阻抗层的声学阻抗不同；所述声学镜在谐振器的横向方向上位于所述第一声学阻抗层之间。第一声学阻抗层与第二声学阻抗层与压电层接触的部分的宽度分别为mλ-(1)/4和nλ-(2)/4,其中m和n均为奇数,λ-(1)和λ-(2)分别为第一声学阻抗层和第二声学阻抗层在谐振频率处沿横向传播的声波波长。本发明还涉及一种体声波谐振器组件、一种滤波器以及一种电子设备。

2021-10-12

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体声波谐振器组件及制造方法、滤波器及电子设备

本发明涉及一种体声波谐振器组件及制造方法。该组件包括：基底；声学镜空腔；至少两个谐振结构,所述至少两个谐振结构共用同一压电层以及所述基底：和支撑层,设置在基底与压电层之间,其中：所述压电层为单晶压电层,压电层与基底彼此间隔开的平行设置；所述支撑层限定所述声学镜空腔的边界的至少一部分。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。

2021-10-12

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单晶体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备

本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法。该谐振器包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和单晶压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中：声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器的厚度方向上的重合区域构成谐振器的有效区域；压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构,压电层与基底大体平行布置；且在有效区域之外,所述压电层的上表面的至少一部分设置有绝缘层。本发明还涉及一种体声波谐振器组件、一种滤波器以及一种电子设备。

2021-10-12

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单晶体声波谐振器、滤波器及电子设备

本发明涉及体声波谐振器,包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和单晶压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中：压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构,压电层与基底大体平行布置；底电极的非电极连接端埋设在支撑层中,埋设在支撑层中的底电极在平行于谐振器的厚度方向的上下方向上分别与压电层与支撑层面接触。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。

2021-10-12

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