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公开了一种用于通过压力辅助低温烧结工艺来制造电子部件(34,34’,34”)的方法,该压力辅助低温烧结工艺通过使用具有上模(4)和下模(6)的压力烧结装置(2)来进行。上模(4)和/或下模(6)设置有第一压力垫(10,10”,10”’,210,210”,210”’)。该方法包括以下步骤:将第一部件(26)放置在设置于第一基板(20+12+22)的顶层(22)上的第一烧结层(24)上,以旨在形成第一电子部件(34);在要形成的第一电子部件(34)上方或下方的水平面中,将至少第二部件(26’,26”)放置在设置于第二基板(20’+12’+22’,20”+12”+22”)的顶层(22’,22”)上的第二烧结层(24”,24””)上,以旨在形成第二电子部件(34’,34”);将第二压力垫(10’,10”,10”’,10””,10””’,210’,210”,210”’,210””,210””’)放置在要形成的第一电子部件(34)和第二电子部件(34’,34”)之间;以及通过将上模(4)和下模(6)压向彼此,借助于第一烧结层(24)联结第一部件(26)和第一基板(20+12+22)的顶层(22)以形成第一电子部件(34)、以及借助于第二烧结层(24”,24””)联结第二部件(26’,26”)和第二基板(20’+12’+22’,20”+12”+22”)的顶层(22’,22”)以形成第二电子部件(34’,34”),其中,同时加热烧结装置(2)。该方法可以进一步包括用布置成与第一压力垫(10,210)接合的第一保护箔(18)覆盖第一部件(26)的步骤。该方法还可以包括用第二保护箔(18’,18”)覆盖第二部件(26’,26”)的步骤。压力垫(10,10’,10”,10”’,10””,10””’)中的一个或多个可以是可变形压力垫(210,210’,210”,210”’,210””,210””’),其可以包括容纳在外壳中的流体。板(36,36’)可以布置在相邻的电子部件(34,34’,34”)之间,其中,板(36)可以设置有加热元件(32’),或者可以通过感应器件(232)来加热板(36,36’)。第一电子部件(34,34’,34”)或第二电子部件(34,34’,34”)可以包括底板(28,28’,28”),该底板可以用作附加压力垫。第一电子部件和第二电子部件(34,34’,34”)可以是包括绝缘件(12,12’,12”)的双面电子部件,该绝缘件具有设置有第一烧结层(24,24”,24”’)的顶表面,第一部件(26,26”,26”’)放置到该第一烧结层上,并且该绝缘件具有设置有第二烧结层(24’,24”’)的底面表面,第二部件(26’,26”’)布置到该第二烧结层上。