热处理;热分解;化学气相沉积
一种增加铁磁薄膜材料的垂直磁各向异性的方法
本发明涉及一种增加铁磁薄膜材料的垂直磁各向异性的方法,通过在经过表面抛光和氩离子轰击处理后的Si基片上,沉积Ta/TiC/Co/Ta多层膜结构的方式,并在沉积完毕后进行热处理和冷却降温的方式,制备得到铁磁薄膜材料,本发明通过在制备所述铁磁薄膜材料的Co薄膜的过程中,引入适当的TiC缓冲层的方式,显著增强了Co薄膜的垂直磁各向异性。

2021-09-21

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一种磁性本征拓扑绝缘体MnBi2Te4薄膜的制备方法
本发明提供了一种磁性本征拓扑绝缘体MnBi-2Te-4薄膜的制备方法,属于发光材料制备及应用技术领域,包括如下步骤:S1.清洁并干燥基片后,将其置于磁控溅射镀膜仪的真空腔内;S2.室温下,利用磁控多靶共溅射法,将Mn源、Bi源和Te源共溅射在所述基片上制备非晶态的薄膜;S3.共溅射结束后,原位溅射生长一层Al膜作为保护层;S4.将所述非晶态的薄膜移入真空退火炉中,退火保温一段时间后制得。本发明的磁性本征拓扑绝缘体MnBi-2Te-4薄膜的制备方法,仅需在目标温度下进行一轮退火便可得到,工艺简单,可操作性更强;能够最大限度地节约时间成本,使效率最大化,适用于大批量生产;无需进行任何人工转移操作可避免污染、损坏;降低了设备成本,有利于工业化生产。

2021-09-21

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