本发明公开了一种用于半导体设备的水冷电极,包括铜电极、连接电极、绝缘筒和水冷套,所述铜电极的一端与所述连接电极的一端相连,所述绝缘筒套设于所述连接电极上；所述水冷套套设于绝缘筒的外部,所述水冷套的内部设置有水冷腔,所述水冷套上设有与所述水冷腔连通的进水孔和出水孔。本发明具有结构简单紧凑、工作安全可靠、成本低、拆装维护方便、节能降耗等优点。