本发明涉及基板处理用通电装置,本发明可包括：腔室部,进行接地；转轴部,安装于所述腔室部,并且与所述腔室部通电；操作台部,安装于所述转轴部并旋转,并且与所轴部通电；固定部,沿着所述操作台部的圆周方向安装有多个,并且与基板通电；以及驱动部,用于使所述固定部旋转并与所述固定部通电,所述驱动部与所述操作台部通电,在基板处理过程中,可消除在基板产生的静电来防止基板不良。

本申请涉及半导体集成电路制造技术领域,具体涉及一种去除静电聚集的显影方法。去除静电聚集的显影方法包括以下步骤：向曝光后的基片表面喷淋预润液,使得基片上的光刻胶层进行预润湿；使得预润湿后的基片以第一转速高速旋转,向以第一转速高速旋转的基片光刻胶层上喷淋显影液,使得显影液与基片感光区的光刻胶层发生反应；使得喷淋显影液后的基片以第二转速高速旋转,向以第二转速高速旋转的基片光刻胶层上喷淋清洗液,使得清洗液去除反应后的显影液,和残留在感光区中的光刻胶；使得清洗后的基片以第三转速低速旋转,向以第三转速低速旋转的基片上喷淋去离子水,使得去离子水带走基片表面形成的静电电荷；甩干基片表面的去离子水。

本发明公开了一种移动发电站用中压电力软电缆及加工方法,该电缆由内至外依次包括导体、包带、导体屏蔽层、绝缘层、绝缘屏蔽层、阻燃层和外护,绝缘屏蔽层包括由内至外依次设置的挤包半导电绝缘屏蔽层和金属屏蔽层,外护包括由内至外依次设置的内护套、编织加强层和外护套。本发明通过绝缘屏蔽层和导体屏蔽层协同,使电缆获得较高的抗静电干扰、抗外磁场干扰及抗射频干扰能力,大大延长电缆的使用时间；导体屏蔽层、绝缘层和挤包半导电绝缘屏蔽层一次挤压成型,能够提高产品的生产效率；外护采用重量配比为3：7的氯磺化聚乙烯和氯化聚乙烯组成的配方,满足电缆的耐低温性能,提高产品的抗老化性能、耐热耐寒性能、机械强度以及阻燃性能。

本发明公开了一种空间用大尺度薄膜天线防静电薄膜天线膜面。薄膜天线材质具有非导电特性,在轨运行期间与空间等离子体和高能粒子相互作用,易发生充放电效应导致材料退化与电路故障,威胁薄膜天线寿命。针对薄膜天线基底和镀层的膜面选择及工艺问题进行了说明,原有薄膜天线聚酰亚胺覆铜的膜面基础上,以环氧树脂胶为粘接剂,上覆聚酰亚胺镀锗薄膜,为了克服锗膜耐湿性能差,在地面存储过程中存在的问题,在防静电薄膜最上层采用保鲜膜贴覆。最后,对薄膜天线防静电性能进行了测试和评价。该设计在保证了原有薄膜天线性能的基础上,使薄膜天线具备了防静电功能,为薄膜天线可靠服役提供技术支持。

本发明提供一种自动化生产PVC薄膜打卷纠偏设备及其纠偏方法,涉及PVC薄膜技术领域。该一种自动化生产PVC薄膜打卷纠偏设备及其纠偏方法,包括支架,薄膜产生装置,直杆,第一清理机构,进水装置,夹板,切割装置,第二清理机构,驱动供气装置,收卷辊,支架上靠近左端固定连接有薄膜产生装置,薄膜产生装置右端连接有直杆,直杆底端连接有第一清理机构,第一清理机构左右两侧连接有进水装置,直杆右端设有夹板,夹板之间左端转动连接有切割装置,夹板之间中部滑动连接有第二清理机构,夹板外侧设有驱动供气装置,夹板之间右端活动连接有收卷辊,解决了PVC薄膜在收卷的过程中PVC薄膜上产生静电将灰尘吸附到PVC薄膜上的问题。