阅读说明：本技术 隔膜构件 (Diaphragm member ) 是由 斋藤宪一 小久保树 于 2020-01-07 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种轻量、容易处理且壳体、隔膜等的损伤较少的隔膜构件。隔膜构件具备：壳体,对电极进行收纳并具有可挠性；隔膜,具有收纳所述电极的收纳口,装卸自如地安装于所述壳体；和框体,将所述隔膜的收纳口侧以外的三边支承于所述壳体。(The invention provides a diaphragm member which is light in weight, easy to handle and less damaged such as a housing and a diaphragm. The diaphragm member is provided with: a case that accommodates the electrode and has flexibility; a diaphragm having a housing port for housing the electrode and detachably attached to the case; and a frame body that supports three sides of the diaphragm other than the receiving opening side thereof in the case.)

隔膜构件

技术领域

本发明涉及在电镀装置中使用的隔膜构件。

背景技术

作为在印刷基板、半导体晶片基板等的表面形成布线等的技术，已知有电镀。

在这些电镀中，例如公开有如下的电沉积涂装用隔膜单元(专利文献1的实用新型登记请求的范围)，即，在隔膜夹于对电极进行收纳的壳体和装卸自如地安装于该壳体的前面侧开口部的保护框架之间的电沉积涂装用隔膜单元中，在沿着所述壳体的前面侧开口部的侧缘突出设置的凸缘部和相对于该凸缘部装卸自如地重叠固定的凸缘框单体之间夹持隔膜，所述保护框架经由所述凸缘框单体安装于所述壳体。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本实愿昭61-98876(实开昭63-7170)的缩微胶片

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1所记载的隔膜构件中，“为了使隔膜保持水拉伸强度而要求为坚固的构造”，大重量的隔膜构件较多(第2页第8～10行)。因此，为了从电镀液中回收该隔膜构件，需要起重机等回收装置。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供一种轻量、容易处理且壳体、隔膜等的损伤较少的隔膜构件。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明的隔膜构件具备：壳体，对电极进行收纳并具有可挠性；隔膜，具有收纳所述电极的收纳口，装卸自如地安装于所述壳体；和框体，将所述隔膜的收纳口侧以外的三边支承于所述壳体。

根据该结构，由于壳体具有可挠性，因此能够通过变形来吸收在提起时施加的水压产生的应力，因此与以往相比不易产生裂纹。能够减薄壳体的板厚，从而能够减小重量。

也可以是，所述壳体的安装所述隔膜的安装部具有所述壳体的壁部被折回的折返构造，所述折回的部分的壁部延伸至收纳所述电极的收纳空间。

根据该结构，即使从壳体的与背面相连的部分(图3中的折返构造的上侧的侧面)的端部产生裂纹，也不易在与隔膜相接的部分(图2中的折返构造的下侧的侧面)产生裂纹，由该部分固定壳体和隔膜，从而能够维持电极收纳空间。

也可以是，在所述折返构造的延伸至所述收纳空间的壁部，设置有向所述电极的方向突出的突起。

根据该结构，即使产生由水压的内外差引起的应力，由于所述突起吸收所述应力，也能够抑制延伸的壁部的前端部的移动，因此具有防止隔膜的损伤的效果。

也可以在将所述折返构造的两个侧面沿长度方向连接的侧面的端部，沿着所述侧面的长度方向设置有虚线状的凹部。

根据该结构，即使在与背面相连的侧面侧的端部产生裂纹，也能够通过使该裂纹沿着虚线在长度方向上传播，从而抑制裂纹传播到靠近隔膜的侧面侧的端部。

发明效果

根据本发明，能够提供轻量、容易处理且壳体、隔膜等的损伤较少的隔膜构件。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的隔膜构件的分解立体图。

图2是本发明的第二实施方式所涉及的隔膜构件的分解立体图。

图3是本发明的第二实施方式所涉及的隔膜构件的横剖视图。

图4是本发明的第三实施方式所涉及的隔膜构件的横剖视图。

图5是表示本发明的第四实施方式所涉及的折返构造的侧面的端部的图。

图6是本发明的其他实施方式所涉及的隔膜构件的横剖视图。

图7是以往的隔膜构件的应力施加的说明图。

具体实施方式

将本发明的第一实施方式所涉及的隔膜构件示于图1。

第一实施方式所涉及的隔膜构件具备：壳体，具有可挠性；隔膜，具有收纳电极的收纳口，装卸自如地安装于壳体；和框体，将所述隔膜的收纳口侧以外的三边支承于所述壳体，形成收纳口开口的电极收纳空间。

所述隔膜能够使用框体，通过螺栓紧固而安装于安装部。

在本发明中，“具有可挠性的壳体”是指由铁等金属以外的可弹性变形的材料构成的壳体。更优选为可挠性树脂壳体。

以往的隔膜构件为了提高机械强度，壳体所使用的材料是刚性高的金属或者硬质塑料等。在采用这样的材料的情况下，从电解槽中回收隔膜构件时，会向图7所示的箭头方向施加水压，容易从壳体的安装隔膜的部分的端部产生裂纹。若该裂纹到达螺栓孔，则壳体从隔膜脱离，壳体有可能与其中的电极一起落入镀液中。因此，为了增加壳体的强度，板厚变大，导致重量大而难以处理。

与此相对，在图1所示的本发明的第一实施方式所涉及的隔膜构件中，由于壳体为可挠性，因此能够通过变形来吸收由所述水压产生的应力，因此与以往相比不易产生裂纹。因此，能够减薄壳体的板厚，从而能够减小重量。

图2表示本发明的第二实施方式所涉及的隔膜构件的分解立体图。

在该实施方式中，所述壳体的安装所述隔膜的安装部具有所述壳体的壁部被折回的折返构造，所述折回的部分的壁部延伸至所述电极收纳空间。优选的是，所述折返构造具备两个侧面和将该两个侧面沿长度方向连接的侧面的端部。

根据第二实施方式，壳体的安装部通过折返构造而成为双重构造，因此，即使从与背面相连的部分(图3中的折返构造的上侧的侧面)的端部产生裂纹，也不易在靠近隔膜的部分(图3中的折返构造的下侧的侧面)产生裂纹，由该部分固定壳体和隔膜，从而能够维持电极收纳空间。因此，能够防止壳体从隔膜脱离而该壳体与其中的电极落入镀液中的事故。

进而，所述折返构造的延伸至电极收纳空间的壁部的部分也作为电极的支承部而发挥功能，因此能够进一步抑制落下的危险。

图4表示本发明的第三实施方式所涉及的隔膜构件的横剖视图。

在该实施方式中，在所述折返构造的延伸至电极收纳空间的壁部设置有向电极方向突出的突起。

由于所述延伸的壁部的前端部未被固定，为可挠性，因此有可能根据水压的内外差引起的应力而与隔膜摩擦地移动，损伤隔膜。

该实施方式中的所述突起吸收所述应力，从而能够抑制延伸的壁部的前端部的移动，因此具有防止隔膜的损伤的效果。

图5是从图3的A’-A方向观察本发明的第四实施方式所涉及的隔膜构件中壳体的折返构造的侧面的端部的图。上侧是与背面相连的侧面侧，下侧是靠近隔膜的侧面侧。如上所述，由于在壳体的与背面相连的侧面侧的端部容易产生裂纹，因此伴随着长期的使用，存在所述裂纹从与背面相连的侧面侧的端部连续到靠近隔膜的侧面侧的端部的可能性。

因此，在该实施方式中，在所述折返构造的侧面的端部沿长度方向设置有虚线状的凹部。

通过该虚线状的凹部，即使在与背面相连的侧面侧的端部产生裂纹，也能够通过使该裂纹沿着虚线在长度方向上传播，从而抑制裂纹传播到靠近隔膜的侧面侧的端部。因此，能够进一步提高隔膜安装的可靠性。

另外，本发明并不限定于上述实施方式，当然也包括基于公知技术进行了变更或附加的实施方式。

例如，壳体和隔膜的安装部可以如图3所示隔着1个框体而被螺栓紧固，也可以如图4所示由两个框体夹持而被螺栓紧固。进而还可以如图6所示使用3个框体而被螺栓紧固。

此外，虽然未图示，但通过使隔膜的高度为比壳体的高度低的位置，在隔膜整体浸渍于镀液的状态下进行电镀，还能够防止镀液面上的析出物的产生。

作为用于壳体的可挠性树脂，例如能够使用聚氯乙烯(PVC)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚丙烯(PP)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)等。

壳体优选通过真空成型、压缩空气成型而成型。更优选与所收纳的电极构造相匹配地进行起泡成型。成型品的厚度优选为0.3mm～2.0mm，更优选为0.4mm～1.0mm，能够实现隔膜构件的轻量化、薄型化，所谓的软壳体化。

[实施例]

以下，示出本发明的实施例。

(实施例1)

制作了在由聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂(PET)制的无纺布构成的基材上涂敷了由聚偏二氟乙烯树脂构成的膜材料而成的微多孔膜(隔膜)。

将具有可挠性的聚氯乙烯树脂(PVC)进行真空成型(起泡成型)而制作了壳体，使得具有与电极的形状匹配的电极收纳空间和从所述电极收纳空间延伸的安装部。

使用不锈钢材料制作了框体。

在所述框体与所述安装部之间夹持所述隔膜，通过螺栓紧固进行固定，制作了实施例1所涉及的隔膜构件。

(实施例2)

将所述安装部设为折返构造，将折回的部分的壁部延伸至所述电极收纳空间而制作壳体，除此以外，与实施例1同样地制作了实施例2所涉及的隔膜构件。

(实施例3)

在所述壳体的延伸至电极收纳空间的壁部形成有朝向电极方向突出约1mm的突起，除此以外，与实施例2同样地制作了实施例3所涉及的隔膜构件。

(比较例)

除了使壳体为硬质塑料以外，与实施例1同样地制作了比较例所涉及的隔膜构件。

实施例1～3所涉及的隔膜构件与比较例相比耐久性均优异。

产业上的可利用性

本发明的隔膜构件能够实现轻量化，并且能够可靠地安装壳体和隔膜，因此能够抑制壳体、电极落入镀液中。此外，能够抑制隔膜的损伤。因此，能够用于以对印刷基板、半导体晶片形成布线为代表的所有电镀。