阅读说明：本技术 Ldmos器件的制造方法 (Manufacturing method of LDMOS device ) 是由 刘长振 令海阳 刘宪周 于 2020-07-24 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种LDMOS器件的制造方法,通过在半导体衬底内形成第一导电类型的漂移区；然后,在所述半导体衬底上形成图形化的光刻胶层,所述图形化的光刻胶层暴露出部分所述漂移区；接着,以所述图形化的光刻胶层为掩膜,对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺,以形成第二导电类型的阱区。即所述阱区位于所述漂移区内,在形成所述阱区和所述漂移区的过程中,只需要通过所述图形化的光刻胶层定义所述阱区的位置,因此,可以减少一次图形化的光刻胶层的图形对准,由此,可以减少阱区与漂移区之间的位置偏离,从而可以减少两者之间的套刻误差,进而可以提高LDMOS器件的导电沟道长度、阈值电压和漏电流的稳定性。(The invention provides a manufacturing method of an LDMOS device, which is characterized in that a drift region of a first conduction type is formed in a semiconductor substrate; then, forming a patterned photoresist layer on the semiconductor substrate, wherein a part of the drift region is exposed out of the patterned photoresist layer; and then, taking the patterned photoresist layer as a mask, and performing an ion implantation process on the exposed drift region to form a well region of the second conductivity type. The well region is located in the drift region, and in the process of forming the well region and the drift region, the position of the well region is defined only by the patterned photoresist layer, so that the pattern alignment of the patterned photoresist layer at one time can be reduced, the position deviation between the well region and the drift region can be reduced, the overlay error between the well region and the drift region can be reduced, and the stability of the conducting channel length, the threshold voltage and the leakage current of the LDMOS device can be improved.)

LDMOS器件的制造方法

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种LDMOS器件的制造方法。

背景技术

由于横向双扩散金属氧化物半导体(lateral double diffusion MOS,LDMOS)器件具备高击穿电压，以及能够与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容的特性，被广泛应用于功率器件中。现有的LDMOS器件的制造方法通常包括，在半导体衬底上形成第一图形化的光刻胶层，所述第一图形化的光刻胶层暴露出部分所述半导体衬底，然后，执行离子注入，在暴露出的所述半导体衬底内形成阱区，接着，在所述半导体衬底上形成第二图形化的光刻胶层，所述第二图形化的光刻胶层暴露出所述阱区外的部分所述半导体衬底，接着，执行离子注入，在暴露出的所述半导体衬底内形成漂移区。但在形成第一图形化的光刻胶层和第二图形化的光刻胶层时，其两者之间的图形的位置较容易发生偏离，即会出现套刻误差，因此，会影响LDMOS器件的电学参数稳定性，例如，影响LDMOS器件的导电沟道长度、阈值电压和漏电流的稳定性等。

发明内容

本发明的目的在于提供一种LDMOS器件的制造方法，以提高LDMOD器件的导电沟道长度、阈值电压和漏电流的稳定性。

为实现上述目的，本发明提供一种LDMOS器件的制造方法，包括：提供一半导体衬底；

在所述半导体衬底内形成第一导电类型的漂移区；

在所述半导体衬底上形成图形化的光刻胶层，所述图形化的光刻胶层暴露出部分所述漂移区；

以所述图形化的光刻胶层为掩膜，对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺，以形成第二导电类型的阱区。

可选的，在所述的LDMOS器件的制造方法中，形成所述图形化的光刻胶层的方法包括：

在所述半导体衬底表面旋涂光刻胶，以形成光刻胶层；

对所述光刻胶层进行烘烤、曝光和显影处理，以形成所述图形化的光刻胶层。

可选的，在所述的LDMOS器件的制造方法中，对所述光刻胶层进行曝光处理时，采用的曝光能量值为30mJ/cm²～40mJ/cm²。

可选的，在所述的LDMOS器件的制造方法中，对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺的方法包括，采用多步离子注入工艺对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺以形成第二导电类型的所述阱区，所述多步离子注入工艺中采用的注入能量和剂量均不同。

可选的，在所述的LDMOS器件的制造方法中，对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺的方法包括：

执行第一次离子注入工艺，采用的注入能量为200Kev～250Kev，注入剂量10E3/cm²～12E3/cm²；

执行第二次离子注入工艺，采用的注入能量为140Kev～200Kev，注入剂量为90E2/cm²～100E2/cm²；

执行第三次离子注入工艺，采用的注入能量为60Kev～140Kev，注入剂量为60E2/cm²～90E2/cm²；

执行第四次离子注入工艺，采用的注入能量为15Kev～60Kev，注入剂量为40E2/cm²～60E2/cm²。

可选的，在所述的LDMOS器件的制造方法中，在所述半导体衬底内形成第一导电类型的漂移区之前，所述LDMOS器件的制造方法还包括，在所述半导体衬底表面形成一场氧化层。

可选的，在所述的LDMOS器件的制造方法中，在形成所述阱区之后，所述LDMOS器件的制造方法还包括：

去除所述图形化的光刻胶层；以及，

在所述半导体衬底上形成栅极结构，所述栅极结构覆盖部分所述阱区和所述漂移区，并延伸覆盖部分所述场氧化层。

可选的，在所述的LDMOS器件的制造方法中，所述栅极结构包括一栅氧化层和一栅极，所述栅氧化层位于所述场氧化层一侧与所述场氧化层连接，并覆盖部分所述漂移区和部分所述阱区，所述栅极覆盖所述栅氧化层并延伸覆盖部分所述场氧化层。

可选的，在所述的LDMOS器件的制造方法中，所述第一导电类型与所述第二导电类型的导电类型相反。

可选的，在所述的LDMOS器件的制造方法中，对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺时，采用的离子为砷离子、磷离子和硼离子中的至少一种。

在本发明提供的LDMOS器件的制造方法中，通过在半导体衬底内形成第一导电类型的漂移区；然后，在所述半导体衬底上形成图形化的光刻胶层，所述图形化的光刻胶层暴露出部分所述漂移区；接着，以所述图形化的光刻胶层为掩膜，对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺，以形成第二导电类型的阱区。即所述阱区位于所述漂移区内，在形成所述阱区和所述漂移区的过程中，只需要通过所述图形化的光刻胶层定义所述阱区的位置，相比现有技术，可以减少一次图形化的光刻胶层的图形对准，由此，可以减少阱区与漂移区之间的位置偏离，从而可以减少两者之间的套刻误差，进而可以提高LDMOS器件的导电沟道长度、阈值电压和漏电流稳定性。

附图说明

图1是本发明实施例提供的LDMOS器件的制造方法的流程示意图；

图2～图4是本发明实施例提供的LDMOS器件的制造方法中形成的结构示意图；

其中，附图标记说明如下：

100-半导体衬底；110-场氧化层；120-漂移区；130-阱区；140-栅极结构；150-栅氧化层；160-栅极。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的LDMOS器件的制造方法作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

请参考图1，其为本发明实施例提供的LDMOS器件的制造方法的流程示意图。如图1所示，本发明提供一种LDMOS器件的制造方法，包括：

步骤S1：提供一半导体衬底；

步骤S2：在所述半导体衬底内形成第一导电类型的漂移区；

步骤S3：在所述半导体衬底上形成图形化的光刻胶层，所述图形化的光刻胶层暴露出部分所述漂移区；

步骤S4：以所述图形化的光刻胶层为掩膜，对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺，以形成第二导电类型的阱区。

请参考图2～图4，其为本发明实施例提供的LDMOS器件的制造方法中形成的结构示意图。接下去，结合图2～图4对上述步骤进行详细说明。

在步骤S1中，如图2所示，提供一半导体衬底100，所述半导体衬底100可以为硅衬底、锗硅衬底或绝缘体上硅衬底。本实施例中，所述半导体衬底100为硅衬底，所述半导体衬底100的导电类型可以为第二导电类型(与第一导电类型相反)，在本实施例中，所述半导体衬底100的导电类型为P型。

接着，在半导体衬底100上形成场氧化层110，所述场氧化层110具有隔离的作用，能够避免器件中相邻的工艺层之间互干扰或者发生短路。优选的，所述场氧化层110可以通过正硅酸乙酯层(TEOS)形成，例如可以通过对所述正硅酸乙酯层执行高温退火工艺，形成所述场氧化层110，以使所述场氧化层110具有较好的隔离性能，但不限于此，所述场氧化层110也可以采用本领域人员所知的材质，例如二氧化硅等。

在步骤S2中，在所述半导体衬底100内形成第一导电类型的漂移区120，所述漂移区120内具有第一导电类型的掺杂离子，具体的，可以通过离子注入的方法形成所述漂移区120。在此，所述第一导电类型为N型，即所述漂移区120的导电类型为N型，在本发明的其他实施例中，所述漂移区120的导电类型也可以为P型。所述漂移区120可以承受较高的LDMOS器件的电压降，从而可以获得较高的击穿电压。

在步骤S3中，在所述半导体衬底100上形成图形化的光刻胶层(图中未示出)，所述图形化的光刻胶层暴露出部分所述漂移区120；所述图形化的光刻胶层用于定义阱区130的位置。

具体的，形成所述图形化的光刻胶层的方法包括：首先，在所述半导体衬底100表面旋涂光刻胶，以形成光刻胶层；然后，对所述光刻胶层进行烘烤、曝光和显影处理，以形成所述图形化的光刻胶层。更具体的，可以采用旋涂工艺在所述半导体衬底100表面形成光刻胶层，接着，对所述光刻胶层进行软烘烤，使所述光刻胶层内的溶剂挥发，增加所述光刻胶层与所述半导体衬底100之间的粘附性、光吸收及抗腐蚀能力，缓和涂胶过程中光刻胶层内产生的应力，接着，对所述光刻胶层进行对准和曝光，最后采用显影液溶解多余的光刻胶层，以形成所述图形化的光刻胶层。

优选的，对所述光刻胶层进行曝光处理时，采用的曝光能量值为30mJ/cm²～40mJ/cm²，以使后续形成的所述图形化的光刻胶层较均匀的分布在所述半导体衬底100表面，特别的，使所述图形化的光刻胶层的边缘处较平整，避免所述图形化的光刻胶层的图案偏移，从而在后续形成阱区130时，提高导电沟道的长度的稳定性。此外，在本发明的其他实施例中，可以采用准分子激光对所述光刻胶层进行固化，其准分子激光的波长范围在185nm-195nm之间，可以提高所述图形化的光刻胶对所述半导体衬底100的粘附性，还可以使所述图形化的光刻胶层的图形更好，进一步，还可以降低对下一步的离子注入工艺的影响。

在步骤S4中，如图3所示，以所述图形化的光刻胶层为掩膜，对暴露出的所述漂移区120执行离子注入工艺，以形成第二导电类型的阱区130，所述阱区130自所述漂移区130延伸到所述半导体衬底100中，在本申请的其他实施例中，所述阱区130也可以完全位于所述漂移区120内。具体的，对暴露出的所述漂移区120执行离子注入工艺的方法包括，采用多步离子注入工艺形成，对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺以形成第二导电类型的所述阱区，所述多步离子注入工艺中采用的注入能量和注入剂量均不同，以提高所述离子注入的均匀性。在形成所述漂移区120与所述阱区130的过程中，只需要通过所述图形化的光刻胶层定义所述阱区130的位置，相比现有技术，可以减少一次图形化的光刻胶层的图形对准，由此，可以减少阱区130与漂移区120之间的位置偏离，从而可以减少两者之间的套刻误差，进而可以提高LDMOS器件的导电沟道长度、阈值电压和漏电流的稳定性。

更具体的，对暴露出的所述漂移区120执行离子注入工艺的方法包括：首先，执行第一次离子注入工艺，采用的注入能量为200Kev～250Kev，注入剂量为10E3/cm²～12E3/cm²；然后，执行第二次离子注入工艺，采用的注入能量为140Kev～200Kev，注入剂量为90E2/cm²～100E2/cm²；接着，执行第三次离子注入工艺，采用的注入能量为60Kev～140Kev，注入剂量为60E2/cm²～90E2/cm²；最后，执行第四次离子注入工艺，采用的注入能量为15Kev～60Kev，注入剂量为40E2/cm²～60E2/cm²。在本实施例中，优选的采用四次离子注入的方法形成所述阱区130，以使所述离子注入工艺的效果较好，使形成的所述漂移区120内的离子较均匀的分布。在本发明的其他实施例中，也可以采用两次、三次、五次或者六次离子注入的方法形成所述阱区130。

其中，在对暴露出的所述漂移区120执行离子注入工时采用的艺离子为砷离子、磷离子和硼离子中的至少一种。

此外，在形成所述阱区130后，可以接着执行高温退火工艺，以修复因为离子注入产生的晶格缺陷，并可以进一步使阱区130内的离子扩散，形成离子分布更为均匀的阱区130。

接着，去除所述图形化的光刻胶层，暴露出所述半导体衬底100。其中，可以采用灰化工艺去除所述图形化的光刻胶。

接着，如图4所示，在所述半导体衬底100上形成栅极结构140，所述栅极结构140覆盖部分所述阱区130和部分所述漂移区120，并延伸覆盖部分所述场氧化层110。所述栅极结构140包括一栅氧化层150和一栅极160，所述栅氧化层150位于所述场氧化层110一侧与所述场氧化层110连接，并覆盖部分所述漂移区120和部分所述阱区130，所述栅极160覆盖所述栅氧化层150并延伸覆盖部分所述场氧化层110，即所述栅极160延伸至所述场氧化层110的部分表面。

综上可见，在本发明提供的LDMOS器件的制造方法中，通过在半导体衬底内形成第一导电类型的漂移区；然后，在所述半导体衬底上形成图形化的光刻胶层，所述图形化的光刻胶层暴露出部分所述漂移区；接着，以所述图形化的光刻胶层为掩膜，对暴露出的所述漂移区执行离子注入工艺，以形成第二导电类型的阱区。即所述阱区位于所述漂移区内，在形成所述阱区和所述漂移区的过程中，只需要通过所述图形化的光刻胶层定义所述阱区的位置，相比现有技术，可以减少一次图形化的光刻胶层的图形对准，由此，可以减少阱区与漂移区之间的位置偏离，从而可以减少两者之间的套刻误差，进而可以提高LDMOS器件的导电沟道长度、阈值电压和漏电流的稳定性。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。