阅读说明：本技术 流体控制装置 (Fluid control device ) 是由 田口明広 于 2020-02-27 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种流体控制装置,其包括：主体构件,是在内部具有流体流动的流道的块状构件,具有设置有用于控制在所述流道内流动的流体的各设备的设置面和与所述设置面相邻的侧面；加热器,对所述主体构件进行加热；加热器保持构件,具有与所述主体构件的所述设置面相对的对置面,在使所述对置面与所述设置面相对的状态下将所述加热器保持成沿着所述侧面；以及按压机构,将所述对置面向所述设置面按压。(The present invention provides a fluid control device, comprising: a body member that is a block-shaped member having a flow path through which a fluid flows, and that has a mounting surface on which devices for controlling the fluid flowing through the flow path are mounted and a side surface adjacent to the mounting surface; a heater that heats the body member; a heater holding member having an opposing surface opposing the installation surface of the body member, the heater holding member holding the heater along the side surface in a state where the opposing surface is opposed to the installation surface; and a pressing mechanism that presses the opposing surface against the installation surface.)

流体控制装置

技术领域

本发明涉及一种流体控制装置。

背景技术

如专利文献1所示，作为以往的流体控制装置例如包括：块状的主体构件，在内部具有流体流动的流道；以及各设备，设置于主体构件的设置面，用于控制在流道内流动的流体。

另外，所述以往的流体控制装置成为将用于对主体构件进行加热的加热器拧紧固定在主体构件的与设置面相邻的侧面的结构。

并且，这种流体控制装置一般集成设置有多个，但是在这种情况下，相邻的流体控制装置配置成主体构件的侧面彼此接近。因此，加热器位于相邻的主体构件之间而难以接近，所以加热器的维护非常麻烦。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2016-119012号

发明内容

因此，本发明的主要课题在于得到一种流体控制装置，即使集成配置，也能够容易拆卸配置在主体构件的侧面的加热器，因此维护性优异。

即，本发明的流体控制装置的特征在于，包括：主体构件，是在内部具有流体流动的流道的块状构件，具有设置有用于控制在所述流道内流动的流体的各设备的设置面和与所述设置面相邻的侧面；加热器，对所述主体构件进行加热；加热器保持构件，具有与所述主体构件的所述设置面相对的对置面，在使所述对置面与所述设置面相对的状态下将所述加热器保持成沿着所述侧面；以及按压机构，将所述对置面向所述设置面按压。

按照这种结构，通过以由按压机构按压的方式安装于主体构件的设置面的加热器保持构件，成为沿着侧面的方式保持加热器的结构，因此即使在集成配置后，也能够从相对容易接近的主体构件的设置面侧拆卸加热器保持构件。由此，提高了加热器的维护性。另外，由于通过按压机构将对置面向设置面按压，所以能够抑制加热器保持构件相对于主体构件的位置偏移。

此外，可以是所述设置面包括与所述对置面接触的第一接触部，所述对置面包括与所述第一接触部接触的第二接触部，所述第一接触部或所述第二接触部的至少一方形成为相对于所述按压机构的按压方向倾斜的面状。

另外，可以是所述第一接触部和所述第二接触部构成介于所述设置面和所述对置面之间的滑动机构，所述滑动机构通过所述按压机构的按压使所述加热器保持构件相对于所述主体构件滑动，以使所述加热器朝向所述侧面侧。

按照这种结构，能够在设置面和对置面之间，通过按压机构的按压使加热器保持构件相对于主体构件滑动，以使加热器朝向侧面侧，因此能够可靠地使加热器贴紧于主体构件的侧面。由此，加热器的热量有效地向主体构件传递。

作为所述滑动机构的具体结构只要是如下结构即可：所述滑动机构包括设置于所述设置面的第一接触部和设置于所述对置面并与所述第一接触部接触的第二接触部，所述第一接触部或所述第二接触部的至少一方形成为相对于所述按压机构的按压方向倾斜的面状。此外，在这种情况下，可以是所述第一接触部和所述第二接触部构成为彼此面接触。

按照这种结构，能够不采用复杂的结构，构成能够使加热器保持构件相对于主体构件滑动的滑动机构。

此外，作为所述加热器保持构件的具体结构可以列举的是如下结构：所述加热器保持构件包括：具有所述对置面的安装部；以及加热器保持部，从所述安装部的所述对置面侧沿着所述侧面延伸，所述加热器设置在所述加热器保持部的与所述侧面相对的一面或所述一面的相反侧的另一面的至少一方。

此外，可以是所述加热器保持构件的所述一面从所述对置面向所述侧面侧倾斜。

按照这种结构，在由按压机构将对置面向设置面按压的情况下，能够以施力的状态使加热器保持部的至少一部分贴紧于侧面。

此外，作为所述按压机构的具体结构可以列举的是，所述按压机构包括：设置于所述设置面的螺纹孔；长孔，贯通所述安装部，向远离所述加热器保持部的方向延伸；以及螺钉构件，在穿过所述长孔的状态下拧紧固定于所述螺纹孔。

本发明还提供一种流体控制装置，其特征在于包括：主体构件，是在内部具有流体流动的流道的块状构件，包括设置有用于控制在所述流道内流动的流体的各设备的设置面和与所述设置面相邻的一对侧面；加热器，配置成沿着各所述侧面；以及保持机构，使所述加热器贴紧保持于所述侧面，所述保持机构包括：一对加热器保持板，与所述主体构件的各侧面相对，与该侧面之间保持所述加热器；卡止结构，设置于所述主体构件，卡止所述一对加热器保持板的朝向与所述设置面所朝向的方向相反方向延伸的一端部；以及连接机构，将所述一对加热器保持板的朝向所述设置面所朝向的方向延伸的另一端部之间彼此连接，构成为通过将所述一对加热器保持板的一端部卡止于所述卡止结构并由所述连接机构将另一端部之间连接，所述加热器贴紧保持于所述侧面。

本发明还提供一种流体控制装置，其特征在于包括：主体构件，是在内部具有流体流动的流道的块状构件，包括设置有用于控制在所述流道内流动的流体的各设备的设置面和与所述设置面相邻的一对侧面；加热器，配置成沿着所述侧面；以及保持机构，使所述加热器贴紧保持于所述侧面，所述保持机构包括：加热器保持板，与所述主体构件的侧面相对，与所述侧面之间保持所述加热器；卡止结构，设置于所述主体构件，卡止所述加热器保持板的朝向与所述设置面所朝向的方向相反方向延伸的一端部；以及连接机构，将所述加热器保持板的朝向所述设置面所朝向的方向延伸的另一端部与所述主体构件连接，构成为通过将一对所述加热器保持板的一端部卡止于所述卡止结构并由所述连接机构将另一端部连接于所述设置面，所述加热器贴紧保持于所述侧面。

按照以上述方式构成的流体控制装置，即使集成配置，也能够容易从设置面侧拆卸配置于主体构件的侧面的加热器，因此提高维护性。

附图说明

图1是示意性表示第一实施方式的流体控制装置的分解立体图。

图2是示意性表示沿长边方向切断了第一实施方式的流体控制装置的主体构件的状态的剖视图。

图3是示意性表示沿宽度方向切断了第一实施方式的流体控制装置的主体构件的状态的分解剖视图。

图4是示意性表示在第一实施方式的流体控制装置的主体构件安装加热器保持构件的过程的剖视图。

图5是示意性表示沿宽度方向切断了第二实施方式的流体控制装置的主体构件的状态的剖视图。

图6是示意性表示在第二实施方式的流体控制装置的主体构件安装加热器保持构件的过程的剖视图。

图7是示意性表示第一实施方式的其他实施方式的流体控制装置的剖视图。

图8是示意性表示第一实施方式的其他实施方式的流体控制装置的剖视图。

图9是示意性表示第二实施方式的其他实施方式的流体控制装置的剖视图。

附图标记说明

100 流体控制装置

10 主体构件

S1 设置面

S2 侧面

20 各设备

30 加热器

40 加热器保持构件

40a 安装部

40s 对置面

40b 加热器保持部

40x 一面

40y 另一面

50 按压机构

50a 螺纹孔

50b 长孔

50c 螺钉构件

60 滑动机构

60a 第一接触部

60b 第二接触部

M 保持机构

70 加热器保持板

80 卡止结构

90 连接结构

具体实施方式

下面，基于附图对本发明的流体控制装置进行说明。

本发明的流体控制装置例如组装于半导体生产线等来使用。

<第一实施方式>

如图1和图2所示，本实施方式的流体控制装置100包括：主体构件10，在内部具有流体流动的流道L；各设备20，设置于主体构件10，控制在流道L内流动的流体；加热器30，对主体构件10进行加热；以及加热器保持构件40，安装于主体构件10，保持加热器30。

所述主体构件10是块状的。具体地说，主体构件10是长方体状的。另外，主体构件10在长边方向的一端面包括向流道L导入流体的导入口10a，并且在长边方向的另一端面包括从流道L导出流体的导出口10b。

另外，所述主体构件10构成为将沿长边方向延伸的规定面作为设置面S1，在该设置面S1设置有各设备20并安装有加热器保持构件40。此外，主体构件10在设置面S1包括向流道L导入清除气体的清除气体导入口10c。

所述各设备20控制在流道L内流动的流体。具体地说，本实施方式的各设备20包括：第一空气阀20a、预备加热容器20b、第一流量调节阀20c、加热容器20d、压力传感器20e、第二空气阀20f、第三空气阀20g、第二流量调节阀20h和流量传感器20i。另外，这些各设备20从流道L的上游侧向下游侧以上述顺序设置于主体构件10的设置面S1。

并且，所述本实施方式的各设备20以如下方式构成：由第一流量调节阀20c调节从导入口10a导入的液体材料的流量，并且由预备加热容器20b和加热容器20d进行加热而成为材料气体，由第二流量调节阀20h对材料气体的流量进行反馈控制以使流量传感器20i的测量值接近设定值，并且从导出口10b导出。

所述加热器30是扁平板状的。作为加热器30例如能够使用橡胶加热器。

所述加热器保持构件40安装在主体构件10的设置面S1，将加热器30保持成沿着主体构件10的与设置面S1相邻的侧面S2。在此，侧面S2是主体构件10的沿着长边方向与设置面S1相邻的面，本实施方式的侧面S2与设置面S1正交。另外，在本实施方式中，成为将两个加热器保持构件40安装于主体构件10的结构，但是两个加热器保持构件40的结构及其安装结构相对于主体构件10的沿长边方向延伸的中心线α为对称结构，因此以下仅对一个加热器保持构件40说明结构。

具体地说，所述加热器保持构件40包括：一对安装部40a，包括与主体构件10的设置面S1相对的对置面40s；以及架设于各安装部40a的加热器保持部40b。另外，如图3所示，在一对安装部40a的对置面40s与设置面S1相对的状态下，加热器保持部40b以沿着主体构件10的侧面S2的方式延伸。此外，加热器保持构件40构成为各安装部40a的对置面40s被按压机构50向设置面S1按压。本实施方式的加热器保持构件40包括两个安装部40a，但是也可以包括一个或三个以上安装部40a。

另外，所述加热器30设置在与侧面S2相对的加热器保持部40b的一面40x相反侧的另一面40y。加热器30也可以设置在加热器保持部40b的一面40x，还可以设置在一面40x和另一面40y的双方。

所述按压机构50将对置面40s向设置面S1按压。具体地说，按压机构50包括：螺纹孔50a，设置于主体构件10的设置面S1；长孔50b，贯通加热器保持构件40的安装部40a，向远离加热器保持部40b的方向(与一面40x交叉的方向)延伸；以及螺栓状的螺钉构件50c，在穿过长孔50b的状态下拧紧固定于螺纹孔50a。另外，螺钉构件50c具有通过长孔50b的轴部50x和未通过长孔50b的头部50y。

并且，所述按压机构50构成为通过将螺钉构件50c拧入螺纹孔50a，由卡在长孔50b的螺钉构件50c的头部50y将安装部40a的对置面40s向设置面S1按压。

此外，滑动机构60介于所述对置面40s和所述设置面S1之间。另外，滑动机构60通过按压机构50的按压，使加热器保持构件40相对于主体构件10滑动，以使保持于加热器保持部40b的加热器30朝向侧面S2侧。

具体地说，所述滑动机构60包括设置于设置面S1的第一接触部60a和设置于对置面40s的第二接触部60b。另外，第一接触部60a由设置面S1中与对置面40s接触的部分构成，例如是面形状或突起形状。此外，第二接触部60b由对置面40s中与设置面S1接触的部分构成，例如是面形状或突起形状。并且，第一接触部60a和第二接触部60b构成为在对置面40s被按压机构50向设置面S1按压的情况下能够相互滑动地接触。

如图3所示，本实施方式的所述第一接触部60a和所述第二接触部60b形成为相对于按压机构50的按压方向X倾斜的面状(具体地说平面状)。另外，并且第一接触部60a和第二接触部60b构成为彼此面接触。此外，构成第一接触部60a的面以与侧面S2所成的角度θ1成锐角的方式倾斜。此外，构成第二接触部60b的面以与一面40x所成的角度θ2成锐角的方式倾斜。另外，该侧面S2表示了通过使第一接触部60a和第二接触部60b接触而安装于设置面S1的加热器保持构件40所保持的加热器30相对的面。并且，构成第一接触部60a的面倾斜成朝向与侧面S2所朝向的方向(图3中左方向)相反方向(图3中右方向)侧，构成第二接触部60b的面倾斜成朝向与一面40x所朝向的方向(图3中右方向)相反方向(图3中左方向)侧。换句话说，在使第一接触部60a与第二接触部60b接触的状态下，构成第二接触部60b的面倾斜成朝向与侧面S2所朝向的方向(图3中左方向)相同方向侧。即，第一接触部60a和第二接触部60b在彼此接触的状态下至少一方形成为相对于按压机构50的按压方向X倾斜的面状，在第一接触部60a形成为面状的情况下，该面只要倾斜成朝向与侧面S2所朝向的方向相反方向侧即可，在第二接触部60b形成为面状的情况下，该面只要倾斜成朝向与侧面S2所朝向的方向相同方向侧(与一面40x所朝向的方向相反方向侧)即可。

另外，所述第一接触部60a或所述第二接触部60b可以构成为至少一方形成为相对于按压机构50的按压方向X倾斜的面状，而另一方相对于该一方的面点接触或线接触。在这种情况下，第一接触部60a和第二接触部60b优选构成为在两个部位以上接触。

此外，在使所述第一接触部60a与所述第二接触部60b接触的状态下，加热器保持部40b的一面40x与侧面S2平行，或者一面40x倾斜成从对置面40s向侧面S2侧倾斜。

另外，本实施方式的主体构件10在设置面S1中的压力传感器20e和第二空气阀20f之间以及第三空气阀20g和第二流量调节阀20h之间设置有第一接触部60a。

接着，基于图4，说明本实施方式中的加热器保持构件40相对于主体构件10的安装方法。

首先，如图4的(a)所示，将加热器保持构件40配置成对置面40s与设置面S1相对。并且，使第一接触部60a与第二接触部60b彼此接触。

接着，将螺钉构件50c的轴部50x以穿过长孔50b的状态拧紧固定于螺纹孔50a。并且，通过将螺钉构件50c拧入螺纹孔50a由螺钉构件50c的头部50y按压安装部40a，将第二接触部60b向第一接触部60a按压。

由此，如图4的(b)所示，在第一接触部60a与第二接触部60b之间产生滑动。其结果，加热器保持构件40相对于主体构件10滑动。并且，保持于加热器保持部40b的加热器30隔着该加热器保持部40b间接地贴紧于侧面S2。

<第二实施方式>

如图5和图6所示，本实施方式的流体控制装置100包括：主体构件10，在内部具有流体流动的流道L；各设备20，设置于主体构件10，控制在流道L内流动的流体；加热器30，对主体构件10进行加热；以及保持机构M，使加热器30贴紧保持于主体构件10。

所述主体构件10是块状的。具体地说，主体构件10是长方体状的。此外，主体构件10包括沿长边方向延伸的设置面S1和沿长边方向延伸的与设置面S1相邻的一对侧面S2。并且，主体构件10构成为各设备20设置于该设置面S1。因此，一对侧面S2朝向彼此相反方向。

所述保持机构M包括：一对加热器保持板70、卡止结构80和连接结构90。

所述一对加热器保持板70与主体构件10的各侧面S2相对，并且与该侧面S2之间保持加热器30。例如，加热器保持板70是将具有弹性的板材弯折而形成的。

具体地说，所述加热器保持板70包括：保持部71，沿主体构件10的侧面S2延伸；钩部72，形成在从保持部71向与主体构件10的设置面S1所朝向的方向X(图5的上方)相反方向延伸的一端部；以及对置部73，形成在从保持部71向设置面S1所朝向的方向X延伸的另一端部。并且，加热器保持板70构成为在保持部71与侧面S2之间夹持加热器30。另外，换句话说，设置面S1所朝向的方向也称为设置于设置面S1的各设备20的竖起方向。

具体地说，所述保持部71以与主体构件10以及设置于该主体构件10的设置面S1的各设备20相对的方式延伸。并且，在保持部71中在与侧面S2相对的内表面安装有加热器30。将加热器保持板70的一端部弯折成向下的L形而形成所述钩部72。此外，将加热器保持板70的另一端部直角弯折而形成所述对置部73并与设置面S1相对。此外，在对置部73形成有构成连接结构90的贯通孔73h。

所述卡止结构80设置于主体构件10，与一对加热器保持板70的一端部卡止。具体地说，所述卡止结构80包括：板81，呈沿与主体构件10的设置面S1相反面S3延伸的长条矩形形状，形成为比该相反面S3宽度宽；以及卡止片82，从沿着板81的长边方向延伸的两边竖起并与主体构件10的侧面S2相对。

所述板81固定于主体构件10的所述相反面S3。所述卡止片82包括卡止面82s，该卡止面82s沿主体构件10的侧面S2延伸并与该侧面S2相对。并且，卡止面82s与侧面S2之间的距离是与加热器30的厚度相同的距离或比该厚度短的距离。另外，卡止结构80可以如本实施方式那样由与主体构件10不同的构件构成，也可以与主体构件10一体设置。

所述连接结构90将一对加热器保持板70的向设置面S1所朝向的方向延伸的另一端部之间彼此连接。具体地说，连接结构90包括：形成于对置部73的贯通孔73h；架设在各对置部73之间的连接板91；以及螺钉92，在穿过贯通孔73h的状态下拧紧固定于连接板91。连接结构90在与设置面S1隔着设置于该设置面S1的各设备20相对的位置上，将形成于一对加热器保持板70的另一端部的对置部73彼此连接。

并且，所述一对加热器保持板70构成为在钩部72(一端部)卡止于卡止结构80并由连接结构90连接对置部73(另一端部)的状态下朝向彼此相对的方向弯曲。由此，加热器30成为通过弯曲的加热器保持板70的弹性朝向侧面S2按压的状态。

此外，所述加热器保持板70、所述板81和所述连接板91的长边方向的长度均为与主体构件10的长边方向的长度相同的长度或比该长度长。由此，保持机构M构成在将加热器30保持于主体构件10的侧面S2的状态下在内部收容主体构件10和各设备20的箱体。

接着，说明本实施方式的流体控制装置100的组装步骤。

首先，如图6的(a)所示，将构成卡止结构80的板81固定在与主体构件10的设置面S1相反面S3。在这种情况下，将卡止片82配置成从主体构件10的侧面S2分离。接着，将一对加热器保持板70的钩部72***卡止面82s与侧面S2之间并与该卡止片82卡止。接着，如图6的(b)所示，使一对加热器保持板70以与卡止片82的卡止位置为支点转动到保持部71成为与侧面S2大体平行的位置。由此，加热器30被加热器保持板70的弹性向侧面S2按压而成为贴紧于主体构件10的侧面S2的状态。最后，如图6的(c)所示，由连接结构90将一对加热器保持板70的对置部73彼此连接。具体地说，通过将穿过对置部73的贯通孔73h的螺钉92拧紧固定于连接板91来连接一对加热器保持板70。由此，加热器30被夹持在加热器保持板70的保持部71与主体构件10的侧面S2之间，保持为贴紧于该侧面S2的状态。

按照这种结构，由于加热器保持板70利用该弹性复原力将加热器30向侧面S2按压并保持，能够使加热器30贴紧于主体构件10。由此，加热器30的热量效率良好地向主体构件10传递。此外，能够兼用作由保持机构M收容主体构件10和各设备20的箱体，不需要另外准备用于将加热器30保持于主体构件10的专用部件，能够减少部件个数。此外，由于采用由连接结构90连接一对加热器保持板70的与设置面S1相对的对置部73之间的结构，所以能够从主体构件10的设置面S1侧解除连接结构90与两个加热器保持板70的连接。

另外，所述卡止结构80可以是其他结构，例如可以是固定于主体构件10的侧面S2的结构。此外，在本实施方式中，采用使加热器保持板70与设置于板81的卡止片82卡止的结构，但是例如也可以采用使加热器保持板70与设置于板81的卡止孔卡止的结构。此外，所述连接结构90可以是其他结构，例如可以是在一对加热器保持板70的另一端部设置相互卡合的挂钩的结构。

<其他实施方式>

作为第一实施方式的其他实施方式，如图7的(a)所示，加热器保持构件40可以构成为加热器保持部40b的一面40x从对置面40s向侧面S2侧倾斜。按照这种结构，在通过按压机构50将对置面40s向设置面S1按压的情况下，加热器保持部40b的至少一部分对侧面S2施力，对侧面S2的贴紧力增加。

此外，在所述第一实施方式中，由一个构件构成加热器保持构件40，但是如图7的(b)所示也可以由多个构件(在图7的(b)中为两个构件)构成加热器保持构件40。另外，同样在所述实施方式中，由一个构件构成主体构件10，但是也可以由多个构件构成。

此外，在所述第一实施方式中，将第一接触部60a和第二接触部60b构成为平行的平面状，但是如图8的(a)所示也可以构成为平行的曲面状。

此外，如图8的(b)所示，在设置面S1或对置面40s的至少一方除了第一接触部60a和第二接触部60b另外还设置与按压方向X正交的接触面CS1、CS2。按照这种结构，通过接触面CS1、CS2的接触，能够限制按压机构50的按压，并且能够进行对置面40s相对于设置面S1的定位。

此外，在所述第一实施方式中，采用将加热器保持构件40安装于主体构件10的设置面S1的结构，但是也可以采用安装于与设置面S1相反面(将设置面S1作为主体构件10的上表面时的下表面)的结构。

此外，在所述第一实施方式中，在加热器保持部40b的另一面40y设置有加热器30，但是也可以在加热器保持部40b的一面40x设置加热器30，在另一面40y设置隔热材料。按照这种结构，将加热器30的热量有效地向主体构件10传递。

此外，作为所述第一实施方式的其他实施方式，可以使与第一接触部60a和第二接触部60b相比摩擦阻力低的垫圈构件介于第一接触部60a和第二接触部60b之间。此外，可以在第一接触部60a的表面层叠与该第一接触部60a相比摩擦阻力低的材料，也可以在第二接触部60b的表面层叠与该第二接触部60b相比摩擦阻力低的材料。按照这种结构，加热器保持构件40容易相对于主体构件10滑动而提高作业性。此外，也能够防止材料粘着于第一接触部60a和第二接触部60b。

此外，在所述第二实施方式中，采用了通过连接结构90连接一对加热器保持板70的另一端部之间的结构，但是如图9所示也可以采用通过连接结构90将加热器保持板70的另一端部(对置部73)连接于主体构件10(具体地说主体构件10的设置面S1)的结构。在这种情况下，连接结构90例如只要以如下方式构成即可：包括形成于对置部73的贯通孔73h、设置于主体构件10的设置面S1的螺纹孔10h、以及以穿过贯通孔73h的状态拧紧固定于螺纹孔10h的螺钉92。

此外，本发明并不限定于所述各实施方式，能够在不脱离本发明宗旨的范围进行各种变形。