阅读说明：本技术 光罩盒及其固持件 (Photomask box and holder thereof ) 是由 盛剑平 周睿棋 邱铭乾 于 2019-04-02 设计创作，主要内容包括：本发明提供了一种光罩盒及其固持件。其中,所述固持件主要包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。其中所述至少一条状支持件设于所述支持本体上,所述弹性本体具有至少一开口,且所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。所述至少一固定孔则设于所述支持本体及所述弹性本体上。而所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。(The invention provides a photomask box and a fixing piece thereof. The fixing piece mainly comprises a supporting body, at least one strip-shaped supporting piece, an elastic body and at least one fixing hole. The elastic body is provided with at least one opening, and the elastic body covers the supporting body and enables each strip-shaped supporting piece to exceed each opening and extend upwards to form a protruding part. The at least one fixing hole is arranged on the supporting body and the elastic body. And the fixing piece is arranged in a photomask box through the at least one fixing hole.)

光罩盒及其固持件

技术领域

本发明提供了一种光罩盒及其固持件，尤指一种由弹性本体包覆支持本体的固持件及使用其的光罩盒。

背景技术

在半导体制程的产业中，涉及黄光微影等蚀刻技术所使用的光罩，会依照制程使用的基板尺寸而有不同，而采用不同尺寸的光罩。

在众多种类的半导体制程中，用于制造薄膜晶体管液晶显示器(Thinfilmtransistor liquid crystal display，TFT－LCD)制程上所选用的基板和光罩通常具有较大的尺寸，才能够用来制成较大的半导体组件，并应用在大尺寸的面板中。

针对如此大尺寸的光罩，往往会需要特别的载具来协助提供其储存与传输。有鉴于大尺寸光罩实质上属于易碎的板状薄片，因此传统的大尺寸光罩储存盒内部四角周缘多会设有橡胶或硅胶制的固持件。通过大尺寸光罩盒上盖及下盖盖合时，以四个角上下共八个点抵持大尺寸光罩。提供一定的稳定和阻尼能力，减少大尺寸光罩因碰撞或晃动导致受损的问题。

同样的技术手段后来也被广泛的应用在各种尺寸的光罩储存或传送盒中。通过类似的技术手段保定光罩，减少其因物理碰撞而受损的机会。然而，类似的固持件仍具有一定的缺点。如硅胶或橡胶在使用久了之后，和光罩直接接触一段时间，容易造成黏滞于光罩上剥落，甚至是印痕于光罩的问题。然而，改用其他阻尼材料的效果，应用在光罩的固持作用时，其功效也不佳。

发明内容

为解决背景技术所提到的问题，本发明提供了一种光罩盒及其固持件。首先，所述固持件主要包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。其中，所述至少一条状支持件设于所述支持本体上，所述弹性本体具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。而所述至少一固定孔设于所述支持本体及所述弹性本体上。最后所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。

基于本发明固持件的选用，本发明应用的光罩盒主要包括一上盖、一下盖以及至少一固持件。其中所述下盖与所述上盖配对密合形成一内表面，而所述至少一固持件设于所述内表面。

在所述光罩盒中，每个所述固持件包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。所述至少一条状支持件设于所述支持本体上，所述弹性本体具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。而所述至少一固定孔设于所述支持本体及所述弹性本体上。

以上对本发明的简述，目的在于对本发明的数种面向和技术特征作一基本说明。发明简述并非对本发明的详细表述，因此其目的不在特别列举本发明的关键性或重要组件，也不是用来界定本发明的范围，仅为以简明的方式呈现本发明的数种概念而已。

附图说明

图1是本发明实施例固持件的结构示意图；

图2是本发明实施例支持本体和条状支持件的结构示意图；

图3是本发明实施例光罩盒的外观结构示意图；

图4是本发明实施例固持件的设置位置示意图；

图5是本发明实施例抵持光罩的剖面结构图。

附图标号说明：

10 固持件

100 支持本体

101 条状支持件

101a 条状支持件

101b 条状支持件

102 弹性本体

103 开口

104a 固定孔

104b 固定孔

105 稳定肋

106 稳定翼

200 光罩盒

201 上盖

202 下盖

203 内表面

204 卡榫槽

R 光罩

具体实施方式

为能了解本发明的技术特征及实用功效，并可依照说明书的内容来实施，现在进一步以如图式所示的较佳实施例来说明，详细说明如后：

请同时参照图1与图2，图1是本发明实施例固持件的结构示意图；图2是本发明实施例支持本体和条状支持件的结构示意图。

如图1所示，图1中本实施例的固持件10主要包括支持本体100、至少一条状支持件101、弹性本体102以及至少一固定孔104a。其中，至少一条状支持件101设于支持本体100上，而弹性本体102具有至少一开口103，所述弹性本体102包覆支持本体100并使每个条状支持件101超出每个开口103向上延伸一凸出部。如此一来，当条状支持件101抵住光罩R(可先参照图5)时，便不会与弹性本体102产生物理接触。

而至少一固定孔104b及至少一固定孔104a依序设于支持本体100(图2)及弹性本体102(图1)上。而固持件10通过前述的至少一固定孔(104a及104b)设于光罩盒200内(可先参照图4及图5)。

在本实施例中，弹性本体102的材质可以是硅胶或橡胶，至于支持本体100的材质可以是塑料。更进一步来说，本实施例中支持本体100所选用的塑料材质为聚醚醚酮(Polyaryletherketone,PEEK)；而弹性本体102的橡胶为热塑性橡胶(Thermo-Plastic-Rubber,TPR)。如图1所示，本实施例中的弹性本体102周缘上更设有至少一稳定肋105的至少一稳定翼106的其组合。

在图1的实施例中，由于支持本体100及其上条状支持件101所选用的塑料材质为聚醚醚酮(Polyaryletherketone,PEEK)之故，因此可以发挥既能抵持光罩R(参照图5)且又耐磨，避免产生微小粒子的功效。此外，由于支持本体100被弹性本体102所包覆，通过弹性本体102本身材质的阻尼特性，可以有效的减缓支持本体100的至少一条状支持件101抵持的光罩R因晃动、碰撞，进而产生的损害。

请同时参照图3与图4，图3是本发明实施例光罩盒的外观结构示意图；图4是本发明实施例固持件的设置位置示意图。

如图3所示，图3的实施例中展示了应用图1实施例固持件10的光罩盒200。所述光罩所述光罩盒200主要包括上盖201、下盖202以及图1中的至少一固持件10。接着如图3及4所示，下盖202与所述上盖201配对密合形成内表面203(图4仅举上盖201的内表面203为例)，而至少一固持件10设于内表面203。

在本实施例中，光罩盒200为光罩储存盒，更进一步来说为大尺寸光罩盒，且所述大尺寸光罩盒更可以用于承载光罩R(如图5中所示的板状薄片)。所述，光罩R尺寸规格为长800毫米(mm)且宽介于920-960毫米(mm)之间。当然，在其他有可能的实施样态中，所述光罩所述光罩盒还可以是光罩传送盒或极紫外光光罩盒(EUV Pod)。

以图4的实施例来说，作为光罩盒200的大尺寸光罩盒，其内表面203四周缘各设有至少一卡榫槽204，且每个固持件10通过至少一固定孔(104a或104b)固定于每个卡榫槽204中。

请参照图5，图5是本发明实施例抵持光罩的剖面结构图。如图5所示，在本实施例中，当光罩盒200的上盖201及下盖202盖合，并使设于其内表面203四周缘的固持件10上下夹持光罩R的时候，会由上盖201的条状支持件101a及下盖202的条状支持件101b来夹持光罩R。由于本实施例的条状支持件101a及条状支持件101b的材质采用聚醚醚酮(Polyaryletherketone,PEEK)之故，可以避免因与光罩R接触而容易产生微小粒子的问题。

此外，由于聚醚醚酮(Polyaryletherketone,PEEK)的材料特性，更可直接避免如传统技术里面产生黏滞于光罩R上，甚至是剥落等问题。而由图5的剖面更可看到，当固持件10被固定于卡榫槽204中时，弹性本体102可以对支持本体100和条状支持件101b提供有效的阻尼手段，大幅减少因为搬运时晃动或碰撞进而损伤光罩R的问题。

此外，本实施例为了进一步防止固持件10自卡榫槽204掉落或剥落，除了通过弹性本体102及支持本体100(如图2)上的孔洞104加以固定之外，更在弹性本体102上设有稳定肋105。如图5所示，在本实施例中，稳定肋105会镶嵌在卡榫槽204的侧壁中，大幅增加弹性本体102和卡榫槽204的摩擦力，让固持件10更不容易因为外力而自卡榫槽204中脱落或剥落。

此外，稳定肋105的设计更有助于工业制造上的脱模作业，无论是使用或制造都能带来相当程度进步性的技术特征。同样的，如图1所示的稳定翼106也具有同样的功能。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，不能以此限定本发明实施的范围，即依本发明申请专利范围及说明内容所作的简单变化与修饰，皆仍属本发明涵盖的范围内。