阅读说明：本技术 一种匀胶显影设备使用的高精度胶泵 (High-precision glue pump for glue homogenizing and developing equipment ) 是由 施科科 王冲 于 2020-04-13 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种匀胶显影设备使用的高精度胶泵,半导体加工领域；匀胶显影设备使用的高精度胶泵包括：驱动气缸、连接杆、风囊、壳体、端盖、第一单向阀和第二单向阀；驱动气缸与连接杆的第一端固定连接,风囊与连接杆的第二端固定连接,壳体罩设于风囊外围,驱动气缸通过端盖与壳体固定连接；第一单向阀固定于壳体进料口,第二单向阀固定于壳体出料口；当驱动气缸驱动推动连接杆往复运动时,连接杆带动风囊在壳体运动；本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵通过单向阀的设计,保证了胶水流动方向的准确性,使喷胶机每次喷胶都能达到一定了喷胶量,提高了喷胶量的精度,同时也避免了首次喷胶量不足需要二次喷胶的过程,减少了胶水的浪费。(The invention discloses a high-precision glue pump used for a glue homogenizing and developing device, belonging to the field of semiconductor processing; the high-precision glue pump used by the spin coating developing equipment comprises: the air conditioner comprises a driving cylinder, a connecting rod, an air bag, a shell, an end cover, a first one-way valve and a second one-way valve; the driving cylinder is fixedly connected with the first end of the connecting rod, the air sac is fixedly connected with the second end of the connecting rod, the shell is covered on the periphery of the air sac, and the driving cylinder is fixedly connected with the shell through an end cover; the first one-way valve is fixed at the feed inlet of the shell, and the second one-way valve is fixed at the discharge outlet of the shell; when the driving cylinder drives the connecting rod to reciprocate, the connecting rod drives the air sac to move in the shell; the high-precision glue pump used by the glue homogenizing and developing equipment ensures the accuracy of the glue flowing direction through the design of the one-way valve, so that the glue spraying amount of the glue spraying machine can reach a certain glue spraying amount each time, the precision of the glue spraying amount is improved, meanwhile, the process of spraying glue for the second time when the glue spraying amount is insufficient for the first time is avoided, and the waste of the glue is reduced.)

一种匀胶显影设备使用的高精度胶泵

技术领域

本发明半导体加工领域，尤其涉及一种匀胶显影设备使用的高精度胶泵。

背景技术

在半导体行业中，光刻工艺应用非常广泛。光刻的基本工艺是由光刻胶涂覆、曝光、显影等步骤构成。光刻胶本身能以液态的形式存在。设备在涂覆光刻胶时对光刻胶的均匀性非常重要。对胶泵的性能、精度要求都非常高。

如中国发明专利CN 105834069A所公开的一种电动喷胶装置及方法，所述电动喷胶装置包括施胶喷头、电动喷胶泵和盛胶瓶，所述施胶喷头与电动喷胶泵上的施胶喷头接口连接相通，所述盛胶瓶与电动喷胶泵上的输胶管接口连接相通；所述施胶喷头包括相互连接的喷头外罩、喷头内罩，所述喷头外罩与喷头内罩之间形成空腔，在喷头内罩上开设喷胶孔。

上述现有技术的喷胶机结构无法完成对光刻胶使用量的准确控制。

发明内容

一、要解决的技术问题

本发明的目的是针对现有技术所存在的上述问题，特提供一种匀胶显影设备使用的高精度胶泵，解决现有喷胶泵无法对光刻胶使用量的准确控制的问题。

二、技术方案

为解决上述技术问题，本发明提供一种匀胶显影设备使用的高精度胶泵，包括：驱动气缸、连接杆、风囊、壳体、端盖、第一单向阀和第二单向阀；驱动气缸与连接杆的第一端固定连接，风囊与连接杆的第二端固定连接，壳体罩设于风囊外围，驱动气缸通过端盖与壳体固定连接；第一单向阀固定于壳体进料口，第二单向阀固定于壳体出料口；当驱动气缸驱动推动连接杆往复运动时，连接杆带动风囊在壳体运动。

其中，驱动气缸与端盖之间设有第一密封圈。

其中，第一单向阀或第二单向阀与壳体的连接处设有第二密封圈。

其中，第一单向阀和第二单向阀均包括阀体、球体、球座和挡圈；球体、球座和挡圈均安装于阀体内；球座设有与球体弧度相同的球面凹孔；球体嵌于球面凹孔内。

其中，挡圈上设有若干喷胶孔。

其中，阀体包括连接口和输送口，连接口与壳体连接，输送口连接有输送管。

其中，第一单向阀中的球座的球面凹孔的球面端朝向阀体的输送口。

其中，第二单向阀中的球座的球面凹孔的开口端朝向阀体的输送口。

其中，第一单向阀和第二单向阀均设有两个球体和两个球座。

三、本发明的有益效果

与现有技术相比，本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵具有如下有益效果；

通过单向阀的设计，保证了胶水流动方向的准确性，使喷胶机每次喷胶都能达到一定了喷胶量，提高了喷胶量的精度，同时也避免了首次喷胶量不足需要二次喷胶的过程，减少了胶水的浪费；

通过挡圈上设置喷胶孔的设计，使胶水在经过挡圈的时候被喷胶孔均匀的细化，提高了的均匀度；

通过两个球体和两个球座配合的设计，使单向阀进一步提高的逆向截流的效果，进一步提高了胶水流向的准确性。

附图说明

图1为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵的整体图；

图2为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵的爆炸图；

图3为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵实施例一的第一单向阀或第二单向阀的爆炸图；

图4为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵实施例一的第一单向阀全剖图；

图5为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵实施例一的第二单向阀全剖图；

图6为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵的挡圈结构示意图；

图7为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵的球座示意图；

图8为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵的阀体示意图；

图9为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵实施例二的第一单向阀或第二单向阀的爆炸图；

图10为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵实施例二的第一单向阀全剖图；

图11为本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵实施例二的第二单向阀全剖图；

图中：1为驱动气缸；2为连接杆；3为风囊；4为壳体；5为端盖；6为第一单向阀；7为第二单向阀；8为第一密封圈；9为第二密封圈；101为阀体；102为球体；103为球座；104为挡圈；106为球面凹孔；1041为喷胶孔；1011为连接口；1012为输送口。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

实施例一

本实施例的匀胶显影设备使用的高精度胶泵的结构如图1至8所示包括：驱动气缸1、连接杆2、风囊3、壳体4、端盖5、第一单向阀6和第二单向阀7

第一单向阀6固定于壳体4进料口；第二单向阀7固定于壳体4的出料口；第一单向阀6和第二单向阀7与壳体4的连接处设有第二密封圈9，第一单向阀6和第二单向阀7与壳体4起到密封作用，防止胶水从连接处渗漏；胶水从第一单向阀6进入壳体4后无法在从第一单向阀6反向流出，壳体4内的胶水从第二单向阀7流出后也无法从第二单向阀7反向流入壳体4。

驱动气缸1与连接杆2的第一端固定连接，风囊3与连接杆2的第二端固定连接，壳体4罩设于风囊3外围，驱动气缸1通过端盖5与壳体4固定连接，驱动气缸1与端盖5连接处设有第一密封圈8，防止胶水从驱动气缸1与端盖5连接处渗漏。

驱动气缸1拉动连接杆2使连接杆2拉动风囊3压缩，将壳体4内的空气排出，使壳体4的气压小于外界气压，此时第一单向阀6被打开，第二单向阀7关闭，胶水从第一单向阀6进入壳体4内；

驱动气缸1推动连接杆2使连接杆2推动风囊3张开，对壳体4内的胶水进行挤压，此时第一单向阀6被关闭，第二单向阀7开启，壳体4内的胶水从第二单向阀7挤出，驱动气缸1每往复运动一次就完成一个喷胶过程。

第一单向阀6和第二单向阀7均包括阀体101、球体102、球座103和挡圈104；球体102、球座103和挡圈104均安装于阀体101内；

球座103设有与球体102弧度相同的球面凹孔106；球体102嵌于球面凹孔106内，挡圈104上设有若干喷胶孔1041，胶水经过挡圈104使被喷胶孔1041细化，使胶水的流动更加均匀。阀体101包括连接口1011和输送口1012，连接口1011与壳体4连接，输送口1012连接有输送管105；

第一单向阀6中的球座103的球面凹孔106的球面端1061朝向阀体101的输送口1012，这样风囊3压缩，壳体4的气压小于外界气压时，第一单向阀6中的球体102与球面凹孔106分离，使第一单向阀6处于开启状态，胶水就可以进入壳体4内，而风囊3张开，对壳体4内的胶水进行挤压时，在压力的作用下第一单向阀6中的球体102与球面凹孔106贴合，第一单向阀6处于关闭状态，此时胶水就无法从第一单向阀6流出。

第二单向阀7中的球座103的球面凹孔106的开口端1062朝向阀体101的输送口1012，这样风囊3压缩，壳体4的气压小于外界气压时，第二单向阀7中的球体102与球面凹孔106贴合，使第二单向阀7处于关闭状态，避免了胶水从第二单向阀7中回流，而风囊3张开，对壳体4内的胶水进行挤压时，第二单向阀7中的球体102与球面凹孔106分离，第二单向阀7处于开启状态，壳体4胶水从第二单向阀7流出。

实施例二

如图9至11所示，为了进一步提高第一单向阀6和第二单向阀7的单向密封性，可以在上述实施例一的基础上，在第一单向阀6和第二单向阀7内设置两个球体102和两个球座103，每个球体102嵌于对应球座103的球面凹孔106内，单个球体102与对应球座103就能组成一个单向密封组件，因此本实施例中的第一单向阀6和第二单向阀7都具有两个单向密封组件，因此也具有更高的单向密封性，有效的防止了第一单向阀6和第二单向阀7出现胶水回流的现象，进一步提高了喷胶机的喷胶精度。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。