阅读说明：本技术 掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法 (Cleaning device, cleaning system and cleaning method for mask plate ) 是由 王子润 曾望明 李春庭 郑安辉 侯德尧 于 2020-06-03 设计创作，主要内容包括：本申请提供了一种掩膜板的清洁装置、清洁系统和清洁方法。该掩膜板的清洁装置包括：清洁棒、支架、外壳、推杆以及驱动机构；清洁棒包括棒体和粘头,粘头设置于棒体的一端；外壳为两端开口的中空筒,外壳固定于支架上,清洁棒内置于外壳内部；推杆的一端与棒体远离粘头的一端连接,推杆的另一端与驱动机构的动力输出端连接,推杆在驱动机构的驱动下推动清洁棒相对外壳进行上下移动,使得粘头、或者粘头和棒体的一部分伸出外壳。本申请实现了通过粘头的粘性来修复掩膜板上的各种形状和种类的污染物,保证金属掩膜板的洁净,能有效提高产品良率。(The application provides a cleaning device, a cleaning system and a cleaning method for a mask plate. This cleaning device of mask includes: the cleaning rod, the bracket, the shell, the push rod and the driving mechanism; the cleaning rod comprises a rod body and a sticky head, wherein the sticky head is arranged at one end of the rod body; the shell is a hollow cylinder with openings at two ends, the shell is fixed on the bracket, and the cleaning rod is arranged in the shell; one end of the push rod is connected with one end, far away from the sticky head, of the rod body, the other end of the push rod is connected with a power output end of the driving mechanism, and the push rod pushes the cleaning rod to move up and down relative to the shell under the driving of the driving mechanism, so that the sticky head or a part of the sticky head and the rod body extends out of the shell. The application realizes that pollutants of various shapes and types on the mask plate are repaired through the viscosity of the sticky head, ensures the cleanness of the metal mask plate and can effectively improve the yield of products.)

掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法

技术领域

本申请涉及OLED显示技术领域，具体而言，涉及一种掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法。

背景技术

AMOLED(Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode，有源矩阵有机发光二极体)显示屏广泛用于智能手机、平板电脑、电脑和电视等终端产品。在AMOLED蒸镀工艺中，保证金属掩膜板的洁净度对产品的良率提升至关重要。

目前，为保持金属掩膜板的洁净度，可以通过激光修复掩膜板表面的污染物Particle，例如清除金属掩膜板表面的灰尘或者颗粒等。但是由于金属掩膜板在长期循环使用过程中，且所处环境较复杂时，会导致掩膜板表面污染物Particle的形状和种类较为复杂，只通过单一的激光功能来修复效果并不理想，从而影响产品的良率提升。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法，用以解决现有技术存在掩膜板修复效果不理想的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种掩膜板的清洁装置，包括清洁棒、支架、外壳、推杆以及驱动机构；

清洁棒包括棒体和粘头，粘头设置于棒体的一端；

外壳为两端开口的中空筒，外壳固定于支架上，清洁棒至少部分容纳于外壳内且与外壳相分离；

推杆的一端与棒体远离粘头的一端连接，推杆的另一端与驱动机构的动力输出端连接，推杆用于在驱动机构的驱动下推动清洁棒相对外壳移动，使得粘头、或者粘头和棒体的一部分伸出外壳。

在其中一个实施例中，推杆包括推杆本体和推杆连接部，推杆本体容纳于外壳内且与外壳相分离，推杆本体与棒体远离粘头的一端连接，外壳一端侧壁设置有滑孔，推杆连接部从滑孔伸出，推杆连接部与第一驱动机构的动力输出端连接。

在其中一个实施例中，所述掩膜板的清洁装置还包括弹簧。

外壳内固定设置有挡板，挡板中开设有供清洁棒穿过的通孔，弹簧设置于挡板与推杆本体之间。

在其中一个实施例中，驱动机构包括连接杆、丝杆和电机，

电机的动力输出轴与丝杆的一端固定连接，丝杆设置有外螺纹，连接杆的一端设置有与外螺纹相适配的内螺纹孔，连接杆远离内螺纹孔的一端作为驱动机构的动力输出端。

在其中一个实施例中，丝杆的两端均设置有挡止部。

在其中一个实施例中，连接杆远离内螺纹孔的一端延伸形成嵌合连接部，嵌合连接部设置有容纳腔，外壳靠近滑孔一端位于容纳腔内，嵌合连接部与推杆连接部连接。

在其中一个实施例中，外壳靠近滑孔的一端设置有壳盖，壳盖位于容纳腔内且与外壳可拆卸连接。

第二个方面，本申请实施例提供了一种清洁系统，清洁系统包括控制器、移动机构以及如上述的掩膜板的清洁装置；

移动机构的控制端与控制器通信连接，移动机构的移动端与掩膜板的清洁装置中的支架固定连接，移动机构用于在控制器的控制下，将掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的上方；

掩膜板的清洁装置中驱动机构的控制端与控制器通信连接，驱动机构用于在控制器的控制下，移动位于掩膜板上方的掩膜板的清洁装置中清洁棒的粘头，使得粘头与掩膜板接触。

在其中一个实施例中，所述清洁系统还包括：

清洁棒的清洁装置，包括清洁带和动力轮组；清洁带套设于动力轮组外围，用于在动力轮组的驱动下，对移动至设计位置处的掩膜板的清洁装置的粘头进行清洁。

第三个方面，本申请实施例提供了一种清洁方法，采用如上述的清洁系统，清洁方法包括：

在掩膜板清洁模式下，控制移动机构将掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的上方；清洁系统包括掩膜板的清洁装置；

控制位于掩膜板上方的掩膜板的清洁装置中的驱动机构，移动掩膜板的清洁装置中清洁棒的粘头，使得粘头与掩膜板接触。

在其中一个实施例中，所述清洁方法还包括：

在清洁棒清洁模式下，控制移动机构将掩膜板的清洁装置移动至清洁棒的清洁装置的上方；清洁系统还包括清洁棒的清洁装置；

控制位于清洁棒的清洁装置上方的驱动机构，移动清洁棒的粘头到设计位置处，以使清洁棒的粘头与清洁带相接触；通过动力轮组带动所清洁带转动。

本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：

本申请实施例提供的掩膜板的清洁装置通过设置清洁棒、支架、外壳、推杆、以及驱动机构，推杆在驱动机构的驱动作用下带动清洁棒在外壳中伸缩移动，使得清洁棒中的粘头伸出外壳与掩膜板接触，通过粘头的粘性修复掩膜板上的各种形状和种类的污染物，保证掩膜板的洁净，能有效提高产品良率。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本申请实施例一实施例中掩膜板的清洁装置的剖视结构示意图；

图2为本申请实施例一实施例中清洁系统的部分结构示意图；

图3为本申请实施例一实施例中清洁方法清洁掩膜板的方法流程图；

图4为本申请实施例一实施例中清洁方法清洁粘头的方法流程图。

附图标记说明：

1-清洁棒、11-棒体、12-粘头；

2-支架；

3-外壳、31-滑孔、32-壳盖；

4-推杆、41-推杆本体、42-推杆连接部；

5-驱动机构、51-连接杆、511-嵌合连接部、521-挡止部、52-丝杆、53-电机；

6-弹簧；

7-清洁带；

8-动力轮组。

具体实施方式

下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。

首先对本申请涉及的几个名词进行介绍和解释：OLED(OrganicLight-EmittingDiode)，又称为有机电激光显示、有机发光半导体。AMOLED(Active-Matrix OrganicLight-Emitting Diode)，即有源矩阵有机发光二极体。蒸镀工艺是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。掩膜板是蒸镀制程中用于图形定义的治具，可分为精密金属掩膜板(Fine MetalMask，简称FMM)和通用金属掩模板(Common Metal Mask，简称CMM)。

本申请的发明人进行研究发现，掩膜板的洁净度是对产品的良率起到至关重要的作用，而掩膜板在使用过程中，由于重复使用以及环境复杂等原因，掩膜板表面会出现形状和种类复杂的Particle，单纯使用激光来修复掩膜板，效果不理想，影响产品的良率提升。

本申请提供的掩膜板的清洁装置、清洁系统以及清洁方法，旨在解决现有技术的如上技术问题。

下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例中不再赘述。下面将结合附图，对本申请的实施例进行描述

本申请实施例提供了一种掩膜板的清洁装置，该掩膜板的清洁装置的结构示意图如图1所示，包括：包括清洁棒1、支架2、外壳3、推杆4以及驱动机构5；

清洁棒1包括棒体11和粘头12，粘头12设置于棒体11的一端；

外壳3为两端开口的中空筒，外壳3固定于支架2上，清洁棒1至少部分容纳于外壳3内且与外壳3相分离；

推杆4的一端与棒体11远离粘头12的一端连接，推杆4的另一端与驱动机构5的动力输出端连接，推杆4用于在驱动机构5的驱动下推动清洁棒1相对外壳3移动，使得粘头12、或者粘头12和棒体11的一部分伸出外壳3。

本申请实施例提供的掩膜板的清洁装置中外壳3设置于支架2上，在一些实施例中，外壳3还可以设计成与支架2可拆卸连接，以方便更换外壳3，清洁棒1容纳于外壳3内，且清洁棒1与外壳3相分离，驱动机构5的动力输出轴通过推杆4与棒体11连接，使得推杆4能在驱动机构5的驱动下带动清洁棒1相对于外壳3移动，进而使得粘头12从外壳3内伸出，或者使得粘头12和棒体11的一部分从外壳3内伸出。为降低生产成本，棒体11可以选用塑料材质制成，粘头12可以采用具有粘性的材料制成，例如海绵材质、粘性橡胶或者粘性硅胶等。粘头12与掩膜板接触，从而通过粘头12的粘性带走掩膜板上的各种形状和种类的污染物，保证掩膜板的洁净，能有效提高产品良率。

在其中一个可行的实施方式中，推杆4包括推杆本体41和推杆连接部42，推杆本体41容纳于外壳3内且与外壳3相分离，推杆本体41与棒体11远离粘头12的一端连接，外壳3一端侧壁设置有滑孔31，推杆连接部42从滑孔31伸出，推杆连接部42与驱动机构5的动力输出端连接。

在实施时，可以在外壳3的一端侧壁上设置滑孔31，推杆连接部42从滑孔31伸出，推杆本体41容纳于外壳3内，滑孔31能对推杆连接部42进行限位，进而实现对清洁棒1的移动行程的限制功能，避免清洁棒1从外壳3伸出过长甚至完全伸出而损坏清洁棒1或掩膜板的情况，提高使用安全性。

在一些可选实施例中，掩膜板的清洁装置还包括弹簧6，外壳3内固定设置有挡板32，挡板32中开设有供清洁棒1穿过的通孔，弹簧6设置于挡板32与推杆本体41之间。通过在推杆本体41和挡板32之间设置有弹簧6，当驱动机构5驱动推杆4移动以带动清洁棒1从外壳3伸出时，推杆4与挡板32之间的空间压缩变小，此时弹簧6被压缩产生弹性形变，从而降低粘头12与掩膜板表面之间的压力，防止清洁棒1与掩膜板之间压力过大而损坏清洁棒1或者掩膜板。

在一些可选实施例中，驱动机构5包括连接杆51、丝杆52和电机53，电机53的动力输出轴与丝杆52的一端固定连接，丝杆52设置有外螺纹，连接杆51的一端设置有与外螺纹相适配的内螺纹孔，连接杆51远离内螺纹孔的一端作为驱动机构5的动力输出端。连接杆51远离内螺纹孔的一端延伸形成嵌合连接部511，嵌合连接部511设置有容纳腔，外壳3靠近滑孔31一端位于容纳腔内，嵌合连接部511与推杆连接部42连接。在一些可选实施例中，外壳3靠近滑孔31的一端设置有壳盖32，壳盖32位于容纳腔内且与外壳31可拆卸连接。

在实施时，为提高精度，电机53可以选用伺服电机，通过伺服电机输出动力驱动丝杆52旋转，丝杆52插入连接杆51的内螺纹孔内，且丝杆的外螺纹和内螺纹孔的内螺纹啮合，外壳3设置于支架2上，外壳3一端设置于嵌合连接部511的容纳腔内，使得连接杆51不能随丝杆52旋转，当伺服电机驱动丝杆52旋转时，连接杆51在螺纹作用下进行上下移动，进而驱动推杆4带动清洁棒1移动。在一些可选实施例中，丝杆52的两端均设置有挡止部521，从而防止连接杆51与丝杆52相互脱离。

在一些可选实施例中，基于同一发明构思，本申请实施例提供了一种清洁系统，清洁系统包括控制器、移动机构以及如上述的掩膜板的清洁装置；

移动机构的控制端与控制器通信连接，移动机构的移动端与掩膜板的清洁装置中的支架2固定连接，移动机构用于在控制器的控制下，将掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的上方；

掩膜板的清洁装置中驱动机构5的控制端与控制器通信连接，驱动机构5用于在控制器的控制下，移动位于掩膜板上方的掩膜板的清洁装置中清洁棒1的粘头12，使得粘头12与掩膜板接触。

在一些实施例中，清洁系统包括控制器和如上述的掩膜板的清洁装置，掩膜板的清洁装置中的驱动机构5的控制端与控制器通信连接，在实施时，掩膜板的清洁装置可以安装固定于掩膜板流水线上，通过流水线将掩膜板输送至清洁装置的下方，驱动机构5在控制器的控制下，移动清洁棒1向下移动，使得粘头12与掩膜板接触对掩膜板上的污染物进行修复。还可以设置移动机构，移动机构在控制器的控制下，移动掩膜板的清洁装置至掩膜板的上方，进而由驱动机构5在控制器的控制下，移动清洁棒1向下移动，使得粘头12与掩膜板接触对掩膜板上的污染物进行修复，通过粘头12的粘性修复掩膜板上的各种形状和种类的污染物，保证掩膜板的洁净，能有效提高产品良率。

在一些可选实施例中，请参阅图2，清洁系统还包括：

清洁棒的清洁装置，包括清洁带7和动力轮组8；清洁带7套设于动力轮组8外围，用于在动力轮组8的驱动下，对移动至设计位置处的掩膜板的清洁装置的粘头12进行清洁。

在实施时，清洁棒的清洁装置包括清洁带7和动力轮组8，清洁带7套设于动力轮组8外围，当动力轮组8转动时能带动清洁带7旋转，在一些实施例中，设计位置为清洁带7上，即将粘头12移动至清洁带7上，清洁带7在动力轮组8的驱动下利用摩擦力将粘头12上的污染物带走，达到粘头12清洁的目的，实现清洁棒1的自清洁功能，使用方便。

在一些可选实施例中，基于同一发明构思，本申请实施例提供了另一种清洁方法，采用如本申请实施例第二方面提供的清洁系统，该方法的流程示意图如图3所示，包括如下步骤：

步骤S100：在掩膜板清洁模式下，控制移动机构将掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的上方；清洁系统包括掩膜板的清洁装置。

步骤S200：控制位于掩膜板上方的掩膜板的清洁装置中的驱动机构5，移动掩膜板的清洁装置中清洁棒1的粘头12，使得粘头12与掩膜板接触。

本申请实施例提供的清洁方法先通过在掩膜板清洁模式下，控制移动机构将掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的上方，清洁系统包括控制器、移动机构和掩膜板的清洁装置，掩膜板的清洁装置中的驱动机构5的控制端与控制器通信连接，移动机构的控制端与控制器通信连接，移动机构在控制器的控制下，移动掩膜板的清洁装置至掩膜板的上方，进而由驱动机构5在控制器的控制下，移动清洁棒1向下移动，使得粘头12与掩膜板接触对掩膜板上的污染物进行修复，通过粘头12的粘性修复掩膜板上的各种形状和种类的污染物，保证掩膜板的洁净，能有效提高产品良率。

在其中一个可行的实施方式中，如图4所示，本申请实施例的清洁方法还包括：

步骤S300：在清洁棒清洁模式下，控制移动机构将掩膜板的清洁装置移动至清洁棒的清洁装置的上方；清洁系统还包括清洁棒的清洁装置；

步骤S400：控制位于清洁棒的清洁装置上方的驱动机构5，移动清洁棒1的粘头12到设计位置处，以使清洁棒1的粘头12与清洁带7相接触；通过动力轮组8带动所清洁带7转动。

上述清洁系统还包括清洁棒的清洁装置，清洁棒的清洁装置包括清洁带7和动力轮组8，清洁带7套设于动力轮组8外围，当动力轮组8转动时能带动清洁带7旋转，在清洁棒清洁模式下，移动机构在控制器的控制下，将掩膜板的清洁装置移动至清洁棒的清洁装置的上方，驱动机构5在控制器的控制下，移动清洁棒1的粘头12移动至清洁带7上，清洁带7在动力轮组8的驱动下利用摩擦力将粘头12上的污染物带走，达到粘头12清洁的目的，实现清洁棒1的自清洁功能，使用方便。

应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：

通过设置清洁棒1、支架2、外壳3、推杆4以及驱动机构5，推杆4在驱动机构5的驱动作用下带动清洁棒1在外壳3中伸缩移动，使得清洁棒1中的粘头12伸出外壳3与掩膜板接触，通过粘头12的粘性修复掩膜板上的各种形状和种类的污染物，保证掩膜板的洁净，能有效提高产品良率。另一方面，通过设置清洁棒1的自动清洁装置，清洁装置包括清洁带7和动力轮组8，清洁带7套设于动力轮组8外围，当动力轮组8转动时能带动清洁带7旋转，在清洁棒清洁模式下，移动机构在控制器的控制下，将掩膜板的清洁装置移动至清洁棒的清洁装置的上方，驱动机构5在控制器的控制下，移动清洁棒1的粘头12移动至清洁带7上，清洁带7在动力轮组8的驱动下利用摩擦力将粘头12上的污染物带走，实现对粘头12清洁的目的，实现清洁棒1的自清洁功能，使用方便。

本技术领域技术人员可以理解，本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案可以被交替、更改、组合或删除。进一步地，具有本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的其他步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。进一步地，现有技术中的具有与本申请中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

应该理解的是，虽然附图的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，其可以以其他的顺序执行。而且，附图的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，其执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其他步骤或者其他步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。