用于传感器的应力隔离框架

文档序号:1343343 发布日期:2020-07-17 浏览:14次 >En<

阅读说明:本技术 用于传感器的应力隔离框架 (Stress isolation frame for sensor ) 是由 多鲁克·森卡尔 林阳 霍里·乔哈里-加勒 约瑟夫·西格 于 2018-12-03 设计创作,主要内容包括:一种用于降低传感器的封装应力灵敏度的设备,包括:一个或更多个用于附接到基底的锚定点;刚性框架结构,其被配置为至少部分地支撑传感器;和在每个锚定点和刚性框架结构之间的柔顺元件。还公开了一种用于支撑微机电(MEMS)传感器的设备,该设备包括用于附接到基底的四个锚定点;刚性框架结构,其被配置为支撑MEMS传感器;和在每个锚定点和刚性框架结构之间的蟹脚型悬挂元件,其中蟹脚型悬挂元件是柔顺的。还提供了一种用于降低传感器的封装应力灵敏度的方法。(An apparatus for reducing package stress sensitivity of a sensor, comprising: one or more anchor points for attachment to a substrate; a rigid frame structure configured to at least partially support the sensor; and a compliant element between each anchor point and the rigid frame structure. Also disclosed is an apparatus for supporting a microelectromechanical (MEMS) sensor, the apparatus comprising four anchor points for attachment to a substrate; a rigid frame structure configured to support a MEMS sensor; and a crab-foot type suspension element between each anchor point and the rigid frame structure, wherein the crab-foot type suspension element is compliant. A method for reducing package stress sensitivity of a sensor is also provided.)

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