具体实施方式

以下，基于附图所示的实施方式，详细说明本发明的一种方式的惯性计测装置、电子设备及移动体。

第一实施方式

图1是示出第一实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。图2是图1中的A-A线剖视图。图3是示出图1所示的惯性计测装置的变形例的俯视图。另外，为了便于说明，在各图中将相互正交的三轴图示为X轴、Y轴和Z轴。将与X轴平行的方向也称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向也称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向也称为“Z轴方向”。此外，将Z轴方向正侧也称为“上”，将Z轴方向负侧也称为“下”。

惯性计测装置1具有：基板2，具有相互处于正反关系的作为第一面的上表面21和作为第二面的下表面22；配置在基板2的上表面21的四个惯性传感器3、4、5、6和电路元件7；盖8，覆盖它们并与基板2的上表面21接合；以及作为端子的多根引线9，配置在基板2的下表面22并从基板2延伸。如图2所示，这种惯性计测装置1经由多根引线9安装于安装对象物Q，在安装的状态下，基板2浮置于安装对象物Q。即，在安装对象物Q与基板2之间形成有间隙G1。由此，难以从安装对象物Q向基板2传递应力，惯性计测装置1的特性稳定。

在从Z轴方向的俯视观察下，基板2为大致正方形。这样的基板2支承惯性传感器3、4、5、6、电路元件7和多根引线9，并且将惯性传感器3、4、5、6、电路元件7和多根引线9电连接。基板2是印刷基板，例如能够使用环氧基板、玻璃基板、玻璃环氧基板、陶瓷基板等。如图1和图2所示，形成于基板2的布线具有：端子23，配置在下表面22并与引线9电连接；端子24，配置在上表面21并与惯性传感器3、4、5、6和电路元件7电连接；以及未图示的内部布线，将这些端子23、24电连接，并且经由该布线将惯性传感器3、4、5、6、电路元件7和多根引线9电连接。

惯性传感器3、4、5、6中的惯性传感器3是检测绕X轴的角速度的X轴角速度传感器，惯性传感器4是检测绕Y轴的角速度的Y轴角速度传感器，惯性传感器5是检测绕Z轴的角速度的Z轴角速度传感器，惯性传感器6是分别独立地检测X轴方向的加速度、Y轴方向的加速度和Z轴方向的加速度的三轴加速度传感器。即，本实施方式的惯性计测装置1是六轴复合传感器。但是，作为惯性计测装置1的构成不限定于此，可以省略惯性传感器3、4、5、6中的至少一个，也可以追加其他电子部件。

接着，对惯性传感器3、4、5进行说明。惯性传感器3、4、5是相互相同的构成，其姿态以与各检测轴对应的方式相互倾斜90°而配置。

如图1所示，惯性传感器3具有封装体31和收纳于封装体31的传感器元件34。同样，惯性传感器4具有封装体41和收纳于封装体41的传感器元件44，惯性传感器5具有封装体51和收纳于封装体51的传感器元件54。传感器元件34、44、54例如是具有驱动臂和检测臂的水晶振动元件。若在使驱动臂驱动振动的状态下施加角速度，则通过科里奥利力(Coriolisforce)在检测臂励振检测振动，而能够基于由该检测振动在检测臂产生的电荷来求出角速度。这样的惯性传感器3、4、5经由未图示的焊料与基板2的上表面21接合并与端子24电连接。

另外，惯性传感器3、4、5的构成没有特别限定，只要能够发挥其功能即可。例如，传感器元件34、44、54不限定于水晶振动元件，例如也可以是硅结构体，是基于静电电容的变化来检测角速度的构成。此外，在本实施方式中，惯性传感器3、4、5是相互相同的构成，但是并不限定于此，也可以是至少一个与其他不同的构成。此外，惯性传感器3也可以是如下结构：不仅能够检测绕X轴的角速度，除了X轴以外还能够检测绕Y轴和Z轴等其他轴的角速度。例如，在惯性传感器3是能够检测绕X轴和Y轴的角速度的构成的情况下能够省略惯性传感器4，在惯性传感器3是能够检测绕X轴、Y轴和Z轴的角速度的构成的情况下能够省略惯性传感器4和惯性传感器5。

惯性传感器6具有封装体61和收纳于封装体61的三个传感器元件64、65、66。传感器元件64是检测X轴方向的加速度的元件，传感器元件65是检测Y轴方向的加速度的元件，传感器元件66是检测Z轴方向的加速度的元件。传感器元件64、65、66是硅结构体，该硅结构体具有固定电极和可动电极，该可动电极在与固定电极之间形成静电电容，并且当接受检测轴方向的加速度时相对于固定电极位移。在这种情况下，能够基于传感器元件64的静电电容的变化来检测X轴方向的加速度，能够基于传感器元件65的静电电容的变化来检测Y轴方向的加速度，能够基于传感器元件66的静电电容的变化来检测Z轴方向的加速度。这样的惯性传感器6经由未图示的焊料与基板2的上表面21接合并与端子24电连接。

另外，作为惯性传感器6的构成没有特别限定，只要能够发挥其功能即可。例如，传感器元件64、65、66不限定于硅结构体，例如也可以是水晶振动元件，是基于由振动产生的电荷来检测加速度的构成。此外，也可以将传感器元件64、65、66分别分开收纳于不同的封装体。

电路元件7具有：驱动/检测电路，驱动惯性传感器3且检测施加于惯性传感器3的绕X轴的角速度；驱动/检测电路，驱动惯性传感器4且检测施加于惯性传感器4的绕Y轴的角速度；驱动/检测电路，驱动惯性传感器5且检测施加于惯性传感器5的绕Z轴的角速度；以及驱动/检测电路，驱动惯性传感器6且检测施加于惯性传感器6的X轴、Y轴和Z轴方向的加速度。这样的电路元件7经由未图示的焊料与基板2的上表面21接合并与端子24电连接。

接着，对盖8进行说明。如图1和图2所示，盖8具有在下表面开口的凹部81，并且在该凹部81内收纳有惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的状态下经由焊料H与基板2的上表面21接合。此外，盖8具有导电性，并经由焊料H与端子24电连接。在驱动惯性计测装置1时，盖8经由端子24与恒定电位连接、在本实施方式中接地。由此，盖8作为屏蔽干扰的护罩而发挥功能，从而惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的特性稳定。另外，作为盖8的构成材料没有特别限定，可以使用各种金属材料。在本实施方式中，盖8由SUS(不锈钢)构成，但是也可以是铝、铜、其他金属材料。

如图1所示，在从Z轴方向的俯视观察下，盖8呈比基板2稍小的大致正方形，其各边的长度方向中央部、即四个侧壁的各个下部经由焊料H与基板2的上表面21接合。即，并非是盖8的下表面的整周与基板2接合而是具有未接合的部分。未与该基板2接合的部分、特别是各角部即相邻的侧壁彼此的交叉部下端与基板2的上表面21分离。即，在盖8的下表面的各角部中，在盖8与基板2之间形成有间隙。由此，由于盖8内没有被密封而连通其内外，因此热量难以滞留在盖8内。因此，例如由于焊料回流而在将惯性计测装置1安装于安装对象物Q时所产生的热量难以滞留在惯性计测装置1内，从而能够降低惯性计测装置1的热损伤。

接着，对多根引线9进行说明。如图1所示，多根引线9分别经由未图示的焊料与基板2的下表面22的外边缘部接合并与端子23电连接。此外，多根引线9遍及基板2的外边缘部的整周而配置。即，多根引线9具有：多根引线9a，沿着基板2的第一外边缘部2a的长度方向以规定间隔分离配置；多根引线9b，沿着基板2的第二外边缘部2b的长度方向以规定间隔分离配置；多根引线9c，沿着基板2的第三外边缘部2c的长度方向以规定间隔分离配置；以及多根引线9d，沿着基板2的第四外边缘部2d的长度方向以规定间隔分离配置。但是，作为引线9的配置没有特别限定。

此外，如图2所示，多根引线9分别从基板2的外边缘部向基板2的外侧延伸，且在其中途向下侧即Z轴方向负侧弯折。通过将引线9设为这种形状，从而在经由引线9将惯性计测装置1安装于安装对象物Q时，容易从安装对象物Q的上表面向上方分离设置基板2。

以上，对惯性计测装置1的基本构成进行简单说明。以下，对各部分的配置进行详细说明。如图1所示，在从Z轴方向的俯视观察下，惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与作为引线9与基板2的连接部分的端子连接部90不重叠，并且位于比端子连接部90更靠向基板2的中央侧的位置。由于通过设为这样的配置，能够使惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与端子连接部90分离，因此例如从安装对象物Q经由引线9传递到基板2的干扰在到达惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前充分衰减，从而该干扰难以传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7。因此，惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的特性稳定，并能够发挥优异的检测精度。此外，通过将惯性传感器3、4、5、6和电路元件7配置在比端子连接部90更靠向基板2的中央侧即内侧，能够实现惯性计测装置1的小型化。另外，在上述“干扰”中例如包括起因于振动、热量、基板2与安装对象物Q的线膨胀系数差而产生的应力等。

另外，作为惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与端子连接部90的分离距离没有特别限定，但是例如优选为在1μm以上且5μm以下左右。由此，由于能够使惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与端子连接部90充分分离，所以干扰衰减效果显著。因此，干扰更难以传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7，能够使惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的特性更稳定。此外，能够抑制惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与端子连接部90的分离距离变得过大，能够有效地抑制惯性计测装置1的大型化。

此外，如图1和图2所示，基板2具有槽29，该槽29在从Z轴方向的俯视观察下配置在惯性传感器3、4、5、6、电路元件7与端子连接部90之间。槽29具有如下功能：使从安装对象物Q经由引线9传递到基板2的干扰在传递到各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前衰减。这样，通过配置槽29，干扰更难以传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7，并且惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的特性更稳定，能够发挥更优异的检测精度。

槽29由在上表面21开口的有底的凹部构成。即，槽29不在下表面22开口。这样，通过使槽29在作为与配置有各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的面相同的面的上表面21开口，从而槽29的干扰衰减效果更显著。此外，通过将槽29设为有底的凹部而不是贯通孔，能够在槽29的底面和下表面22之间拉绕上述内部布线，并增加内部布线、特别是一端与端子24连接的布线的拉绕自由度。此外，能够抑制基板2的机械强度的降低。

如图2所示，作为槽29的深度D没有特别限定，但优选为在基板2的厚度T的1/4以上且3/4以下左右。即，优选为T/4≤D≤3T/4。由此，槽29足够深，能够更可靠且有效地发挥干扰衰减效果。此外，能够抑制槽29过深而基板2的机械强度降低或内部布线的拉绕自由度降低。此外，作为槽29的宽度W没有特别限定，但是例如优选为在0.5μm以上且2μm以下左右。由此，槽29的宽度W足够宽，能够更可靠且有效地发挥干扰衰减效果。此外，能够抑制槽29的宽度W过宽而基板2大型化。

如图1所示，在从Z轴方向的俯视观察下，槽29是包围惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的框状、特别是连续的环状。通过由这种框状的槽29包围惯性传感器3、4、5、6和电路元件7，能够更可靠且有效地使经由引线9传递到基板2的干扰在传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前衰减。另外，在本实施方式中，槽29是一重的环状，但是也可以是两重以上的环状。

槽29的构成没有特别限定，只要配置在惯性传感器3、4、5、6的至少一个与引线9之间即可。例如，图3所示的变形例的槽29具有：第一部分29a，位于引线9a与惯性传感器3、4、5、6之间并沿着Y轴方向延伸；第二部分29b，位于引线9b与惯性传感器3、4、5、6之间并沿着X轴方向延伸；第三部分29c，位于引线9c与惯性传感器3、4、5、6之间并沿着Y轴方向延伸；以及第四部分29d，位于引线9d与惯性传感器3、4、5、6之间并沿着X轴方向延伸，第一部分29a～第四部分29d相互分离而形成。此外，例如也可以从图3所示的变形例中省略第一部分29a～第四部分29d中的一个、两个或三个。

此外，如图1所示，在从Z轴方向的俯视观察下，作为经由焊料H接合基板2和盖8的部分的盖接合部80位于端子连接部90与惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之间。由此，通过将盖接合部80配置在端子连接部90与惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间，能够将经由引线9传递到基板2的干扰在传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前经由盖接合部80释放到盖8。因此，干扰更难以传递到各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7。

另外，在Z轴方向的俯视观察下，槽29位于比盖接合部80更靠向基板2的中央侧的位置。由于基板2的比盖接合部80更靠向内侧的部分被盖8加强，因此能够通过在该部分形成槽29而将基板2的机械强度的降低抑制为较小。但是，并不限定于此，在Z轴方向的俯视观察下，槽29也可以位于比盖接合部80更靠向基板2的外边缘侧。

以上，对惯性计测装置1进行了说明。如上所述，这样的惯性计测装置1具有：基板2；惯性传感器3、4、5、6，配置在作为基板2的第一面的上表面21；盖8，覆盖惯性传感器3、4、5、6并与基板2接合；以及作为端子的引线9，配置于基板2并与安装对象物Q接合，在从基板2的厚度方向即Z轴方向的俯视观察下，惯性传感器3、4、5、6与作为引线9与基板2的连接部分的端子连接部90不重叠，并且位于比端子连接部90更靠向基板2的中央侧的位置。根据这种构成，从安装对象物Q经由引线9传递到基板2的干扰在到达各惯性传感器3、4、5、6之前充分衰减，该干扰难以传递到各惯性传感器3、4、5、6。因此，各惯性传感器3、4、5、6的特性稳定，能够发挥优异的检测精度。此外，通过将各惯性传感器3、4、5、6配置在比端子连接部90更靠向基板2的中央侧即内侧的位置，还能够实现惯性计测装置1的小型化。

此外，如上所述，基板2具有槽29，该槽29在从Z轴方向的俯视观察下配置在惯性传感器3、4、5、6与端子连接部90之间。槽29具有如下功能：使经由引线9传递到基板2的干扰在传递到各惯性传感器3、4、5、6之前衰减。因此，干扰更难以传递到各惯性传感器3、4、5、6，各惯性传感器3、4、5、6的特性更稳定。

此外，如上所述，在Z轴方向的俯视观察下，槽29是包围惯性传感器3、4、5、6的框状。通过由框状的槽29包围各惯性传感器3、4、5、6，能够更可靠且有效地使经由引线9传递到基板2的干扰在传递到各惯性传感器3、4、5、6之前衰减。

此外，如上所述，槽29在上表面21开口。这样，通过使槽29在作为与配置有惯性传感器3、4、5、6的面相同的面的上表面21开口，能够更显著地发挥槽29的干扰衰减效果。

此外，如上所述，在从Z轴方向的俯视观察下，作为基板2与盖8的接合部分的盖接合部80位于端子连接部90与惯性传感器3、4、5、6之间。由此，能够将经由引线9传递到基板2的干扰在传递到各惯性传感器3、4、5、6之前经由盖接合部80释放到盖8。因此，干扰更难以传递到各惯性传感器3、4、5、6。

此外，如上所述，在从Z轴方向的俯视观察下，槽29位于比盖接合部80更靠向基板2的中央侧的位置。由于基板2的比盖接合部80更靠向内侧的部分被盖8加强，因此能够通过在该部分形成槽29而将基板2的机械强度的降低抑制为较小。

此外，如上所述，盖8具有恒定电位。特别是在本实施方式中，盖8接地。由此，盖8作为屏蔽干扰的护罩而发挥功能，从而惯性传感器3、4、5、6的特性稳定。

此外，如上所述，端子是从基板2延伸的引线9。由此，容易使基板2浮置于安装对象物Q来进行支承。

第二实施方式

图4是示出第二实施方式所涉及的惯性计测装置的剖视图。

本实施方式除了槽29的构成不同以外与前述的第一实施方式相同。另外，在以下的说明中，关于本实施方式，以与前述的第一实施方式的不同点为中心进行说明，关于相同的事项省略其说明。此外，在图4中，对于与前述的实施方式相同的构成标注相同的附图标记。

在图4所示的惯性计测装置1中，槽29由在下表面22开口的有底的凹部构成。即，槽29的开口位于与前述的第一实施方式的相反侧的位置。这样，通过使槽29在作为与接合有引线9的面相同的面的下表面22开口，能够利用槽29有效地使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰衰减。槽29的深度D和宽度W等尺寸、配置图案可以与第一实施方式所说明的相同。

如上所述，在本实施方式的惯性计测装置1中，作为端子的引线9配置在下表面22，该下表面22是与作为基板2的第一面的上表面21相反侧的第二面，槽29在下表面22开口。由此，能够利用槽29有效地使经由引线9传递的干扰衰减。

根据这样的第二实施方式，也能够发挥与前述的第一实施方式相同的效果。

第三实施方式

图5是示出第三实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。图6是图5中的B-B线剖视图。

本实施方式除了槽29的构成不同以外与前述的第一实施方式相同。另外，在以下的说明中，关于本实施方式，以与前述的第一、第二实施方式的不同点为中心进行说明，关于相同的事项省略其说明。此外，在图5和图6中，与前述的实施方式相同的构成标注相同的附图标记。

在图5和图6所示的惯性计测装置1中，槽29具有由在上表面21开口的有底的凹部构成的第一槽291和由在下表面22开口的有底的凹部构成的第二槽292。此外，在从Z轴方向的俯视观察下，第一槽291和第二槽292分别呈包围各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的框状。此外，在从Z轴方向的俯视观察下，第一槽291和第二槽292相互不重叠，在本实施方式中，第一槽291位于第二槽292的内侧的位置。即，在从Z轴方向的俯视观察下，成为具有框状的第一槽291和包围该第一槽291的框状的第二槽292的双重结构。

这样，通过形成在作为与配置有各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的面相同的面的上表面21开口的第一槽291和在作为与接合有引线9的面相同的面的下表面22开口的第二槽292，能够利用槽29有效地使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰衰减。另外，第一槽291和第二槽292的配置并不限定于此，第一槽291也可以位于第二槽292的外侧的位置。此外，第一、第二槽291、292的至少一方也可以是图3所示的图案。

特别是在本实施方式中，如图6所示，第一槽291的深度D1和第二槽292的深度D2的合计比基板2的厚度T大，即，满足D1+D2>T的关系，在侧视观察下，具有第一槽291和第二槽292重叠的部分F。由此，能够利用槽29有效地使该干扰衰减。但是，并不限定于此，也可以是至少一部分为D1+D2≤T。

如上所述，在本实施方式的惯性计测装置1中，作为端子的引线9配置在下表面22，该下表面22是与作为第一面的上表面21相反侧的第二面，槽29具有在上表面21开口的第一槽291和在下表面22开口的第二槽292。这样，通过形成在作为与配置有各惯性传感器3、4、5、6的面相同的面的上表面21开口的第一槽291和在作为与接合有引线9的面相同的面的下表面22开口的第二槽292，能够利用槽29有效地使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰衰减。

根据这样的第三实施方式，也能够发挥与前述的第一实施方式相同的效果。另外，与上述不同，在从Z轴方向的俯视观察下，第一槽291和第二槽292也可以一部分或全部重叠。在这种情况下，第一槽291和第二槽292不连通。

第四实施方式

图7是示出第四实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。

本实施方式除了基板2和引线9的构成不同以外与前述的第一实施方式相同。另外，在以下的说明中，关于本实施方式，以与前述的实施方式的不同点为中心进行说明，关于相同的事项省略其说明。此外，在图7中，与前述的实施方式相同的构成标注相同的附图标记。

在图7所示的惯性计测装置1中，多根引线9具有沿着基板2的第一外边缘部2a配置的多根引线9a和沿着基板2的第三外边缘部2c配置的多根引线9c。即，从前述的第一实施方式的构成中省略了沿着基板2的第二外边缘部2b配置的多根引线9b和沿着基板2的第四外边缘部2d配置的多根引线9d。

此外，槽29具有：第一部分29a，位于各引线9a与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间并沿着Y轴方向延伸；以及第三部分29c，位于各引线9c与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间并沿着Y轴方向延伸。即，从前述的图3所示的变形例中省略了第二部分29b和第四部分29d。

此外，基板2具有：贯通孔281，位于基板2的第二外边缘部2b与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间，并沿着X轴方向延伸；以及贯通孔282，位于基板2的第四外边缘部2d与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间，并沿着X轴方向延伸。贯通孔281、282分别在基板2的厚度方向上贯通，并在上表面21和下表面22开口。这样的贯通孔281、282与槽29同样地具有如下功能：使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰在到达各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前衰减。与由有底的凹部构成的槽29相比，贯通孔281、282的干扰衰减效果更优异。因此，能够更有效地使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰在到达各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前衰减。

特别是在本实施方式中，在位于各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7与端子连接部90之间的区域形成有槽29，在偏离各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7与端子连接部90之间的区域形成有贯通孔281、282。换句话说，在位于设置有端子连接部90的基板2的第一外边缘部2a和第三外边缘部2c与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间的区域形成有槽29，在位于未设置有端子连接部90的基板2的第二外边缘部2b和第四外边缘部2d与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间的区域形成有贯通孔281、282。由此，能够在较高地维持基板2内的布线、特别是连接端子24与各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的布线的拉绕自由度的同时，发挥上述那样的优异的干扰衰减效果。

另外，在本实施方式中，贯通孔281、282与槽29分离形成，但是并不限定于此，例如，贯通孔281、282的X轴方向正侧的端部可以与第一部分29a连接，端部也可以在X轴方向负侧与第三部分29c连接。即，槽29与贯通孔281、282也可以连接成框状。

如上所述，在本实施方式的惯性计测装置1中，在从Z轴方向的俯视观察下，基板2具有偏离惯性传感器3、4、5、6与端子连接部90之间而配置，并在厚度方向上贯通基板2的贯通孔281、282。由此，能够在较高地维持基板2内的布线的拉绕自由度的同时，发挥优异的干扰衰减效果。

根据这样的第四实施方式，也能够发挥与前述的第一实施方式相同的效果。

第五实施方式

图8是示出第五实施方式所涉及的智能手机的立体图。

作为图8所示的电子设备的智能手机1200内置有惯性计测装置1和基于从惯性计测装置1输出的检测信号进行控制的控制电路1210。由惯性计测装置1检测到的检测数据被发送到控制电路1210，控制电路1210根据接收到的检测数据来识别智能手机1200的姿态、举动，并能够使显示于显示部1208的图像变化、发出警告音、效果音或驱动振动电机而使主体振动。

作为这样的电子设备的智能手机1200具有惯性计测装置1和基于从惯性计测装置1输出的检测信号进行控制的控制电路1210。因此，能够享有前述的惯性计测装置1的效果，并能够发挥较高的可靠性。

另外，电子设备除了能够应用于前述的智能手机1200以外，例如还能够应用于：个人计算机、数字静态照相机、平板终端、包括智能手表的钟表、喷墨式喷出装置、例如喷墨打印机、HMD(头戴式显示器)、智能眼镜等可穿戴终端、电视机、录像机、磁带录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本、电子词典、电子翻译机、电子计算器、电子游戏设备、训练设备、文字处理器、工作站、电视电话、防犯用电视监视器、电子双筒望远镜、POS终端、电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜那样的医疗设备、鱼群探测器、各种测定设备、车辆、航空器、船舶所搭载的计量仪器类、便携终端用的基站、飞行模拟器等。

第六实施方式

图9是示出第六实施方式所涉及的移动体的立体图。

作为图9所示的移动体的汽车1500内置有发动机系统、制动系统和无钥匙进入系统中的至少任一个系统1510、惯性计测装置1和信号处理电路1502，并能够通过惯性计测装置1来检测车身的姿态。惯性计测装置1的检测信号供给到信号处理电路1502，并且信号处理电路1502能够基于该信号来控制系统1510。

由此，作为移动体的汽车1500具有惯性计测装置1和基于从惯性计测装置1输出的检测信号进行控制的信号处理电路1502。因此，汽车1500能够享有前述的惯性计测装置1的效果，并能够发挥较高的可靠性。

另外，具备惯性计测装置1的移动体除了可以是汽车1500以外，例如还可以是机器人、无人机、电动轮椅、摩托车、航空器、直升机、船舶、电车、单轨电车、货物搬运用货仓、火箭、宇宙飞船等。

以上，基于图示的实施方式对本发明的惯性计测装置、电子设备及移动体进行了说明，但是本发明并不限定于此，各部分的构成可以置换为具有相同功能的任意构成。此外，本发明也可以附加其他任意的构成物。