阅读说明：本技术 工具、作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统 (Tool, work management device, work management method, and work management system ) 是由 堀川和俊 根桥徹 町田秀和 下石坂望 原田章弘 落石将彦 大和义昭 轻部浩树 小艾睦 于 2018-12-03 设计创作，主要内容包括：提供一种带扭矩传感器的工具,该带扭矩传感器的工具适于在组装中需要大量的紧固接合部件、且可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业,并且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。工具(1)具备能够检测作用于批头(20)的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器(30),扭矩传感器(30)当所检测的紧固扭矩超过设定阈值(Th)时开始进行紧固扭矩的测定,当所检测的紧固扭矩下降为低于设定阈值(Th)、且经过了设定时间(T1)时结束测定,并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成且包含测定时刻的扭矩关联数据。扭矩关联数据包含测定数据中的峰值。(Provided is a tool with a torque sensor, which is suitable for fastening work of a fastening member in a device such as a fluid control device requiring a large number of fastening members for assembly and having a small space for access to the fastening members, and in which detection of fastening torque of the tool is automated. The tool (1) is provided with a torque sensor (30) capable of detecting a fastening torque acting on a bit (20) for fastening a fastening engagement member, wherein the torque sensor (30) starts measurement of the fastening torque when the detected fastening torque exceeds a set threshold (Th), ends the measurement when the detected fastening torque falls below the set threshold (Th) and a set time (T1) has elapsed, and outputs torque-related data including a measurement time based on measurement data of a period from the start of the measurement to the end of the measurement. The torque related data comprises peaks in the measured data.)

工具、作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统

技术领域

本发明涉及一种在包含大量的螺栓等紧固接合部件的装置中的紧固接合部件的紧固作业中使用的带扭矩传感器的工具、以及对使用该工具的紧固作业进行管理的作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统。

背景技术

在半导体制造工艺等各种制造工艺中，采用集成了开闭阀、调节器、质量流量控制器等各种流体设备的流体控制装置，以向工艺腔供给准确地计量出的工艺气体(例如，参照专利文献1)。

在上述那样的流体控制装置的组装工序中，需要进行庞大数量的内六角螺栓等紧固接合部件的紧固作业，且要求高的组装质量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-003013号公报

专利文献2：日本特开2013-188858号公报

专利文献3：日本特开2015-229210号公报

专利文献4：日本特开2013-852号公报

专利文献5：日本特开2008-181344号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献2公开了以下技术：利用来自设置于扭矩扳手的加速度传感器、陀螺仪传感器、地磁传感器等传感器的信号，来自动地检测进行了紧固的紧固接合部件的位置并对紧固位置进行管理。

专利文献3公开了以下技术：用摄像装置对利用工具进行的作业部位进行拍摄，基于其摄像图像数据和来自附加于工具的扭矩传感器等传感器的数据，来判断是否正常地进行了作业。

专利文献4公开了以下技术：在工件的上方设置摄像装置，在用紧固工具对工件实施紧固作业时，根据拍摄数据来检测赋予紧固工具的预先登记的识别标记是否存在，由此检测实施了紧固作业。

专利文献5公开了以下技术：在包含使用道具来进行的多个作业的产品的制造工序中，确定在产品的哪个位置进行了作业。具体地说，以接收到在一个所述作业完成时输出的完成信号为契机来拍摄多个图像，根据这些图像来检测表示作业完成位置的作业完成坐标，并获取表示应进行作业的位置即作业位置的作业坐标，基于作业完成坐标和作业坐标，来确定作业完成位置与关于多个作业中的各个作业的作业位置中的哪一个作业位置对应。

上述的流体控制装置在推进小型化、集成化，不仅螺栓等紧固构件也在短小化，而且流体设备之间的空间在狭小化。因此，使用在把手所具备的批头(bit)保持部安装有细长的批头的工具，来进行螺栓等紧固构件的紧固作业。例如，对于只有穿过流体设备间的狭小空间才能够接近那样的部位处的紧固接合部件的紧固作业，仅将工具的批头部分插入该狭小空间，一边适当地调整批头的姿势一边使批头顶端部与紧固接合部件咬合，对处于远离流体设备的位置的把手进行操作来使批头旋转。

然而，为了使这样的工具具有专利文献2所公开的紧固位置的检测功能，需要安装用于内置各种传感器、CPU等的外壳。对由把手和批头构成的工具安装用于内置各种传感器、CPU等的外壳较为困难，即使将外壳安装至了工具，外壳也将成为妨碍而使工具的操作性显著下降。除此而外，如果安装大量的传感器，则工具的制造成本变高。

在专利文献3、4的技术中，难以可靠地拍摄插入于流体设备之间的狭小空间的批头的顶端部、紧固位置，在拍摄中操作者的手、工具的把手会进入拍摄区域，作业部位、紧固位置被掩蔽。

在专利文献5中，虽然能够确定作业位置，但是无法获得紧固螺丝的实际的扭矩数据。并且，在拧螺丝等紧固作业中作业者有时会多次地重新拧，因此并不容易产生适当的完成信号。并且，紧固1个螺丝的时间短到数秒，1个螺丝与其相邻的螺丝之间的间隔小，因此仅根据图像来确定作业完成并不容易。

本发明的一个目的在于提供一种带扭矩传感器的工具，该带扭矩传感器的工具适于在组装中需要大量的紧固接合部件、且可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业，并且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。

本发明的其它目的在于提供一种在使用上述的带扭矩传感器的工具的紧固作业中能够针对所有紧固接合部件准确地管理位置、紧固扭矩等信息的作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统。

用于解决问题的方案

本发明所涉及的工具具备能够检测作用于批头的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器，

所述扭矩传感器当所检测的紧固扭矩超过设定阈值时，开始进行对紧固扭矩的测定数据的记录，当所检测的紧固扭矩下降为低于所述设定阈值、且经过了设定时间时，结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成且包含测定时刻的扭矩关联数据。

优选的是，所述扭矩关联数据能够采用包含所述测定数据中的峰值的结构，所述扭矩关联数据能够采用包含对数据进行测定时的日期时间信息以及对数据进行测定时的温度信息的结构，另外，工具能够采用至少具备第一标记和第二标记以用于图像处理的结构。

本发明所涉及的作业管理装置，用于对紧固作业进行管理，在所述紧固作业中，使用上述结构的工具来对产品中包含的多个紧固接合部件分别进行紧固，

所述作业管理装置当接收到所述扭矩关联数据时，从在一个紧固接合部件的紧固作业中自多个视点拍摄得到的所述工具的多个图像中，提取与所述扭矩关联数据中包含的测定时刻对应的多个图像并进行处理，检测与所述一个紧固接合部件卡合的所述批头的卡合位置。

本发明的作业管理方法用于对紧固作业进行管理，在所述紧固作业中，使用上述结构的工具来对产品中包含的多个紧固接合部件分别进行紧固，在所述作业管理方法中，

当接收到所述扭矩关联数据时，从在一个紧固接合部件的紧固作业中自多个视点拍摄得到的所述工具的多个图像中，提取与所述扭矩关联数据中包含的测定时刻对应的多个图像并进行处理，检测与所述一个紧固接合部件卡合的所述批头的卡合位置。

本发明的作业管理系统用于对紧固作业进行管理，在所述紧固作业中，对产品中包含的多个紧固接合部件分别进行紧固，

所述作业管理系统具有工具，该工具具备能够检测作用于批头的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器，并具备图像处理用的第一标记和第二标记，

所述扭矩传感器当所检测的紧固扭矩超过设定阈值时，开始进行对紧固扭矩的测定数据的记录，当所检测的紧固扭矩下降为低于所述设定阈值、且经过了设定时间时，结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成的扭矩关联数据，

该作业管理系统具有：

第一摄像装置和第二摄像装置，该第一摄像装置和第二摄像装置相对于所述产品配置于规定的位置，以使紧固作业中的所述工具的图像至少包含所述第一标记和所述第二标记的方式、且从互不相同的视点拍摄所述图像；

存储装置，其存储所述第一摄像装置和所述第二摄像装置所拍摄的图像；以及

处理装置，其当接收到所述扭矩关联数据时，从在一个紧固接合部件的紧固作业中自多个视点拍摄得到的、存储于所述存储装置的所述工具的多个图像中，提取与所述扭矩关联数据中包含的测定时刻对应的多个图像并进行处理，检测与所述一个紧固接合部件卡合的所述批头的卡合位置。

发明的效果

根据本发明，能够获得如下的带扭矩传感器的工具：该工具适于在可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业，且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。

根据本发明，针对流体控制装置那样的装置中的所有紧固接合部件，能够准确地管理位置、紧固扭矩等信息。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式所涉及的作业管理系统的外观立体图。

图2是表示流体控制装置的一例的外观立体图。

图3是图2的流体控制装置的侧视图。

图4A是本发明的一个实施方式所涉及的工具的外观立体图。

图4B是把手部的外观立体图。

图4C是批头的外观立体图。

图4D是工具的扭矩传感器部分的纵截面图。

图5A是扭矩传感器的电路图。

图5B是扭矩传感器的模拟电路部分的功能框图。

图6是表示多次实施了紧固作业时的扭矩传感器的处理的一例的时序图。

图7是表示1次紧固作业中的扭矩传感器的各种信号的一例的时序图。

图8是表示处理装置的处理的一例的流程图。

图9是通过图像处理来检测批头顶端位置的方法的说明图。

图10是本发明的其它实施方式所涉及的作业管理系统的外观立体图。

具体实施方式

下面，参照附图来说明本发明的实施方式。此外，在本说明书和附图中，对功能实质相同的结构要素使用相同的标记，由此省略重复的说明。

图1表示本发明的一个实施方式所涉及的作业管理系统，该系统具有作为工具的螺钉旋具(driver)1、作为处理装置的个人计算机(以下称为PC)300、以及作为摄像装置的摄像机400A、400B。在图1中，省略了作为产品的气体控制箱(gas box)500的内部，但是在底面500b设置图2和图3所示的流体控制装置200。即，在流体控制装置200收容于气体控制箱500内的状态下实施组装作业。此外，图1中的箭头A1表示水平面内的横向，箭头A2表示水平面内的纵向。

图2、图3所示的流体控制装置200用于向半导体制造装置等反应器供给各种气体，在基座金属板BS上，并列有多列(图中为3列)流体控制组件，该流体控制组件由分别沿着长边方向配置的包括自动阀、质量流量控制器的各种流体设备210、220、230、240、280、250构成。

设置于基座金属板BS上的多个接头块260、270具备将各种流体设备间连接起来的流路。流体设备的主体与接头块260、270用作为紧固部件的内六角螺栓BT来连结。

螺钉旋具1用于内六角螺栓BT的紧固作业。当集成有各种流体设备时，在对内六角螺栓BT进行紧固时，有时使螺钉旋具1相对于内六角螺栓BT倾斜地对六角螺栓BT进行紧固，以使流体设备与螺钉旋具1的批头不发生干扰。针对大量的内六角螺栓BT以准确的紧固扭矩来实施这样的作业并不容易。

返回到图1，摄像机400A的视点朝向横向A1，如后所述，摄像机400A配置于能够拍摄到工具1上设置的标记的位置。摄像机400B的视点朝向纵向A2，如后所述，摄像机400B配置于能够拍摄到工具1上设置的标记的位置。摄像机400A、400B能够以规定的帧率进行拍摄，拍摄得到的图像数据作为无线信号被发送到PC 300并存储。摄像机400A、400B设置于气体控制箱500的外部，因此也可能存在在螺钉旋具1对内六角螺栓BT的紧固作业中、螺钉旋具1的批头的顶端位置和内六角螺栓BT未进入摄像机400A、400B的视野的情况。

图4A～图4D示出螺钉旋具1的构造。

螺钉旋具1具有把手10、批头20、扭矩传感器30。螺钉旋具1用于内六角的螺栓(紧固接合部件)的紧固接合，在最大紧固扭矩为10N·m以下的范围内使用，但是并不限定于此。

紧固接合部件能够使用内六角螺栓、六角螺栓、带十字槽螺丝等，但是不限于这些。

如图4B所示，把手10具有：主体部11，其为由树脂等材料形成的圆柱状的构件，在外周面形成有防滑用的多条槽；圆筒状的批头保持部12，其形成于把手10的顶端部；以及传感器安装部13，其形成于主体部11与批头保持部12之间，用于以装卸自如的方式安装扭矩传感器30。在批头保持部12，形成有由截面为正六角形状的盲孔形成的保持孔12a，在该保持孔12a中插入保持批头20。辅助杆19被设置为与把手10正交。通过在把手10上设置辅助杆19，能够手动产生更大的紧固及松弛扭矩。

如图4C所示，批头20具有：截面为正六角形状的基端部22，其插入保持于上述的把手10的批头保持部12；与基端部22相反一侧的顶端部21；以及在基端部22与顶端部21之间延伸的轴部23。顶端部21和轴部23的六角形状的截面被形成为同一尺寸。顶端部21和轴部23的截面积比基端部22的截面积小。顶端部21与内六角螺栓的六角孔卡合。轴部23的靠基端部22的一部分成为由扭矩传感器30进行检测的被检测部24。

具体地说，批头20由碳素钢、镍铬钼钢、铬钒钢等合金钢形成。

在被检测部24形成有磁致伸缩材料，例如施以Ni(40％)-Fe(60％)的电镀以提高检测灵敏度。

批头20的尺寸例如为，与基端部22的截面内接的圆的直径为10mm以下，与轴部23的截面内接的圆的直径为4mm左右，全长为200mm左右，但是不限定于此，能够考虑作业性、操作性来适当地选择。

批头20的轴部23与被检测部24可以形成为一体，也可以为能够分割。

如图4D所示，扭矩传感器30具有外壳部31、安装部32、检测部33、电路收容部35。

检测部33在其中心部形成有贯通孔33a，批头20贯通在该贯通孔33a内。在检测部33的内部，以划定贯通孔33a的一部分的方式形成有圆筒状的线圈保持部33b，在线圈保持部33b的外周面设置有励磁及检测用的线圈36。贯通检测部33的批头20的被检测部24的外周被线圈36包围。

外壳部31、安装部32、检测部33由树脂材料一体地形成，在外壳部31的内部形成有空洞39。空洞39能够通过安装部32来收容把手10的批头保持部12。

形成为圆筒状的安装部32的内周与把手10的传感器安装部13嵌合，该安装部32通过未图示的螺丝构件固定于传感器安装部13。

如后所述，电路收容部35收容由微计算机、存储器、电池、外部输入输出电路、通信电路、扭矩检测用的各种电路等构成的硬件，通过存储器中储存的所需的软件来动作。

螺钉旋具1能够在已将批头20安装于把手10的状态下后安装扭矩传感器30。因此，当设为把手10和批头20是以往以来使用着的通用的工具时，通过后安装扭矩传感器30，能够不损害工具的作业性、操作性地进行作用于批头20的扭矩检测。

此外，在本实施方式中，例示能够后安装扭矩传感器30的情况，但是也能够采用预先将扭矩传感器30安装于把手10、之后将批头20安装于把手10的结构。

图5A是扭矩传感器30的电路图。

在图5A中，50是励磁线圈，51是检测线圈，52是用于输出与扭矩成比例的电压的模拟电路，53是DC/DC转换器，54是比较器，55是基准电压设定电路。60是微计算机(以下称为微机)，61是模拟-数字转换器(以下称为ADC)，62是温度传感器，63是实时时钟，64是串行总线，65是通信模块，66是只读存储器(ROM)，67是数据输入端子，68是存储卡，69是重置IC，70是DC/DC转换器，71是校准开关，72是电源开关，73是电池，74是充电控制电路，75是充电连接器。

在此，将图5A的励磁线圈50、检测线圈51以及模拟电路52的模拟电路部分的功能框图示出于图5B。

扭矩传感器30具有振荡电路110、缓冲放大器120、相位调整电路130、V-I转换器140、反相器160、同步检波电路170、以及反相放大器180。

(励磁侧)

振荡电路110生成用于使励磁线圈50励磁的基准频率信号(例如，100kHz)。

从振荡电路110向励磁侧电路输出作为正弦波的信号，但是为了使振荡电路110稳定地进行动作，该信号经由缓冲放大器120输出到相位调整电路130。

相位调整电路130调整波形的相位并输出到V-I转换器140。

V-I转换器140将输入电压转换为电流并输出到励磁线圈50。

(检测侧)

检测线圈51将因逆磁致伸缩效应而产生的感应电压输出到同步检波电路170。

从振荡电路110向检测侧输出矩形波来作为参照信号。该矩形波的频率与向励磁侧输出的正弦波的频率相同。所输出的矩形波被分支为2个，一个保持原样向同步检波电路170输出，另一个由反相器160反转相位并向同步检波电路170输出。

同步检波电路170参照参照信号来对来自检测线圈51的感应电压进行同步检波，并输出到反相放大器180。

反相放大器180对来自同步检波电路170的输出进行平均化，并进行偏置调整、增益调整，作为模拟的扭矩信号SG输出到ADC 61。同步检波电路170和反相放大器180构成上述的模拟电路52。

如上所述，在扭矩传感器30中，通过励磁线圈50和检测线圈51来将作用于批头20的被检测部的扭矩变化检测为形成批头20的磁致伸缩材料的磁导率的变化。

为了测定利用批头20对紧固接合部件进行紧固的扭矩，只要检测作用于批头的扭矩即可。

为了检测作用于批头的扭矩，利用逆磁致伸缩效应，但是需要将由施加扭矩带来的轴(被检测部)表面的磁导率变化换算为包围轴(被检测部)的螺线管线圈的阻抗变化，并检测为桥电路的非平衡电压。

用以下的式子来表示作用于轴(被检测部)的表面的应力(应变)与轴(被检测部)的直径之间的关系。

σ＝16T/(πD³)

在此，σ是轴(被检测部)表面的应力(应变)，T是作用于轴(被检测部)的扭矩，D是轴(被检测部)的直径。

即，在对轴(被检测部)的径不同的批头施加了相同的扭矩的情况下，轴(被检测部)的径小的批头的轴(被检测部)表面的应力(应变)显著变大。

轴(被检测部)表面的应力(应变)使轴(被检测部)表面的磁导率发生变化。

磁导率的变化是由于以原子尺寸构成的微小磁体的朝向与来自外部的力相应地发生变化而引起的，但是当微小磁体的朝向整齐划一时就不会再继续发生变化(饱和状态)。

为了精密地检测施加于批头(轴)的扭矩，期望的是，在能够施加的扭矩的范围内，磁导率的变化是线性的。

微机60经由串行总线64来与ADC 61、温度传感器62、实时时钟63、通信模块65之间收受各种数字数据。

通信模块65与PC之间发送接收数据。

ROM 66以微机60可读出的方式保存有校正值数据、校准数据。

数据输入端子67是为了将程序、时钟信号输入到微机60而设置的。

对比较器54的一个输入端子输入模拟的扭矩信号，对另一个输入端子从基准电压设定电路55输入基准电压(阈值)，当扭矩信号超过基准电压时，如后所述，向微机60的P1端子输出测定触发信号。

接着，参照图6和图7来说明扭矩传感器30的电路的作用。此外，图6是表示依次对多个螺栓BT进行紧固时的扭矩传感器30的动作的时序图，图7是更详细地表示在图6的最初的扭矩测定中的扭矩传感器30的动作的时序图。

上述的ADC 61例如由12比特构成，当将1mv设为1比特时，能够在0～4.096V的范围内进行输出。在本实施方式中，设定阈值Th例如通过基准电压设定电路55初始设定为2.0V。

当将图5A中示出的电源开关72如图6的(1)所示那样设为接通(导通状态)时，从重置IC 69向微机60如图6的(2)所示那样输入重置信号。

当使用工具1对流体控制装置200的内六角螺栓BT中的一个六角螺栓BT进行紧固从而扭矩信号(模拟输入)的电压超过了设定阈值Th时(图7的(1))，从比较器54产生测定触发信号，并被输入到微机60的P1端子。

在微机60中，当P1端子被输入测定触发信号时，测定记录期间信号(图7的(4))接通。当测定记录期间信号接通时，微机60开始进行对扭矩信号的ADC61的数字输出(图7的(3))的记录(采样)。

在微机60中，对所读入的数字输出进行检测并对其进行存储(图7的(5))。

当模拟输入低于设定阈值Th时，测定触发信号变为断开(图7的(2))，对扭矩信号的ADC 61的数字输出的记录停止。当模拟输入低于设定阈值Th、且经过了预先设定的设定时间T1(例如，0.5秒)时，测定记录期间信号变为断开(图7的(4))。由此，对一个螺栓BT的紧固扭矩的测定结束。

在图7的例子中，数字输出的峰值的值被检测到2993、3051、2989这3个。然后，在微机60中检测出3个峰值中的最大值(3051)(图7的(6))。在本实施方式中，将该峰值的最大值作为扭矩传感器30的紧固完成扭矩。

接着，如后所述，形成包含该扭矩的最大值的扭矩关联信息，并将包含该最大值的扭矩关联信息保存到存储卡68，并且通过通信模块65发送到PC300。

返回到图6，按各紧固作业来检测扭矩信号的最大值(图6的(3)、(4))，并检测各扭矩信号的测定时的温度(图6的(5))，如(图6的(7))所示那样，形成扭矩关联数据。具体地说，扭矩关联数据包含测定时刻(测定日期时间)、将扭矩信号的最大值(峰值)换算为实际的扭矩值而得到的值、以及测定时的温度。关于扭矩关联数据，在电源接通时扭矩值的数据为零，第1次的扭矩值的数据为3.051N·m，第2次的扭矩值的数据为3.015N·m，第3次的扭矩值的数据为3.011N·m。

接着，参照图8来说明PC 300中的处理的一例。

在PC 300中，始终监视是否从扭矩传感器30接收到了扭矩关联数据(步骤S1)，在接收到的情况下，从该扭矩关联数据读出测定扭矩时的测定时刻(日期时间)(步骤S2)。

PC 300具备用于记录来自摄像机400A、400B的图像的帧缓存，紧固作业的图像伴随作业的进行而存储到PC 300。回溯PC 300中存储的图像数据，提取出摄像机400A、400B分别拍摄到的与在步骤S2中读出的时刻对应的图像数据。即，这2个图像是工具的在螺栓BT的紧固完成时的图像。对这些图像数据进行处理，如图9所示，检测工具1上设置的标记MKA和标记MKB的图像的重心位置CGA、CGB，批头20的顶端坐标20P存在于将重心位置CGA、CGB连结的直线上。由此，检测批头20的顶端坐标(步骤S5)。此外，在本实施方式中，标记MKA和标记MKB被设为不易受到来自周围的环境的干扰的绿色。

接着，将检测到的批头20的顶端坐标、温度数据、紧固完成扭矩值等数据相关联地记录到存储装置。由此，能够始终准确地追踪流体控制装置200中的所有螺栓BT的紧固作业的有无、紧固扭矩等作业信息。

在本实施方式中，如上所述，一边始终拍摄用于获取批头的顶端坐标的图像数据，一边与其相独立地获取从扭矩传感器30获取的扭矩关联数据。然后，将所获取到的扭矩关联数据同根据与其在时间上适合的图像数据获得的批头20的顶端坐标数据相关联，由此能够获得准确的作业信息。

例如，如果是在利用工具的紧固作业完成后产生完成信号，以该完成信号为契机开始对工具的拍摄，对拍摄到的图像数据进行处理来计算工具等的位置坐标，则在作业完成的时间点与计算工具等的位置坐标的时间点之间产生偏差，计算出的位置坐标不限于作业完成的时间点的工具等的位置坐标。

在本发明中，所计算的批头20的顶端坐标数据与所获取的扭矩关联数据之间不存在时间上的背离，因此能够获得更准确的作业数据。

图10示出本发明的其它实施方式所涉及的作业管理系统。

在图10所示的系统中，PC 300与摄像机400A、400B通过通信线缆CA、CB来连接。这样，即使以有线取代无线也能够获取工具1的图像。

在如上述实施方式为2台摄像机的情况下，期望的是，摄像机400A、400B的设置位置为摄像机400A的视点方向与摄像机400B的视点方向正交。关于拍摄范围，在从作业者开始作业起、到完成对流体控制装置200的所有内六角的螺栓(紧固接合部件)的紧固为止之间，对工具1上设置的标记MKA和标记MKB进行拍摄即可。无需拍摄作业者的全身、气体控制箱500、流体控制装置200。

在上述实施方式中，将扭矩信号的峰值的最大值从工具1发送到PC 300，但是本发明并不限定于此。例如，除了峰值的最大值以外，也能够将最初的峰值或最后的峰值设为紧固完成扭矩，还能够采用峰值的平均值。

另外，在上述实施方式中，将紧固扭矩的测定数据记录到工具1并发送到PC 300，但是也能够在工具1中不进行记录而仅进行测定数据的发送，在PC 300中进行记录、峰值的检测。

在上述实施方式中，将拍摄到的图像数据存储到帧缓存，从该帧缓存提取所需的图像数据，来通过图像处理计算坐标数据，但是本发明并不限定于此。也能够对拍摄到的图像数据逐次进行图像处理来计算出坐标数据等，并将其按时间序列存储，将该时间序列数据与扭矩关联数据相关联。

附图标记说明

1：螺钉旋具(工具)；10：把手；11：主体部；12：批头保持部；12a：保持孔；13：传感器安装部；19：辅助杆；20：批头；20P：顶端坐标；21：顶端部；22：基端部；23：轴部；24：被检测部；30：扭矩传感器；31：外壳部；32：安装部；33：检测部；33a：贯通孔；33b：线圈保持部；35：电路收容部；36：线圈；39：空洞；50：励磁线圈；51：检测线圈；52：模拟电路；53、70：DC/DC转换器；54：比较器；55：基准电压设定电路；60：微计算机(微机)；61：模拟-数字转换器(ADC)；62：温度传感器；63：实时时钟；64：串行总线；65：通信模块；66：ROM；67：数据输入端子；68：存储卡；69：重置IC；71：校准开关；72：电源开关；73：电池；74：充电控制电路；75：充电连接器；110：振荡电路；120：缓冲放大器；130：相位调整电路；140：V-I转换器；160：反相器；170：同步检波电路；180：反相放大器；200：流体控制装置；210、220、230、240、250、280：流体设备；260、270：接头块；300：PC(处理装置)；400A、400B：摄像机(摄像装置)；500：气体控制箱；500b：底面；BS：基座金属板；BT：内六角螺栓；CA、CB：通信线缆；CGA、CGB：重心位置；MKA、MKB：标记；SG：扭矩信号；T1：设定时间；Th：设定阈值。