阅读说明：本技术 智能栈板 (Intelligent pallet ) 是由 颜晖展 陈健福 于 2018-12-19 设计创作，主要内容包括：一种智能栈板,包含栈板座及感测装置。所述感测装置包括至少一设置在所述栈板座上的感测器。通过在所述栈板座上设置所述感测装置,能在所述智能栈板承载物件的运送过程中,即时侦测所述栈板座所承受的重量状态或通过远端监控定位所述栈板座的位置资讯。(An intelligent pallet comprises a pallet base and a sensing device. The sensing device comprises at least one sensor arranged on the pallet seat. By arranging the sensing device on the pallet seat, the weight state borne by the pallet seat can be detected in real time or the position information of the pallet seat can be positioned by remote monitoring in the conveying process of the intelligent pallet bearing object.)

智能栈板

技术领域

本发明涉及一种载具，特别是涉及一种能运送物件的智能栈板。

背景技术

现今科技产品日趋精密，因此对于运送过程中的保护要求也日益提高。例如半导体制程中所使用的晶圆，其在半导体厂外的外界环境中进行晶圆运送时，一般是将晶圆放置在一洁净基板容器，例如一前开式晶圆运送盒(front opening shipping box，FOSB)中，而在运送多个洁净基板容器时，则通常是通过一栈板承载来承载所述洁净基板容器。

然而，现有的栈板都不具有保护或缓冲结构，以及监测或监控功能，无法提供足够的保护，也无法让搬运人员或运送人员确认承载的晶圆的状态，且在通过该栈板承载所述洁净基板容器进行运送的过程中，常因碰撞等因素影响晶圆的质量，因此，随时侦测并管控在运送过程中该栈板承载所述洁净基板容器的状态是必要的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种智能栈板。

本发明智能栈板包含栈板座及感测装置，所述感测装置包括至少一设置在所述栈板座上的感测器。

本发明智能栈板，所述感测装置包括多个感测器。

本发明智能栈板，所述感测器包括压力感测器。

本发明智能栈板，所述感测器包括位置感测器。

本发明智能栈板，所述感测器包括光电感测器。

本发明智能栈板，所述感测装置还包括设置在所述栈板座上的重量提示器，所述压力感测器设置在所述栈板座的底部并电连接所述重量提示器，而将感测到的所述栈板座的重量状态显示于所述重量提示器，或由所述重量提示器提示。

本发明智能栈板，所述栈板座包括基体，及设在所述基体上的支撑模组。

本发明智能栈板，所述支撑模组包括防震片。

本发明智能栈板，所述支撑模组包括两相间隔设置的防震片，及多个阵列位于所述防震片之间的防震块。

本发明智能栈板，所述每一防震片具有内层、外层，及位于所述内层与所述外层之间的多孔结构。

本发明智能栈板，所述栈板座还包括多个由所述基体的上表面凹陷的凹槽，及多个分别设置在所述凹槽中用于支撑所述支撑模组的防震件。

本发明智能栈板，所述防震件是为防震胶块。

本发明智能栈板，所述防震件是为螺旋状防震器。

本发明智能栈板，所述防震件是由多个防震胶块与多个螺旋状防震器分别交互设置在所述凹槽中。

本发明智能栈板，所述螺旋状防震器朝同方向设置。

本发明智能栈板，所述防震块是由吸震材料制成。

本发明智能栈板，所述吸震材料为硅胶。

本发明智能栈板，所述防震片是由聚丙烯制成。

本发明智能栈板，还包含辨识手段。

本发明智能栈板，所述辨识手段是为条码或无线射频辨识标签。

本发明智能栈板，还包含用于将所述感测装置感测到的资料输出的传输装置，所述传输装置与所述感测装置电连接。

本发明智能栈板，所述传输装置是无线传输装置。

本发明智能栈板，还包含设置在所述栈板座的太阳能充电模组，且所述太阳能充电模组与所述感测装置电连接。

本发明的有益效果在于：通过在栈板座上设置感测装置，能在所述智能栈板承载所述物件的运送过程中，即时侦测所述栈板座所承受的重量状态或通过远端监控定位所述栈板座的位置资讯。

附图说明

图1是一立体图，说明本发明智能栈板的一实施例；

图2是一立体图，说明该实施例的该感测装置；

图3是一局部放大图，说明该栈板座的一防震胶块；

图4是一局部放大图，说明该栈板座的一螺旋状避震器；

图5是一侧视图，说明该实施例的一支撑模组；及

图6是一侧视图，说明该支撑模组的两防震片的结构。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。

参阅图1与图2，本发明智能栈板的一实施例适用于承载多个物件，该智能栈板包含一栈板座2、一设置在该栈板座2上的感测装置3，及设置在该栈板座2上的一辨识手段4及一传输装置5。所述物件可以是例如洁净基板容器，该洁净基板容器可以是各种半导体、太阳能或光电等产业中惯用的密闭式洁净容器，例如光罩盒、晶圆盒等。本实施例中则是以前开式晶圆运送盒(FOSB)来作为范例说明。

该感测装置3包括多个设置在该栈板座2的感测器，能用于感测该栈板座2的状态，其感测器的种类并无特别限制，可视需求安装例如光电感测器、压力感测器，或位置感测器。较佳地，于本实施例中，该感测装置3包括一设置在该栈板座2上的压力感测器31，及设置在该栈板座2的一重量提示器32与一位置感测器33。

具体地说，该压力感测器31设置在该栈板座2的一底部，该重量提示器32与该位置感测器33设置在该栈板座2的侧周围。该压力感测31是与该重量提示器32电连接，并用于感测该栈板座2在承载所述物件的承载状态，而可通过该重量提示器32的灯号显示，以防止包材短少或晶圆片缺放等异常状态。此外，还可通过该位置感测器33与外部携带装置进行远端连线，用于远端接收该智能栈板的位置资讯及定位追踪。

本实施例的该智能栈板还进一步设置了该辨识手段4，用于辨识该智能栈板的电子资讯，该辨识手段4可以采用条码，包括一维条码或是如快速响应矩阵图码(QR code)等的二维条码，或者是一无线射频辨识标签(RFID tag)，以供作业人员或自动化设备易于辨识或管理。此外，该传输装置5是与该感测装置3电连接，用于接收并输出该感测装置3感测到的资料。该传输装置5可以为一有线的电子装置连接埠，或者是一无线传输装置，本实施例并不对此加以限制。该传输装置5与感测装置3电连接以接收其所感测到的资料，然后再将这些资料输出到外部以供监控或记录用。

要说明的是，该智能栈板还能包含用于供应该感测装置3及该传输装置5所需要的电力的电池单元(图未示)，此电池单元除了是可拆卸安装的干电池之外，也可额外设置与该感测装置3及该传输装置5电连接的太阳能充电模组，以自行产生电能来提供所述感测器所需要的电力。

配合参阅图3与图4，该栈板座2包括一轮廓呈矩形的基体21、多个由该基体21的一上表面凹陷的凹槽22、多个分别设置在所述凹槽22内的防震件23，及一设在该基体21上的支撑模组25，并通过所述防震件23用于支撑该支撑模组25。

所述防震件23用于支撑该承载模组25，并隔绝由该基体21传来的震动。所述防震件23可以采用各种不同的材质或结构，例如可以是以天然橡胶、硅胶等材料所制成的防震胶块231，或者是金属、塑胶或复合材料所制成的螺旋状防震器232。本实施例并不对此加以限制，只要能达到支撑及防震的功效便可。

较佳地，所述凹槽22是分别呈阵列等分地排列在该基体21上，在本实施例中，是以九个凹槽22为例做说明，而让该九个凹槽22分别形成在该基体21的中央处、四个角落，及各角落之间，且所述防震件23分别为多个防震胶块231与多个螺旋状防震器232。详细地说，让所述防震胶块231设置在位在四个角落的凹槽22内，所述螺旋状防震器232则是设置在所述防震胶块231之间，也就是让所述防震件23与所述螺旋状防震器232交互设置在该基体21的外周缘。

其中，防震胶块231主要是提供对于垂直地面方向震动的隔绝；当智能栈板承载如洁净基板容器的物件时，螺旋状防震器232是以轴线全部朝向洁净基板容器中的晶圆叠置方向同向的方式设置，以提供对于沿着该方向的摇晃或震动的隔离功效。通过这两种不同结构的防震件23来提供更好的防震效果。

参阅图5与图6，该支撑模组25包括两相间隔设置的防震片251，及多个阵列位于所述防震片251之间的防震块255。每一防震片251具有一内层252、一外层253，及一位于该内层252与该外层253之间的多孔结构254。较佳的，多孔结构254可以是蜂巢结构。如此可以在具有极高的结构强度的前提下大幅减轻防震片251的重量，而可达到节省运输成本的功效。要说明的是，所述防震块255是由吸震材料制成，可以采用天然橡胶、硅胶等材料制作，于本实施例中，此吸震材料是以硅胶为例做说明，此外，该支撑模组25并不限于使用两片防震片251，也可仅使用具有多孔结构254的单一片防震片251。

适用于该防震片251的材料是选自聚丙烯(PP)，通过使用聚丙烯(PP)搭配多孔(蜂巢)结构，使该支撑模组25具有质量轻、承载力与耐用度高、防水、防尘，及隔热性佳等优点；该栈板座2的该基体21则是由气体辅助射出成型、吹气成型或双层吸塑成型等技术制造，以让该栈板座2具有中空轻量化设计，及提高整体强度，避免厚尺寸处的凹陷、收缩、翘曲变形，还能缩短成型周期。

通过在该栈板座2设置该支撑模组25、所述防震胶块231，及所述螺旋状防震器232彼此相配合，以增强承载所述物件时的防震效果。

综上所述，本发明智能栈板，通过在该栈板座2上设置该感测装置3，能在该智能栈板承载所述物件的运送过程中，即时侦测该栈板座2所承受的重量状态或通过远端监控定位该栈板座2的位置资讯，此外，在该基体21上设置该支撑模组25并与所述防震胶块231及所述螺旋状防震器232彼此相配合，除了能提高承载重力之外，还可对承载于其上的所述物件提供减震缓冲的效果，所以确实能达成本发明的目的。