阅读说明：本技术 一种便于清理的化学机械抛光设备 (Chemical mechanical polishing equipment convenient to clearance ) 是由 董兴超 于 2019-12-02 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种便于清理的化学机械抛光设备,包括底座和产品,所述底座内部开设有第一固定槽,其中,所述第一固定槽内部安装有滴液分配器,所述滴液分配器顶部连接有第一滴液管,靠近第一滴液管的所述滴液分配器顶部连接有第二滴液管,靠近第一固定槽的所述底座内部安装有第一电机,所述第一电机一侧套接有第一旋转块。该便于清理的化学机械抛光设备设置有产品在打磨时第二滴液管会将打磨液输送到打磨垫上,打磨垫会将打磨后的打磨液流淌到打磨槽内,以便打磨槽可以将打磨液输送到导向槽内,由导向槽将打磨液输送到储存槽内,从而产品打磨结束后可以将储存槽与第一连接槽进行分离,方便储存槽可以将打磨后的杂质与打磨液进行清理。(The invention discloses chemical mechanical polishing equipment convenient to clean, which comprises a base and a product, wherein a first fixing groove is formed in the base, a dropping liquid distributor is arranged in the first fixing groove, the top of the dropping liquid distributor is connected with a first dropping liquid pipe, the top of the dropping liquid distributor close to the first dropping liquid pipe is connected with a second dropping liquid pipe, a first motor is arranged in the base close to the first fixing groove, and a first rotating block is sleeved on one side of the first motor. This chemical machinery polishing equipment convenient to clearance is provided with the product and when polishing the second dropping liquid pipe can carry the pad of polishing with the liquid of polishing, the pad of polishing can trickle the inslot of polishing after polishing, so that the groove of polishing can carry the guide way with the liquid of polishing, carry the holding vessel by the guide way with the liquid of polishing in, thereby can separate holding vessel and first connecting groove after the product is polished, make things convenient for the holding vessel to clear up impurity after polishing and the liquid of polishing.)

一种便于清理的化学机械抛光设备

技术领域

本发明涉及化学机械抛光设备技术领域，具体为一种便于清理的化学机械抛光设备。

背景技术

化学机械抛光设备是集成电路制造中获得全局平坦化的一种手段，这种工艺就是为了能够获得既平坦、又无划痕和杂质玷污的表面而专门设计的，现有的化学机械抛光设备打磨后的杂质不方便清理，打磨垫旋转时容易偏移，旋转盘不方便安装，抛光设备不方便调节角度，固定块不方便更换，产品不方便固定。

目前市场上的化学机械抛光设备存在许多缺陷，打磨后的杂质不方便清理，打磨垫旋转时容易偏移，旋转盘不方便安装，抛光设备不方便调节角度，固定块不方便更换，产品不方便固定，因此市面上迫切需要能改进便于清理的化学机械抛光设备结构的技术，来完善此设备。

发明内容

本发明的目的在于提供一种便于清理的化学机械抛光设备，以解决上述背景技术提出的目前市场上的化学机械抛光设备存在许多缺陷，打磨后的杂质不方便清理，打磨垫旋转时容易偏移，旋转盘不方便安装，抛光设备不方便调节角度，固定块不方便更换，产品不方便固定的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种便于清理的化学机械抛光设备，包括底座和产品，所述底座内部开设有安装槽，其中，

所述安装槽内部安装有滴液分配器，所述滴液分配器顶部连接有第一滴液管，靠近第一滴液管的所述滴液分配器顶部连接有第二滴液管，靠近安装槽的所述底座内部安装有第一电机，所述第一电机一侧套接有第一旋转块，所述第一旋转块一侧固定有第一固定块，所述第一固定块一侧套接有固定垫，所述第一旋转块一侧设置有旋转盘，靠近第一旋转块的所述旋转盘一侧开设有第一固定槽；

靠近第一固定块的所述第一固定槽一侧开设有第二固定槽，所述旋转盘顶部固定有第一磁性垫，所述第一磁性垫另一侧连接有第二磁性垫，所述第二磁性垫另一侧固定有打磨垫，远离安装槽所述底座内部一侧开设有第一连接槽，所述第一连接槽内部嵌合有储存槽，靠近旋转盘的所述底座顶部开设有打磨槽，所述打磨槽与第一连接槽之间的底座开设有导向槽；

靠近打磨槽的所述底座顶部固定有阻挡块，所述阻挡块一侧设置有第一挤压块，靠近阻挡块的所述第一挤压块内部开设有第三固定槽，远离第三固定槽的所述阻挡块一侧开设有第二连接槽，所述第二连接槽一侧连接有第一旋转杆，所述第一旋转杆一侧连接有滑轮，靠近阻挡块的所述底座顶部固定有固定杆，所述固定杆顶部开设有第四固定槽，所述第四固定槽一侧开设有第三连接槽，所述第三连接槽内部连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端开设有第四连接槽，所述第四连接槽嵌合有连接杆，所述连接杆一端固定有把手，所述第四固定槽内部嵌合有第二旋转块，所述第二旋转块顶部固定有第二旋转杆，所述第二旋转杆顶部固定有外壳，所述外壳一侧安装有操作面板，所述外壳内部安装有主体；

远离主体的所述外壳内部安装有第二电机，所述第二电机一侧套接有第三旋转块，所述第三旋转块顶部连接有液压杆，所述液压杆另一端开设有第五连接槽，所述第五连接槽内部安装有第一弹簧，所述第一弹簧一侧连接有卡合块，所述液压杆另一端设置有第三固定块，靠近液压杆的所述第三固定块开设有第六连接槽，所述第六连接槽一侧开设有卡合槽，靠近卡合槽的所述第三固定块内部开设有第七连接槽，所述第七连接槽内部安装有第二弹簧，所述第二弹簧一侧连接有第二挤压块，所述第三固定块一侧开设有第五固定槽，所述第五固定槽一侧开设有第八连接槽，所述第八连接槽内部连接有螺栓，所述产品嵌合在第五固定槽内部。

优选的，所述第一旋转块、旋转盘、第一磁性垫、第二磁性垫与打磨垫同为圆柱状，且第一旋转块的中点、旋转盘的中点、第一磁性垫的中点、第二磁性垫的中点与打磨垫的中点在同一条直线上，并且旋转盘的直径、第一磁性垫的直径、第二磁性垫的直径与打磨垫的直径相同，第一旋转块与旋转盘之间构成旋转结构，第一磁性垫与第二磁性垫同为磁性材质。

优选的，所述第一连接槽与储存槽同为矩形状，且第一连接槽的尺寸与储存槽的尺寸相同。

优选的，所述第二连接槽、第一旋转杆与滑轮设置有六组，且第二连接槽与滑轮之间关于第一旋转杆构成旋转结构，并且滑轮与打磨垫之间为滑动连接。

优选的，所述第四连接槽、连接杆与把手同为圆柱状，且第四连接槽的中心、连接杆的中心与把手的中心在同一条直线上，并且把手设置有两组，连接杆的直径小于第四连接槽的直径，第四连接槽的直径小于把手的直径。

优选的，所述第五连接槽、第一弹簧与卡合块设置有两组，且第五连接槽与卡合块之间关于第一弹簧构成伸缩结构，并且卡合块的竖向截面与卡合槽的竖向截面尺寸相同。

优选的，所述第八连接槽、螺栓与第五固定槽设置有八组，且第八连接槽与螺栓之间为螺纹连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该便于清理的化学机械抛光设备：

1.设置有产品在打磨时第二滴液管会将打磨液输送到打磨垫上，打磨垫会将打磨后的打磨液流淌到打磨槽内，以便打磨槽可以将打磨液输送到导向槽内，由导向槽将打磨液输送到储存槽内，从而产品打磨结束后可以将储存槽与第一连接槽进行分离，方便储存槽可以将打磨后的杂质与打磨液进行清理；

2.设置有第一旋转块能够通过第一电机工作进行转动，以便第一旋转块转动时会带动旋转盘与第一磁性垫进行转动，第一磁性垫转动时会调动第二磁性垫与打磨垫进行转动，从而打磨垫转动时会对产品进行旋转打磨，打磨垫旋转打磨的同时会带动滑轮与第一旋转杆进行转动，进而滑轮旋转时会对打磨垫进行挤压，方便打磨垫打磨时不会产生偏移；

3.设置有第一固定槽与第二固定槽能够通过拉动旋转盘与第一旋转块、固定垫进行对接，以便第一固定槽与第二固定槽和第一旋转块与固定垫对接时可以推动旋转盘使第二固定槽对固定垫进行挤压，从而当固定垫与第一旋转块挤压进行第二固定槽与第一固定槽时固定垫会对第二固定槽进行挤压固定，方便旋转盘可以进行快速安装，避免旋转盘旋转时脱落；

4.设置有连接杆能够通过推动把手进行转动，以便连接杆转动时可以带动第四连接槽与螺纹杆进行转动，当把手旋转到第四连接槽上方时连接杆会与第四连接槽进行滑动，从而当第二组把手滑落到第四连接槽底部时可以继续推动第二组把手，螺纹杆与第二旋转块分离时可以通过推动外壳带动第二旋转杆进行转动，第二旋转杆转动时可以带动第二旋转块进行转动，方便抛光设备在使用可以调节角度；

5.设置有第二弹簧能够通过推动第二挤压块进行挤压，以便第二挤压块受到推动的同时会对卡合块进行挤压，从而卡合块受到挤压时会对第一弹簧进行挤压，进而当卡合块挤压出卡合槽时可以拉动第三固定块使第六连接槽与液压杆进行分离，方便第三固定块可以进行快速更换；

6.设置有第三固定块能够通过液压杆延伸进行移动，以便第三固定块移动到打磨垫上方指定位置时将产品放置在第五固定槽内，产品会与打磨垫贴合，从而旋转螺栓与第八连接槽进行螺纹滑动，进而螺栓螺纹滑动时会对产品进行挤压，使产品挤压固定在第五固定槽一侧，方便可以根据产品大小进行固定。

附图说明

图1为本发明前视剖面结构示意图；

图2为本发明侧视结构示意图；

图3为本发明俯视结构示意图；

图4为本发明旋转盘横向截面结构示意图；

图5为本发明A部放大结构示意图；

图6为本发明B部放大结构示意图；

图7为本发明C部放大结构示意图；

图8为本发明D部放大结构示意图；

图9为本发明E部放大结构示意图。

图中：1、底座；2、安装槽；3、滴液分配器；4、第一滴液管；5、第一电机；6、第一旋转块；7、第一固定块；8、固定垫；9、旋转盘；10、第一固定槽；11、第二固定槽；12、第一磁性垫；13、第二磁性垫；14、打磨垫；15、第一连接槽；16、储存槽；17、导向槽；18、打磨槽；19、阻挡块；20、第一挤压块；21、第三固定槽；22、第二连接槽；23、第一旋转杆；24、滑轮；25、固定杆；26、第四固定槽；27、第三连接槽；28、螺纹杆；29、第四连接槽；30、连接杆；31、把手；32、第二旋转块；33、第二旋转杆；34、外壳；35、操作面板；36、主体；37、第二电机；38、第三旋转块；39、液压杆；40、第五连接槽；41、第一弹簧；42、卡合块；43、第三固定块；44、第六连接槽；45、卡合槽；46、第七连接槽；47、第二弹簧；48、第二挤压块；49、第五固定槽；50、第八连接槽；51、螺栓；52、产品；53、第二滴液管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-9，本发明提供一种技术方案：一种便于清理的化学机械抛光设备，包括底座1、安装槽2、滴液分配器3、第一滴液管4、第一电机5、第一旋转块6、第一固定块7、固定垫8、旋转盘9、第一固定槽10、第二固定槽11、第一磁性垫12、第二磁性垫13、打磨垫14、第一连接槽15、储存槽16、导向槽17、打磨槽18、阻挡块19、第一挤压块20、第三固定槽21、第二连接槽22、第一旋转杆23、滑轮24、固定杆25、第四固定槽26、第三连接槽27、螺纹杆28、第四连接槽29、连接杆30、把手31、第二旋转块32、第二旋转杆33、外壳34、操作面板35、主体36、第二电机37、第三旋转块38、液压杆39、第五连接槽40、第一弹簧41、卡合块42、第三固定块43、第六连接槽44、卡合槽45、第七连接槽46、第二弹簧47、第二挤压块48、第五固定槽49、第八连接槽50、螺栓51、产品52和第二滴液管53，所述底座1内部开设有安装槽2，其中，

所述安装槽2内部安装有滴液分配器3，所述滴液分配器3顶部连接有第一滴液管4，靠近第一滴液管4的所述滴液分配器3顶部连接有第二滴液管53，靠近安装槽2的所述底座1内部安装有第一电机5，所述第一电机5一侧套接有第一旋转块6，所述第一旋转块6、旋转盘9、第一磁性垫12、第二磁性垫13与打磨垫14同为圆柱状，且第一旋转块6的中点、旋转盘9的中点、第一磁性垫12的中点、第二磁性垫13的中点与打磨垫14的中点在同一条直线上，并且旋转盘9的直径、第一磁性垫12的直径、第二磁性垫13的直径与打磨垫14的直径相同，第一旋转块6与旋转盘9之间构成旋转结构，第一磁性垫12与第二磁性垫13同为磁性材质，第一旋转块6通过第一电机5工作进行转动，第一旋转块6转动时会带动旋转盘9与第一磁性垫12进行转动，第一磁性垫12转动时会调动第二磁性垫13与打磨垫14进行转动，打磨垫14转动时会对产品52进行旋转打磨，所述第一旋转块6一侧固定有第一固定块7，所述第一固定块7一侧套接有固定垫8，所述第一旋转块6一侧设置有旋转盘9，靠近第一旋转块6的所述旋转盘9一侧开设有第一固定槽10；

靠近第一固定块7的所述第一固定槽10一侧开设有第二固定槽11，所述旋转盘9顶部固定有第一磁性垫12，所述第一磁性垫12另一侧连接有第二磁性垫13，所述第二磁性垫13另一侧固定有打磨垫14，远离安装槽2所述底座1内部一侧开设有第一连接槽15，所述第一连接槽15与储存槽16同为矩形状，且第一连接槽15的尺寸与储存槽16的尺寸相同，产品52在打磨时将打磨液流淌到打磨槽18内，打磨槽18可以将打磨液输送到导向槽17内，由导向槽17将打磨液输送到储存槽16内，产品52打磨结束后可以将储存槽16与第一连接槽15进行分离，所述第一连接槽15内部嵌合有储存槽16，靠近旋转盘9的所述底座1顶部开设有打磨槽18，所述打磨槽18与第一连接槽15之间的底座1开设有导向槽17；

靠近打磨槽18的所述底座1顶部固定有阻挡块19，所述阻挡块19一侧设置有第一挤压块20，靠近阻挡块19的所述第一挤压块20内部开设有第三固定槽21，远离第三固定槽21的所述阻挡块19一侧开设有第二连接槽22，所述第二连接槽22、第一旋转杆23与滑轮24设置有六组，且第二连接槽22与滑轮24之间关于第一旋转杆23构成旋转结构，并且滑轮24与打磨垫14之间为滑动连接，打磨垫14旋转打磨的同时会带动滑轮24与第一旋转杆23进行转动，滑轮24旋转时会对打磨垫14进行挤压，所述第二连接槽22一侧连接有第一旋转杆23，所述第一旋转杆23一侧连接有滑轮24，靠近阻挡块19的所述底座1顶部固定有固定杆25，所述固定杆25顶部开设有第四固定槽26，所述第四固定槽26一侧开设有第三连接槽27，所述第三连接槽27内部连接有螺纹杆28，所述螺纹杆28一端开设有第四连接槽29，所述第四连接槽29、连接杆30与把手31同为圆柱状，且第四连接槽29的中心、连接杆30的中心与把手31的中心在同一条直线上，并且把手31设置有两组，连接杆30的直径小于第四连接槽29的直径，第四连接槽29的直径小于把手31的直径，连接杆30通过推动把手31进行转动，连接杆30转动时可以带动第四连接槽29与螺纹杆28进行转动，当把手31旋转到第四连接槽29上方时连接杆30会与第四连接槽29进行滑动，当第二组把手31滑落到第四连接槽29底部时可以继续推动第二组把手31，所述第四连接槽29嵌合有连接杆30，所述连接杆30一端固定有把手31，所述第四固定槽26内部嵌合有第二旋转块32，所述第二旋转块32顶部固定有第二旋转杆33，所述第二旋转杆33顶部固定有外壳34，所述外壳34一侧安装有操作面板35，所述外壳34内部安装有主体36；

远离主体36的所述外壳34内部安装有第二电机37，所述第二电机37一侧套接有第三旋转块38，所述第三旋转块38顶部连接有液压杆39，所述液压杆39另一端开设有第五连接槽40，所述第五连接槽40、第一弹簧41与卡合块42设置有两组，且第五连接槽40与卡合块42之间关于第一弹簧41构成伸缩结构，并且卡合块42的竖向截面与卡合槽45的竖向截面尺寸相同，第二挤压块48受到推动的同时会对卡合块42进行挤压，卡合块42受到挤压时会对第一弹簧41进行挤压，当卡合块42挤压出卡合槽45时可以拉动第三固定块43使第六连接槽44与液压杆39进行分离，所述第五连接槽40内部安装有第一弹簧41，所述第一弹簧41一侧连接有卡合块42，所述液压杆39另一端设置有第三固定块43，靠近液压杆39的所述第三固定块43开设有第六连接槽44，所述第六连接槽44一侧开设有卡合槽45，靠近卡合槽45的所述第三固定块43内部开设有第七连接槽46，所述第七连接槽46内部安装有第二弹簧47，所述第二弹簧47一侧连接有第二挤压块48，所述第三固定块43一侧开设有第五固定槽49，所述第五固定槽49一侧开设有第八连接槽50，所述第八连接槽50、螺栓51与第五固定槽49设置有八组，且第八连接槽50与螺栓51之间为螺纹连接，第三固定块43移动到打磨垫14上方时将产品52放置在第五固定槽49内，旋转螺栓51与第八连接槽50进行螺纹滑动，螺栓51螺纹滑动时会对产品52进行挤压，使产品52挤压固定在第五固定槽49一侧，所述第八连接槽50内部连接有螺栓51，所述产品52嵌合在第五固定槽49内部。

工作原理：在使用该便于清理的化学机械抛光设备时，首先需要对便于清理的化学机械抛光设备进行简单的了解，使用之前第一固定槽10与第二固定槽11通过拉动旋转盘9与第一旋转块6、固定垫8进行对接，第一固定槽10与第二固定槽11和第一旋转块6与固定垫8对接时可以推动旋转盘9使第二固定槽11对固定垫8进行挤压，当固定垫8与第一旋转块6挤压进行第二固定槽11与第一固定槽10时固定垫8会对第二固定槽11进行挤压固定，旋转盘9固定完成后拉动打磨垫14可以带动第二磁性垫13与第一磁性垫12进行磁性连接，打磨垫14连接完成后连接杆30通过推动把手31进行转动，连接杆30转动时可以带动第四连接槽29与螺纹杆28进行转动，当把手31旋转到第四连接槽29上方时连接杆30会与第四连接槽29进行滑动，当第二组把手31滑落到第四连接槽29底部时可以继续推动第二组把手31，螺纹杆28与第二旋转块32分离时可以通过推动外壳34带动第二旋转杆33进行转动，第二旋转杆33转动时可以带动第二旋转块32进行转动，第二旋转块32转动时可以带动外壳34、液压杆39与第三固定块43移动到打磨垫14上方，当第三固定块43移动到打磨垫14上方时推动把手31带动螺纹杆28与第三连接槽27进行螺纹滑动，使螺纹杆28对第二旋转块32进行螺纹挤压，第三固定块43通过液压杆39延伸进行移动，第三固定块43移动到打磨垫14上方指定位置时将产品52放置在第五固定槽49内，产品52会与打磨垫14贴合，旋转螺栓51与第八连接槽50进行螺纹滑动，螺栓51螺纹滑动时会对产品52进行挤压，使产品52挤压固定在第五固定槽49一侧，产品52固定完成后第一滴液管4可以通过滴液分配器3输送清洗液对打磨垫14进行清洗，打磨垫14清洗完成后可以进行固定，第一旋转块6通过第一电机5工作进行转动，第一旋转块6转动时会带动旋转盘9与第一磁性垫12进行转动，第一磁性垫12转动时会调动第二磁性垫13与打磨垫14进行转动，打磨垫14转动时会对产品52进行旋转打磨，打磨垫14旋转打磨的同时会带动滑轮24与第一旋转杆23进行转动，滑轮24旋转时会对打磨垫14进行挤压，打磨垫14在对产品52旋转打磨的同时第二电机37可以带动第三旋转块38进行转动，第三旋转块38转动时可以带动液压杆39进行转动，液压杆39转动时可以带动第三固定块43与产品52进行转动，使产品52与打磨垫14同时转动，且产品52与打磨垫14为反向转动，提高产品52的打磨效果，产品52在打磨的同时滴液分配器3会将打磨液输送到第二滴液管53内，第二滴液管53会将打磨液输送到打磨垫14上，打磨垫14会将打磨后的打磨液流淌到打磨槽18内，打磨槽18可以将打磨液输送到导向槽17内，由导向槽17将打磨液输送到储存槽16内，产品52打磨结束后可以将储存槽16与第一连接槽15进行分离，使储存槽16可以将打磨后的杂质与打磨液进行清理，本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。