阅读说明：本技术 一种石墨化纯化一体炉 (Graphitization and purification integrated furnace ) 是由 尹朝洁 于 2019-11-12 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种石墨化纯化一体炉,包括炉本体,所述炉本体的炉体采用特种抗腐蚀耐高温材料。由于本发明采用特种抗腐蚀耐高温材料,使得本发明可以应付各种工况,并可以直接石墨化加纯化,具有很强的推广价值。(The invention discloses a graphitization and purification integrated furnace which comprises a furnace body, wherein a furnace body of the furnace body is made of special corrosion-resistant and high-temperature-resistant materials. Because the invention adopts special corrosion-resistant and high-temperature-resistant materials, the invention can deal with various working conditions, can be directly graphitized and purified, and has strong popularization value.)

一种石墨化纯化一体炉

技术领域

本发明涉及一种石墨化纯化一体炉。

背景技术

现在市场对石墨材料的要求越来越高，所以普通石墨材料需要进一步的处理。普通石墨的处理主要分两个方面，一是石墨化，另一个是纯化。

石墨化的处理方法是高温煅烧，通过石墨化可以提高石墨材料的性能，并排出少量杂质。纯化的处理方法是在高温的环境下通过导入纯化气体与普通石墨充分接触，在接触过程中纯化气体与普通石墨材料所含杂质反应生成气体排出，从而达到纯化材料的目的。

目前例如半导体行业，在制备半导体过程中需要消耗大量的高纯石墨材料。现在市场上现有的高温炉功能都是单一的，要么只能做石墨化，要么只能做纯化。单纯石墨化高温炉无法快速排杂，炉子整体结构不耐腐蚀，无法直接纯化，单纯纯化炉无法快速排杂，炉温太低，无法直接石墨化。

发明内容

本发明的目的在于克服以上存在的技术问题，提供一种石墨化纯化一体炉。

为实现上述目的，本发明采用如下的技术方案：

一种石墨化纯化一体炉，包括炉本体，所述炉本体的炉体采用特种抗腐蚀耐高温材料，可以快速排杂，由于采用特种抗腐蚀耐高温材料，因此可以应付各种工况，可以直接石墨化加纯化。

进一步地，所述炉本体还包括监控运行系统，所述监控运行系统包括系统主机和热电偶采集模块，所述热电偶采集模块安装在炉体上，将采集的温度通过RS485总线发送给系统主机。

进一步地，所述热电偶采集模块的型号为DAM3038。

进一步地，所述热电偶采集模块的测温点和头部为绝缘。

进一步地，所述监控运行系统还包括开关信号采集模块，所述开关信号采集模块包括交流开关输入隔离变送器和隔离数字量输入模块，所述炉本体的开关报警信号通过所述交流开关输入隔离变送器变换为直流信号，交流开关输入隔离变送器传输给所述隔离数字量输入模块，所述隔离数字量输入模块再通过RS485总线发送给系统主机。

进一步地，所述交流开关输入隔离变送器的型号为S4431。

进一步地，所述隔离数字量输入模块的型号为DAM3013D。

进一步地，所述监控运行系统还包括直流信号采集模块，所述直流信号采集模块包括数据采集卡和高频差分隔离器变送器，所述高频差分隔离器变送器获取整流器的电压信号后传送给所述数据采集卡，所述数据采集卡通过A/D转换成数字信号后输入给所述系统主机。

进一步地，所述数据采集卡的型号为PCI8620。

本发明采用特种抗腐蚀耐高温材料，使得本发明可以应付各种工况，并可以直接石墨化加纯化，具有很强的推广价值。

附图说明

图1：本发明热电偶采集模块的接线示意图。

图2：本发明直流信号采集模块的接线示意图。

具体实施方式

下面结合附图以及实施例对本发明进行详细说明。

实施例一：

一种石墨化纯化一体炉，包括炉本体，所述炉本体的炉体采用特种抗腐蚀耐高温材料，可以快速排杂，由于采用特种抗腐蚀耐高温材料，因此可以应付各种工况，可以直接石墨化加纯化。

实施例二：

与上述实施例一的区别在于，所述炉本体还包括监控运行系统，如图1所示，所述监控运行系统包括系统主机和热电偶采集模块，所述热电偶采集模块安装在炉体上，将采集的温度通过RS485总线发送给系统主机。其中，所述热电偶采集模块的型号为DAM3038，所述热电偶采集模块的测温点和头部为绝缘，以避免受现场复杂工作环境影响，保证良好的稳定性与安全性。

实施例三：

与上述实施例二的区别仅在于，所述监控运行系统还包括开关信号采集模块，所述开关信号采集模块包括交流开关输入隔离变送器和隔离数字量输入模块，所述炉本体的开关报警信号通过所述交流开关输入隔离变送器变换为直流信号，交流开关输入隔离变送器传输给所述隔离数字量输入模块，所述隔离数字量输入模块再通过RS485总线发送给系统主机。其中，所述交流开关输入隔离变送器的型号为S4431，所述隔离数字量输入模块的型号为DAM3013D。

实施例四：

与上述实施例三的区别仅在于，如图2所示，所述监控运行系统还包括直流信号采集模块，所述直流信号采集模块包括数据采集卡和高频差分隔离器变送器，所述高频差分隔离器变送器获取整流器的电压信号后传送给所述数据采集卡，所述数据采集卡通过A/D转换成数字信号后输入给所述系统主机。其中，所述数据采集卡的型号为PCI8620，所述高频差分隔离器变送器的型号为S1105H。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明而并非限制本发明所描述的技术方案；因此，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本发明已进行了详细的说明，但是，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本发明进行修改或等同替换；而一切不脱离本发明的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本发明的权利要求范围中。