阅读说明：本技术 薄膜输送装置 (Film conveying device ) 是由 朴焘冏 于 2018-09-26 设计创作，主要内容包括：本发明所公开的薄膜输送装置用于输送安放在基板的薄膜。该薄膜输送装置的特征在于,包括：第一输送部,其固定薄膜的一侧端,并用已设定的力拉薄膜；以及第二输送部,其固定薄膜的另一侧端,向与所述第一输送部相反的方向施加力而调节形成于薄膜的张力。(The disclosed film conveying device is used for conveying a film placed on a substrate. The film transfer device is characterized by comprising: a first conveying part which fixes one side end of the film and pulls the film with a set force; and a second conveying part which fixes the other side end of the film and adjusts the tension formed on the film by applying a force in a direction opposite to the first conveying part.)

薄膜输送装置

技术领域

本发明涉及薄膜输送时吸附并夹紧薄膜而以薄膜不受损的方式输送薄膜的薄膜输送装置。

背景技术

在此部分(section)中所述的内容仅为本实施例提供背景信息，并不构成现有技术。

薄膜(film)或片材(Sheet)等的柔性材料广泛应用于包装材料、电子部件等中。例如，柔性电路基板(FPCB,Flexible Printed Circuit Board)是在薄的绝缘薄膜上涂覆像铜箔那样的导电层并在相应的导电层形成微细的电路图案而制成的。由这种方法制成的柔性电路基板会发生电路图案不良等问题，因此有必要进行精密的可靠性检测。

通常，对柔性材料的自动光学检测(AOI，Automated Optical Inspection)以如下方式进行：即，连续接受以卷筒(Roll)状提供的柔性材料，并利用图像处理装置等的检测单元而检测表面状态后搬送。在此情况下，为了柔性材料的供给及搬送而需要输送装置。

以往，作为输送柔性材料的方式主要使用如下方式：即，在薄膜或片材等的柔性材料的边缘以规定的间距形成槽，并将这些槽与齿轮等的输送单元咬合而输送。但是，这种方式需要用于在柔性材料上形成槽的额外的加工工序，并且输送过程中柔性材料本身受损的风险高，因此存在难以进行精密检测的问题。

最近，为了弥补这种齿轮咬合的方式所具有的局限性，开发出以真空吸附方式输送薄膜的方法。

图1为示出以往的薄膜输送装置的图。

如图1所示，以往的薄膜输送装置100利用设置在底座120的上部的多个吸附式夹钳(gripper)110而以真空吸附方式输送薄膜。吸附式夹钳110由形成有多个孔114的本体112和具有排气空间的垫子(pad，未图示)构成。孔114和排气空间相连通，孔114能够与真空喷射泵(Ejector Pump，未图示)连接。在垫子与对象物接触的状态下高速的压缩空气通过真空泵时，垫子内的空气被引导而经过本体及软管(hose)，并与压缩空气一同排出至真空泵的外部。此时，垫子内产生负压，并因这个负压而对象物吸持(Gripping)于垫子上。

但是，以往的薄膜输送装置100仅依赖于真空附着方式而将薄膜附着在装置上，因此作为柔性材料的薄膜的中间部分因张力而向下方弯曲。因此，在输送过程中会发生别的设备和薄膜冲突或接触的问题。此外，在输送地点及输送结束地点振动有可能施加于薄膜，此时，依赖负压而吸附在吸附式夹钳110上的薄膜会从吸附式夹钳110上脱落，从而薄膜的表面会受损严重。

在将如此受损的薄膜输送而进行检测或测量的情况下，检测结果的可信度会降低，并且难以实施精密测量而在检测出不良品方面受限。

发明内容

(发明所要解决的问题)

本发明的一个实施例的目的在于，提供将薄膜稳定地固定于装置上的同时，使因张力而下垂或弯曲的现象最小化，并将薄膜输送至检测装置的薄膜输送装置。

(解决问题所采用的措施)

本发明提供一种薄膜输送装置，其用于输送安放在基板的薄膜，该薄膜输送装置包括：第一输送部，其固定薄膜的一侧端，并用已设定的力拉薄膜；以及第二输送部，其固定薄膜的另一侧端，并向与所述第一输送部相反的方向施加力而调节形成于薄膜的张力。

此外，根据本发明的一个侧面，所述第一输送部具备多个吸附单元而固定所述薄膜的一侧端。

此外，根据本发明的一个侧面，所述第一输送部具备多个固定单元而固定所述薄膜的一侧端。

此外，根据本发明的一个侧面，所述第一输送部具备包括移动部件的移动单元，移动单元从动力提供装置获得动力而使所述第一输送部向已设定的方向移动。

此外，根据本发明的一个侧面，所述第二输送部具备多个吸附单元而固定所述薄膜的另一侧端。

此外，根据本发明的一个侧面，所述第二输送部具备多个固定单元而固定所述薄膜的另一侧端。

此外，根据本发明的一个侧面，所述第二输送部具备包括移动部件的移动单元，移动单元从动力提供装置获得动力而使所述第二输送部向已设定的方向移动。

此外，根据本发明的一个侧面，所述薄膜输送装置还包括第一吸附部，所述第一吸附部结合于所述第一输送部及所述第二输送部的一侧端并吸附薄膜的上端。

此外，根据本发明的一个侧面，所述薄膜输送装置还包括第二吸附部，所述第二吸附部结合于所述第一输送部及所述第二输送部的另一侧端并吸附薄膜的下端。

(发明的效果)

如上所述，根据本发明，具有如下优点：即，利用吸附单元及固定单元而将薄膜稳定地固定于装置上，并用测力单元及张力调节单元维持薄膜的平坦度，据此以薄膜不受损的状态输送至检测装置。

附图说明

图1为示出以往的薄膜输送装置的图。

图2为根据本发明一个实施例的薄膜输送装置的结构图。

图3为根据本发明一个实施例的第一输送部的结构图。

图4为根据本发明一个实施例的吸附单元的结构图。

图5为根据本发明一个实施例的第二输送部的结构图。

图6为示出根据本发明一个实施例的薄膜固定于第一输送部及第二输送部的工序的图。

图7为示出根据本发明一个实施例的薄膜吸附于第一吸附部及第二吸附部的工序的图。

(附图标记的说明)

100：以往的薄膜输送装置；110：吸附式夹钳；120：底座；112：本体；114：孔；

200：薄膜输送装置；210：薄膜；220：第一输送部；230：第二输送部；

240：第一吸附部；250：第二吸附部；310：第一移动单元；

320：第一动力提供装置；330：吸附单元；340：固定单元；350：测力单元；

410：吸附垫；420：真空管路；510：移动单元；520：动力提供装置；

530：吸附单元；540：固定单元；550：张力调节单元；610：第二移动单元；

620：第二动力提供装置

具体实施方式

本发明能够进行多种多样变更而具有各种实施例，并将特定的实施例反映于附图中而详细说明。但是这并不意味着将本发明限定于特定的实施方式，应理解为属于本发明的思想及技术范围内的所有的变更、等同物乃至替代物均包含于本发明中。对各附图进行说明时，对类似的构成要素使用了类似的附图标记。

“第一”、“第二”、“A”、“B”等的术语使用于对多种多样的构成要素的说明，但这些构成要素并不被这些术语所限定。这些术语是为了将一个构成要素与其他的构成要素区别而使用。例如，在不脱离本发明的权利范围的情况下，第一构成要素可被命名为第二构成要素，同样地，第二构成要素也可被命名为第一构成要素。术语“及/或”包括多个相关联的记载项目的组合、或者多个相关联的记载项目中的某一项目。

当提及某种构成要素“连结”或“连接”于其他的构成要素上时，不仅有直接连结或连接于该其他的构成要素上的情况，还有中间存在另外的构成要素的情况。相反，当提及某种构成要素“直接连结”或“直接连接”于其他的构成要素上时，中间不会存在另外的构成要素。

本申请中所使用的术语仅仅是为了说明特定的实施例而使用，并没有限定本发明的意图。单数的表现形式只要在文脉上并无明确具有其他意思就包含复数的表现形式。本申请中所使用的“包括”或“具有”等的术语并不事先排除说明书中所记载的特征、数字、阶段、动作、构成要素、部件或这些的组合的存在或附加的可能性。

在没有另行定义的前提下，包括技术性或科学性术语的本文中使用的所有术语所表达的意思与本发明所属的技术领域中的普通技术人员通常所理解的意思相同。

定义在常用词典中的术语应解释为具有与相关技术的文脉上具有的意思相同的意思，在本申请中没有明确定义的前提下，不会解释成理想性或过度形式性的意思。

图2为本发明的一个实施例的薄膜输送装置的结构图；图3为本发明的一个实施例的第一输送部的结构图；图4为本发明的一个实施例的吸附单元的结构图。此外，图5为本发明的一个实施例的第二输送部的结构图。

薄膜输送装置200可配置在自动光学检测装置(AOI)、柔性(Flexible)检测装置或拉米自动光学检测装置(Lami-AOI)等的检测装置的上部或下部，薄膜输送装置200将作为检测的对象物的薄膜210输送至检测装置。进而，薄膜输送装置200能够改善在薄膜210固定于薄膜输送装置200而输送时可能发生的薄膜210的起皱、扭曲及弯曲等现象。从而，薄膜输送装置200能够将薄膜210以薄膜210不受损的方式输送至检测装置，以在检测装置检测薄膜210时能够确保景深(DOF，Depth of Field)的范围等，据此提高检测结果的精度。

参照图2，本发明的一个实施例的薄膜输送装置200包括：第一输送部220、第二输送部230、第一吸附部240、第二吸附部250以及控制部(未图示)。

薄膜210作为薄膜输送装置200的对象物，薄膜210借助于机械手或销(Pin)等而从前工序输送至位于薄膜输送装置200的下部(-z轴方向)的基板(未图示)上。在此，基板可以以通风板(Air Plate)的形态构成，薄膜210安放在基板上的情况下，薄膜210以从基板悬浮数微米(μm)的形态存在。

第一输送部220在控制部(未图示)的控制下以位于薄膜输送装置200的下部(-z轴方向)的基板为中心向+x轴方向移动，固定薄膜210的一侧端。第一输送部220吸附薄膜210的一侧端的下部面(-z轴方向)，同时夹紧(clamping)薄膜210的一侧端的上部面(+z轴方向)而牢牢固定，据此防止薄膜210从薄膜输送装置200脱离或薄膜210的形态变形的情况。

参照图3至图4详细说明第一输送部220向薄膜210所在的方向移动而固定薄膜210的一侧端的动作及方法。

参照图3，第一输送部220包括：第一移动单元310、第一动力提供装置320、吸附单元330、固定单元340、测力单元350、第二移动单元(未图示)、以及第二动力装置(未图示)。而且，如图4所示，吸附单元330包括吸附垫410及真空管路(vacuum line)420。

第一移动单元310在控制部(未图示)的控制下使第一输送部220向已设定的方向移动。薄膜210安放于基板之前，第一移动单元310向-x轴方向移动而使第一输送部220移动已设定的距离，以避免第一输送部220与薄膜210冲突。若薄膜210借助于机械手或销而安放在基板，则第一移动单元310在控制部(未图示)的控制下将第一输送部220向+x轴方向移动至吸附单元330能够吸附薄膜210的一侧端的位置。

第一移动单元310呈矩形的水平平板状，但并不限于此，只要是能够支撑第一输送部220的各构成要素并能够使第一输送部220的各构成要素稳定地移动的形态，呈任何形态也无妨。第一移动单元310的一面能够具备多个移动部件(未图示)。多个移动部件能够由传送带(conveyer belt)或辊子(roller)等构成，但并不限于此，只要是能够使第一输送部220移动的单元，任何结构也无妨。

第一动力提供装置320给第一移动单元310提供动力以便第一移动单元310使第一输送部220向已设定的方向移动。第一动力提供装置320能够由马达等能够给第一移动单元310提供动力的任何单元形成。

如上所述，第一输送部220利用吸附单元330而吸附薄膜210的一侧端的下部面(-z轴方向)，同时用固定单元340夹紧薄膜210的一侧端的上部面(+z轴方向)，据此将安放于基板的薄膜210的一侧端牢牢固定。

参照图3至图4，吸附单元330包括吸附垫410及真空管路420。通常，吸附垫410吸持(Gripping)作为吸附对象物的薄膜210。吸附垫410以波纹管阀(Bellows Valve)等的柔性管(Flexible Tube)的形态构成，但并不限于此。此外，吸附垫410只要由不会给薄膜210造成瑕疵的材料构成的话，由任何材料构成也无妨。真空管路420通过真空软管(未图示)与真空泵(未图示)连接，真空泵从真空软管接受压缩空气。

吸附单元330在控制部(未图示)的控制下上升至薄膜210所在的高度。吸附单元330能够具备缸体(cylinder，未图示)或凸轮(Cam)，从而利用油压等方式实现上升或下降。

若吸附单元330与薄膜210的高度相对应地上升，吸附单元330则利用吸附垫410吸持薄膜210的一侧端的下部面(-z轴方向)。此时，真空管路420将压缩空气向外部排出。由于压缩空气的排出，吸附垫410和薄膜210之间形成负压而薄膜210固定于吸附垫410。

为了能够吸附薄膜210的一侧端的下部面(-z轴方向)，吸附单元330在第一移动单元310的前端部配置成一排。吸附单元330能够由多个吸附式夹钳等构成，吸附单元330的排列形态是可根据装置的结构而变更。

固定单元340连接在吸附单元330的上部，并且将薄膜210的一侧端的上部面(+z轴方向)夹紧而固定。若薄膜210的一侧端的下部面(-z轴方向)被吸附单元330吸附，固定单元340则为了固定薄膜210的一侧端的上部面(+z轴方向)而向-y轴方向下降。固定单元340能够具备与吸附单元330连接的缸体(未图示)，并利用油压等方式实现上升或下降。与吸附单元330同样地，为了能够夹紧薄膜210的一侧端的上部面(+z轴方向)，固定单元340在第一移动单元310的前端部配置成一排，并能够由多个夹子(clamp)等构成。

第一输送部220利用吸附单元330及固定单元340而固定薄膜210的一侧端，同时用已设定的值的力拉薄膜210。由于薄膜210具有非常薄的厚度，因此若薄膜210固定在装置，薄膜210的表面则会发生扭曲、弯曲、或起皱等的形态的变形。因此，第一输送部220利用第二移动单元(未图示)而用已设定的力拉薄膜210，据此减少发生于薄膜210的表面的扭曲、弯曲、或起皱等的现象。

第二移动单元(未图示)从第二动力提供装置(未图示)获取动力而向-x轴方向移动。更加具体而言，若第一输送部220在第一移动单元310的作用下向薄膜210所在的方向(+x轴方向)移动，并且吸附单元330及固定单元340固定住薄膜210的一侧端，第二移动单元(未图示)则向-x轴方向移动。随着第二移动单元(未图示)向-x轴方向移动，薄膜210向-x轴方向受力。由此，薄膜210的表面维持平平的状态。

测力单元350作为测量施加于薄膜210的力的一种计测器，测力单元350的一侧端与吸附单元330及固定单元340连接，测力单元350的另一侧端与第二移动单元(未图示)及第二动力提供装置(未图示)连接。据此，随着第二移动单元(未图示)将薄膜210向-x轴方向拉，测力单元350能够测出施加于薄膜210的力的大小。测力单元350测出施加于薄膜210的力并将其传送给控制部(未图示)，控制部(未图示)判断测力单元350所测量的值。在测力单元350的测量值未达到已设定的输入值的情况下，控制部(未图示)控制第二动力提供装置(未图示)的动作以便第二移动单元(未图示)将测力单元350向-x轴方向移动而使薄膜210进一步向-x轴方向移动。相反，在测力单元350的测量值已达到已设定的输入值的情况下，控制部(未图示)控制第二动力提供装置(未图示)的动作以便第二移动单元(未图示)不被进一步驱动。

再次参照图2，第二输送部230在控制部(未图示)的控制下以位于薄膜输送装置200的下部(-z轴方向)的基板为中心向-x轴方向移动。而且，第二输送部230吸附薄膜210的另一侧端的下部面(-z轴方向)，同时将薄膜210的另一侧端的上部面(+z轴方向)夹紧而牢牢固定。第二输送部230与第一输送部220以已设定的间隔隔开而成相面对的形态。根据薄膜210的规格，第二输送部230和第一输送部220的间隔可不同。在图5中详细示出第二输送部230。

参照图5，第二输送部230包括：移动单元510、动力提供装置520、吸附单元530、固定单元540、以及张力调节单元550。

移动单元510的一侧面具备多个移动部件(未图示)，并在控制部(未图示)的控制下从动力提供装置520接收动力而使第二输送部230向已设定的方向移动。多个移动部件能够由传送带或辊子等构成，但并不限于此。向基板导入薄膜210之前，移动单元510在控制部(未图示)的控制下向+x轴方向移动而确保充分的距离，以避免第二输送部230与薄膜210冲突。相反，若薄膜210安放在基板，则移动单元510向-x轴方向移动已设定的距离而使吸附单元530固定薄膜210的另一侧端。移动单元510呈矩形的水平平板状，但只要是能够支撑第二输送部230的各构成要素并能够移动的形态，呈任何形态也无妨。

动力提供装置520给移动单元510提供动力以便移动单元510使第二输送部230向已设定的方向移动。动力提供装置520能够由马达等的能够给移动单元510提供动力的任何单元形成。

吸附单元530具备缸体(未图示)，据此利用油压等方式而上升至薄膜210所在的高度之后，吸附薄膜210的另一侧端的下部面(-z轴方向)而吸持。与第一输送部220的吸附单元330相同地，第二输送部230的吸附单元530包括吸附垫410及真空管路420。若吸附垫410吸持薄膜210的另一侧端的下部面(-z轴方向)，真空管路420则利用真空泵而将压缩空气向外部排出。据此，吸附垫410和薄膜210之间形成负压，并且薄膜210的另一侧端的下部面(-z轴方向)因负压而固定于吸附垫410。

为了能够吸附薄膜210的另一侧端，吸附单元530在移动单元510的前端部配置成一排。吸附单元530为多个，并且由能够吸附薄膜210的如吸附式夹钳等的任何单元构成。

若吸附单元530吸附住薄膜210的另一侧端的下部面(-z轴方向)，固定单元540则在控制部(未图示)的控制下向薄膜所在的方向(-y轴方向)下降而夹紧薄膜210的另一侧端的上部面(+z轴方向)而加以固定。固定单元540具备缸体(未图示)，从而能够利用油压等方式而实现上升或下降。与第一输送部220相同地，第二输送部230的固定单元540在吸附单元530的上部配置成一排，并由能够固定薄膜210的夹子等的单元构成。

第二输送部230调节形成于由测力单元350用已设定值的力拉的薄膜210的张力。在第一输送部220的作用下薄膜210受向-x轴方向移动的力，据此维持某种程度的平坦度。但是，由于第一输送部220单纯地向-x轴方向仅移动规定的距离，因此不能够给薄膜210的表面提供均匀的张力，从而薄膜210的表面会产生起褶皱的现象。因此，第二输送部230可通过调节薄膜210的张力来提高薄膜210的平坦度。

如图5所示，张力调节单元550调节第一输送部220向-x轴方向拉薄膜210的力和形成于薄膜210的张力之间的均衡，据此薄膜210在整体上维持一定的张力而维持薄膜210的平坦度。更加具体而言，若第一输送部220的第二移动单元(未图示)与已设定的力的大小成比例向-x轴方向移动，则薄膜210向-x轴方向受力。此时，张力调节单元550为了使薄膜210实现力的平衡而对薄膜210向+x轴方向施力。在对薄膜210向一侧存在较大力的作用的情况下，由于两侧被固定，因此存在薄膜210会破损的风险。即，张力调节单元550调节形成于薄膜210的张力的平衡，据此维持薄膜210的平坦度。

张力调节单元550连接于吸附单元530及固定单元540的后端部而得到配置。除了弹簧以外，张力调节单元550也可由橡胶等的弹性部件构成，只要是具有固有的弹性的材料，由任何材料构成也无妨。

再次参照图2，本发明的一个实施例的薄膜输送装置200不仅固定薄膜210的一侧端及另一侧端，还将薄膜210的上端(+y轴方向)及下端(-y轴方向)的上部面(+Z轴方向)吸附而固定。

如图2所示，第一吸附部240吸附薄膜210的上端的上表面(+z轴方向)而防止薄膜210在重力作用下向下部方向(-z轴方向)下垂。第一吸附部240在控制部(未图示)的控制下向-y轴方向移动至能够吸附薄膜210的位置而吸附薄膜210的上端的上表面(+z轴方向)。另一方面，在基板上安放薄膜210之前，第一吸附部240在控制部(未图示)的控制下向+y轴方向移动而避免与向基板引入的薄膜210冲突。第一吸附部240的下部面(-z轴方向)具备多个吸附单元(未图示)，第一吸附部240利用吸附单元而吸附薄膜210的上端的上表面(+z轴方向)。只要是不损伤地吸附薄膜210的单元，吸附单元呈任何形态也无妨。

第一吸附部240形成为向x轴方向长长地延伸的一字形的架子(frame)形态，并以能够分离的方式结合于第一输送部220及第二输送部230的一侧端。第一吸附部240利用真空吸附的方式而吸附薄膜210，但并不限于此。

第二吸附部250利用具备在下部面(-z轴方向)的多个吸附单元(未图示)而吸附薄膜210的下端的上表面(+z轴方向)。第二吸附部250吸附薄膜210的下端的上表面(+z轴方向)，从而薄膜210不会向下部方向(-z轴方向)垂下或拉伸而维持平平的状态。第二吸附部250在控制部(未图示)的控制下向-y轴方向移动而防止与向基板引入的薄膜210的冲突。若薄膜210安放在基板，第二吸附部250则在控制部(未图示)的控制下向+y轴方向移动至能够吸附薄膜210的位置，并利用多个吸附单元(未图示)而吸附薄膜210的下端的上表面(+z轴方向)。与第一吸附部240类似地，第二吸附部250形成为向x轴方向长长地延伸的一字形的架子形态，并以能够分离的方式结合于第一输送部220及第二输送部230的另一侧端。

控制部(未图示)控制薄膜输送装置200内的各部件的动作。

控制部(未图示)接收用于感测薄膜210位置的位置感测传感器所感测的感测值而控制各部件的动作。传感器设置在基板或别的装置上而感测薄膜210的位置，但只要能够感测薄膜210位置，设置在任何位置上也无妨。若利用机械手或销而将薄膜210从前工序输送至基板的上部，位置感测传感器则感测此情况而将感测值提供给控制部(未图示)。若位置感测传感器感测出薄膜210安放在基板，控制部(未图示)根据感测值控制各部件的动作，以使各部件位于能够吸附薄膜210的位置而吸附住薄膜210。即，若薄膜210安放至基板，控制部(未图示)则进行控制以将第一输送部220、第二输送部230、第一吸附部240及第二吸附部250向已设定的方向移动而能够移动至能够吸附薄膜210的位置。

图6为示出本发明的一个实施例的、薄膜固定于第一输送部及第二输送部的工序的图。

若薄膜210借助于别的器具(例如，机械手或辊子等，未图示)而安放在基板，第一输送部220则在控制部(未图示)的控制下向+x轴方向移动至能够吸附薄膜210的位置，第二输送部230则向-x轴方向移动。第一输送部220及第二输送部230的吸附单元330、530向+y轴方向上升而到达薄膜210所在的高度，并且利用吸附部件而分别吸附薄膜210的一侧端的下部(-z轴方向)及另一侧端的下部(-z轴方向)而吸持。同时，第一输送部220及第二输送部230的固定单元340、540向-y轴方向下降而分别夹紧薄膜210的一侧端的上部(+z轴方向)及另一侧端的上部(+z轴方向)，据此固定住薄膜210。

图7为示出本发明的一个实施例的、薄膜吸附于第一吸附部及第二吸附部的工序的图。

若薄膜210的一侧端及另一侧端被第一输送部220及第二输送部230固定，第一吸附部240及第二吸附部250则在控制部(未图示)的控制下利用具备在下部面(-z轴方向)的吸附单元而分别吸附薄膜210的上端(+y轴方向)及下端(-y轴方向)。

若薄膜210经过上述过程而固定于薄膜输送装置200，第一输送部220则在控制部(未图示)的控制下以已设定的力的值将薄膜210向-x轴方向拉。测力单元350与第二移动单元610连接，第二移动单元610从第二动力提供装置620获得动力而向-x轴方向移动。据此，薄膜210向第二移动单元610的移动方向被拉，从而薄膜210的表面维持平平的状态。因为第二移动单元610拉薄膜210，所以薄膜210能够避免与设置在薄膜输送装置200的下部(-z轴方向)或一部的如光学检测装置等检测装置的冲突或干涉。但是，形成于薄膜210的表面的张力不能均匀分散而薄膜210的表面可能会产生微细的皱纹等。因此，张力调节单元550在形成于薄膜210的张力和测力单元350拉薄膜210的力之间谋求均衡，据此薄膜210在整体上维持一定的张力，从而提高薄膜210的平坦度。

以上说明仅是对本发明的技术思想的示例性说明，只要是本技术领域的普通技术人员在不脱离本发明的本质特性的范围内能够进行各种修改及变更。因此，上述实施例是为了说明实施例，并非限定本发明的技术思想，本发明的技术思想的范围不会被这些实施例所限定。本发明的保护范围的解释以权利要求书的记载为准，与其同等的范围内的所有技术思想均属于本发明的权利范围内。