具体实施方式

体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙 述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围， 且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非架构于限制本案。

本案的致动传感模块100可应用于手机、平板电脑、穿戴式装置或 任何建构以包含微处理器、RAM等零件的类似行动式电子设备。请参阅图1A及 图1B，其为本案的一较佳实施例的致动传感模块的结构示意图。如图所示，致动 传感模块100包含一底板1、一气压传感器2、一薄型气体传输装置3及一盖板4。

底板1具有排列设置的一泄压通孔11、一排气通孔12及一连通孔13，气压传感器2设置于底板1且封盖连通孔13，薄型气体传输装置3设置于底 板1且封盖排气通孔12及泄压通孔11，盖板4设置于底板1并且罩盖气压传感器 2及薄型气体传输装置3，使气压传感器2及薄型气体传输装置3容设于底板1与 盖板4之间，盖板4设有一进气通孔41，进气通孔41对应气压传感器2设置，于 本实施例中，进气通孔41对应位于气压传感器2上方；其中，驱动薄型气体传输 装置3，使气体开始由进气通孔41流入盖板4内，薄型气体传输装置3将气体由排气通孔12排出，并通过气压传感器2检测气压的变化。

请参阅图2，薄型气体传输装置3，包含一薄型气体泵31及一薄型 阀门结构32，薄型气体泵31叠设于薄型阀门结构32上。

请参阅图3A及图3B，薄型气体泵31包含一进气板311、一共振片 312、一致动件313、一第一绝缘框架314、一导电框架315及一第二绝缘框架316； 进气板311具有一第一表面3111、第二表面3112、多个进气孔3113、一汇流腔室 3114及多个进气流道3115。第一表面3111与第二表面3112为相互对应的两表面。 多个进气孔3113于本实施例中其数量为4个，但不以此为限，分别由第一表面3111 贯穿至第二表面3112。汇流腔室3114则由第二表面3112凹陷形成，且位于第二 表面3112中央。多个进气流道3115其数量与位置与进气孔3113相对应，故于本 实施例中其数量同样为4个。进气流道3115的一端分别与对应的进气孔3113连通， 另一端则分别连通至汇流腔室3114，使得气体分别由自进气孔3113进入后，会通 过其对应的进气流道3115，最后汇聚于汇流腔室3114内。

共振片312结合于进气板311的第二表面3112，共振片312包含一 中心孔3121、振动部3122及一固定部3123，中心孔3121于共振片312的中心位 置穿透形成，振动部3122位于中心孔3121的周缘区域，固定部3123位于振动部 3122的外缘，共振片312通过固定部3123与进气板311结合。当共振片312结合 至进气板311时，中心孔3121、振动部3122将与进气板311的汇流腔室3114垂 直对应。

致动件313结合至共振片312，致动件313包含一振动板3131、一 框架3132、多个连接部3133、一压电片3134及多个气体通道3135。振动板3131 呈一正方形态样。框架3132为一方型外框环绕于振动板3131的外围，且具有一第 一导电接脚3132a，第一导电接脚3132a自框架3132的外围沿水平方向延伸。多 个气体通道3135则于振动板3131、框架3132及多个连接部3133之间。其中，致 动件313通过框架3132结合至共振片312的固定部3123，多个连接部3133于本 实施例中其数量为4个，但不以此为限。连接部3133分别连接于振动板3131与框 架3132之间，以弹性支撑振动板3131。压电片3134其形状与面积与振动板3131 相对应，于本实施例中，压电片3134亦为正方形态样，其边长小于或等于振动板 3131的边长，且贴附于振动板3131。此外，振动板3131具有相对的两表面：一上 表面3131a及一下表面3131b，上表面3131a上具有一凸部3131c，而压电片3134 则是贴附于下表面3131b。

第一绝缘框架314、第二绝缘框架316其外型与致动件313的框架 3132相同，皆为方形框架。导电框架315包含一框架部3151、一电极部3152及一 第二导电接脚3153，框架部3151其形状与第一绝缘框架314、第二绝缘框架316 相同为方形框架，电极部3152自框架部3151内侧向中心延伸，第二导电接脚3153 由框架部3151的外周水平方向延伸；其中，第一绝缘框架314结合至致动件313， 导电框架315结合第一绝缘框架314，第二绝缘框架316结合导电框架315。

请参阅图4A及图3A，图4A为薄型气体泵的剖面示意图。进气板311、 共振片312、致动件313、第一绝缘框架314、导电框架315及第二绝缘框架316依序 堆叠，共振片312与振动板3131之间形成一振动腔室317。此外，导电框架315的电 极部3152将抵触致动件313的压电片3134且电性连接，使得致动件313的第一导电接 脚3132a与导电框架315的第二导电接脚3153可对外接收驱动信号(包含驱动电压及 驱动频率)，并将驱动信号传送至压电片3134。

薄型气体泵31的作动请参考图4B至图4D，压电片3134收到驱动信号 后，因压电效应开始产生形变，进而带动振动板3131上下位移。请先参阅图4B， 当振动板3131向下位移时，带动共振片312的振动部3122向下移动，使得汇流腔室 3114的容积增加，开始通过进气孔3113、进气流道3115汲取外部的气体进入至汇流 腔室3114内。再如图4C所示，振动板3131被压电片3134向上带动时，会将振动腔 室317内的气体由中心向外侧推动，推至气体通道3135，以通过气体通道3135向下 导送，同时共振片312会向上移动，推挤汇流腔室3114内的气体通过中心孔3121向 下传输。最后如图4D所示，当振动板3131向下位移复位时，同步带动共振片312的 振动部3122向下移动，振动部3122接近振动板3131的凸部3131c，推动振动腔室317 的气体向外移动，以进入气体通道3135，且由于振动部3122向下位移，使得汇流腔 室3114的容积大幅提升，进而由进气孔3113、进气流道3115吸取外部的气体进入汇流腔室3114内，不断重复以上动作，将气体持续的向下传输至薄型阀门结构32。

请参阅图5A至图5B所示，图5A为薄型阀门结构32的分解示意图， 图5B为薄型阀门结构32另一角度的分解示意图。薄型阀门结构32包含一第一薄板 321、一阀门框架322、一阀门片323及一第二薄板324。

第一薄板321具有一挖空区3211。阀门框架322具有一阀片容置区 3221。阀门片323设置于阀片容置区3221内且具有一阀孔3231，阀孔3231与挖空区 3211错位。其中，阀片容置区3221的形状与阀门片323的形状相同，供阀门片323 固定及定位。

第二薄板324具有一出气表面3241、一泄压表面3242、一出气凹槽 3243、一出气孔3244、一泄压孔3245及一泄压沟渠3246。出气表面3241与泄压表面 3242为两相对表面。出气凹槽3243自该出气表面3241凹陷形成，且与第一薄板321 的挖空区3211部分错位。出气孔3244自出气凹槽3243朝泄压表面3242挖空，且出气 孔3244位置与阀门片323的阀孔3231对应。此外，出气孔3244的孔径大于阀孔3231 的孔径。泄压孔3245与出气凹槽3243间隔设置。泄压沟渠3246自该泄压表面3242 凹陷，且一端与泄压孔3245相连通，另一端延伸至第二薄板324的边缘。其中，第 二薄板324的出气凹槽3243的形状与第一薄板321的挖空区3211的形状可为相同形 状，且可相互对应。

上述的第一薄板321、阀门框架322及第二薄板324皆为金属材质， 于一实施例中，可为相同的金属材质，如不锈钢。

请参阅图6A，图6A为本案薄型气体传输装置的剖面示意图。薄型 阀门结构32的第一薄板321、阀门框架322及第二薄板324依序堆叠固定。阀门 片323容设于阀门框架322的阀片容置区3221内，而薄型阀门结构32结合第二绝 缘框架316，使薄型气体泵31叠置于薄型阀门结构32上。当薄型气体泵31传输 气体至薄型阀门结构32时，如图6B所示，气体进入第一薄板321的挖空区3211， 并推动阀门片323，此时，位于出气凹槽3243上方的阀门片323部分区域将被向 下推动，使气体进入出气凹槽3243内，并通过阀孔3231及第二薄板324的出气孔 3244排出；图6C为薄型阀门结构32的泄压示意图。当薄型气体传输装置3停止 传输气体时，即开始通过薄型阀门结构32进行泄压动作，如图6C所示，气体将 从出气孔3244回传至第二薄板324，同时将阀门片323向上推动，此时阀门片323 的阀孔3231将顶底于第一薄板321而封闭，且位于第一薄板321的挖空区3211 的阀门片323部分区域将被向上推动，气体将由出气凹槽3243进入挖空区3211， 且在通过泄压孔3245及泄压沟渠3246排出气体，完成泄压动作。

请参阅图7A，薄型气体传输装置3的出气孔3244连通于底板1的 排气通孔12，泄压孔3245连通于底板1的泄压通孔11，此外，请继续参阅图7B， 本案的致动传感模块100可连接一正压负载200，正压负载200连接底板的排气通 孔12及连通孔13，当薄型气体传输装置3开始作动后，将气体由出气孔3244、排 气通孔12输送至正压负载200内，对正压负载200进行填充气体的动作，并且由 连通孔13上的气压传感器2取得正压负载200的气压值，以对薄型气体传输装置 3进行调整，请再参阅图7C，当正压负载200需要进行泄压动作时，薄型气体传 输装置3停止作动，并由其薄型阀门结构32协助泄压动作，由排气通孔12将气体 排出。

请再参阅图7D，本案的致动传感模块100亦可连接一负压负载300， 负压负载300连接于盖板4的进气通孔41，当薄型气体传输装置3开始作动后， 便开始由负压负载300汲取气体，再由排气通孔12将气体排出，进入致动传感模 块100内的气体由气压传感器2取得其气压值，以进一步对薄型气体传输装置3 进行调控，而当薄型气体传输装置3提指作动后，便如图7E所示，通过薄型阀门 结构32协助泄压动作，并且防止气体回流。

上述的正压负载200及负压负载300可为一气囊、一气袋或一气瓶、 气罐等可填装气体的容器。

本案的致动传感模块100可为标准模块化IC，其中底板1及盖板4 皆可为IC封装的壳体，将薄型气体传输装置3于IC封装时嵌设其中；值得注意的 是，本案的致动传感模块100可为长度低于18mm、宽度低于16mm、高度低于4mm 的IC芯片。

综上所述，本案所提供的致动传感模块，正压负载或是负压负载的 气囊或气瓶皆可以使用，且无论是正压负载或是负压负载都可以通过气压传感器来 检测，以进一步调控薄型气体传输装置，依法提出申请。

本案得由熟知此技术的人士任施匠思而为诸般修饰，然皆不脱如附 申请专利范围所欲保护者。