一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置、系统及方法

文档序号:1578815 发布日期:2020-01-31 浏览:20次 >En<

阅读说明:本技术 一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置、系统及方法 (Cathode and focusing electrode coaxiality adjusting device, system and method for electron guns ) 是由 王建 王庆祥 刘泳良 于 2019-07-24 设计创作,主要内容包括:本发明实施例公开了一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置、系统及方法,该装置包括:底座、微分头定位件、微分头、螺母、螺钉和聚焦极压块;底座的外表面设置有与螺母和微分头定位件配合的螺纹,底座的内表面用于与电子枪的下框架组件的外表面滑配,底座的端面用于与下框架组件的法兰贴合;微分头定位件设置有第一通孔,第一通孔的轴线与微分头定位件的轴线成第一角度,第一角度为锐角,并通过螺钉将微分头固定于第一通孔中;螺母与微分头定位件反向紧固,用于为调整微分头提供支撑;聚焦极压块的内表面用于与电子枪的聚焦极组件的外表面滑配。本发明实施例实现了同轴度调整装置结构简单,易于加工制造,且无需要求被装配组件有较高的同轴度。(The embodiment of the invention discloses a device, a system and a method for adjusting the coaxiality of a cathode and a focusing electrode of a type electron gun, wherein the device comprises a base, a differential head positioning piece, a differential head, a nut, a screw and a focusing electrode pressing block, the outer surface of the base is provided with threads matched with the nut and the differential head positioning piece, the inner surface of the base is used for being matched with the outer surface of a lower frame assembly of the electron gun in a sliding mode, the end face of the base is used for being attached to a flange of the lower frame assembly, the differential head positioning piece is provided with a through hole, the axis of a through hole and the axis of the differential head positioning piece form a angle, a angle is an acute angle, the differential head is fixed in a through hole through the screw, the nut and the differential head positioning piece are fastened reversely and used for providing support for adjusting the differential head, and the inner surface of the focusing electrode pressing block is used for being matched with the outer surface of the focusing electrode assembly of the electron gun in a.)

一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置、系统及方法

技术领域

本发明实施例涉及电真空器件产品调配技术,尤其涉及一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置、系统及方法。

背景技术

装配模具广为人知,并且被广泛应用于制造加工行业。在冲压、铆接、焊接和凝固等制造加工过程中,由于装配模具能够保持被加工零件的正确位置关系,因此,被认为是制造加工行业中必不可少的部件。此外,由于也是计算加工成本的重要部件,因此,也是需要后勤部门考虑的重要部件。

针对电子枪而言,根据对其结构和性能的要求,其需要满足同轴度的要求,而对于电子枪的核心部件阴极与聚焦极来说,同轴度的精度要求远高于其它零件,这是由于这两个零件的装配精度将直接决定电子的层流特性、柱腰位置和通过率等关键性能指标。通常同轴度的精度要求为:阴极与聚焦极的同轴度为φ0.02mm。其中,阴极具体指阴极组件的阴极饼,聚焦极具体指聚焦极组件的聚焦极孔。与普通机械产品的装配不同,由于电子枪的阴极组件和聚焦极组件有着自己的特点,因此,这为装配模具设计带了新的挑战。具体的:其一、由于它是一种电真空器件,因此,与任何油污、粉尘和有机物等的接触,都会导致其腔体内部的污染,使得工作时真空度大幅度下降,进而导致阴极中毒或螺流增加,甚至组件报废;其二、为了降低阴极功耗,提高效率和使用寿命,通常将阴极组件中与阴极饼和灯丝接触的部位设计成薄壁且狭长的支撑结构,以便拥有最佳的保温效果,但是这种结构也带来了组件的刚度下降,调节所采用的压力应被限制在一定范围内的缺陷;其三、阴极饼的材料为钨海绵,聚焦极孔的材料为钼,这两种材料均为脆性材料,尤其是钨海绵表面还镀有一层降低逸出功的锇,稍有擦碰,就会导致电子枪的发射性能和聚焦效果的损失。

现有技术中,通常采用如下三种方式调整电子枪的阴极与聚焦极的同轴度。具体的:方式一、将阴极组件和聚焦极组件连接的部位设计为松配合,并以此为基准,并分别测量阴极饼的外径和聚焦极孔与该位置的同轴度,计算两个同轴度的差值,在阴极组件外径的不同位置,点焊不同厚度的镍带补偿片,以抵消同轴度差值,将阴极组件与聚焦极组件焊接在一起;方式二、将阴极组件和聚焦极组件连接的部位设计为紧配合,二者连接的部位设计成薄壁,并在其中一个零件上开莲花瓣,然后将另外一个零件压入或套入其中,以保证调配过程可以沿任意方向对零件进行敲打,当尺寸修正合格后,将阴极组件与聚焦极组件焊接在一起;方式三、将阴极组件和聚焦极组件连接的部位设计为滑配,并设计阶梯轴孔模具,阶梯的高度差与设计值一致,阶梯轴孔模具的轴外径与聚焦极孔滑配,阶梯轴孔模具的孔内径与阴极饼外径滑配,直接将阴极组件和聚焦极组件装配在模具上,并焊接在仪器上。

然而,发现现有技术至少存在如下缺陷,具体的:方式一需要准备不同厚度的镍带,且需要通过敲打才可以将同轴度调整到满足要求;方式二虽然提高了敲打效率,但薄壁结构降低了系统的刚度;方式三虽然提高了装配效率,但是如果不在焊接前复验尺寸,则可能会出现超差的情况。上述表明,虽然三种方式不同,但整个调整过程均涉及敲打操作,上述增大了调整难度,并且随机性明显,可控性差。

发明内容

本发明实施例提供了一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置、系统及方法,以简化同轴度调整装置的结构,降低对被装配的组件的同轴度要求,提高电子***造精度。

第一方面,本发明实施例提供了一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置,该电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置包括:底座、微分头定位件、微分头、螺母、螺钉和聚焦极压块;

所述底座的外表面设置有与所述螺母和所述微分头定位件配合的螺纹,所述底座的内表面用于与电子枪的下框架组件的外表面滑配,所述底座的端面用于与所述下框架组件的法兰贴合;

所述微分头定位件设置有第一通孔,所述第一通孔的轴线与所述微分头定位件的轴线成第一角度,所述第一角度为锐角,并通过所述螺钉将所述微分头固定于所述第一通孔中;

所述螺母与所述微分头定位件反向紧固,用于为调整所述微分头提供支撑;

所述聚焦极压块的内表面用于与电子枪的聚焦极组件的外表面滑配。

进一步的,所述微分头还设置有第二通孔,所述第二通孔的轴线与所述微分头定位件的轴线成第二角度;

所述第二通孔用于提供激光焊接通道。

进一步的,所述微分头定位件和所述微分头的端面用于为测量仪的测量镜头提供对焦空间,所述测量仪用于测量所述电子枪的阴极与聚焦极的同轴度。

进一步的,所述聚焦极压块的外表面设置倒角,所述倒角的法线与所述微分头的轴线同向。

进一步的,所述第一通孔的个数为三个,所述第一通孔均匀分布于所述微分头定位件上;所述第一角度大于等于60°且小于等于70°。

进一步的,所述第二通孔的个数为三个,所述第二通孔均匀分布于所述微分头定位件上。

第二方面,本发明实施例还提供了一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统,该电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统包括本发明实施例第一方面所述的电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置,还包括电子枪;所述电子枪包括阴极组件、所述下框架组件和所述聚焦极组件;

所述电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置用于调整所述阴极组件的阴极和所述聚焦极组件的聚焦极的同轴度。

第三方面,本发明实施例还提供了一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整方法,该方法包括:

通过激光焊将所述阴极组件和所述下框架组件连接,将所述阴极组件和所述下框架组件放置于所述底座上,并将所述聚焦极组件和所述聚焦极压块扣上;

通过所述螺钉将所述微分头锁紧在所述微分头定位件上,将所述微分头定位件安装于所述底座上,并旋转所述微分头定位件直至所述微分头与所述聚焦极压块之间的距离小于等于距离阈值;

通过旋转所述设置于所述第一通孔上的微分头,以实现所述聚焦极压块带动所述聚焦极组件在水平方向上滑动,直至所述阴极组件的阴极饼与所述聚焦极组件的聚焦极孔的同轴度大于等于第二同轴度阈值且小于等于第一同轴度阈值,所述第一同轴度阈值大于所述第二同轴度阈值。

进一步的,所述通过旋转所述设置于所述第一通孔上的微分头,以实现所述聚焦极压块带动所述聚焦极组件在水平方向上滑动,直至所述阴极组件的阴极饼与所述聚焦极组件的聚焦极孔的同轴度大于等于第二同轴度阈值且小于等于第一同轴度阈值之后,还包括:

将所述电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统放置于测量仪上,通过所述测量仪获得所述阴极饼与所述聚焦极孔的同轴度和偏心方向,并通过调节所述设置于所述第一通孔上的微分头的松紧度,继续调节所述阴极饼与所述聚焦极孔的同轴度,直至所述阴极饼与所述聚焦极孔的同轴度小于所述第二同轴度阈值。

进一步的,所述将所述调整系统放置于测量仪上,通过所述测量仪获得所述阴极饼与所述聚焦极孔的同轴度和偏心方向,并通过调节所述设置于所述第一通孔上的微分头的松紧度,继续调节所述阴极饼与所述聚焦极孔的同轴度,直至所述阴极饼与所述聚焦极孔的同轴度小于所述第二同轴度阈值之后,还包括:

通过激光焊将所述聚焦极组件和所述下框架组件预固定连接,并取下所述微分头定位件,将所述聚焦极组件和所述下框架组件完全焊接。

本发明实施例通过设计包括底座、微分头定位件、微分头、螺母、螺钉和聚焦极压块的同轴度调整装置,其中,底座的外表面设置有与螺母和微分头定位件配合的螺纹,底座的内表面用于与电子枪的下框架组件的外表面滑配,底座的端面用于与下框架组件的法兰贴合,微分头定位件设置有第一通孔,第一通孔的轴线与微分头定位件的轴线成第一角度,第一角度为锐角,并通过螺钉将微分头固定于第一通孔中,螺母与微分头定位件反向紧固,用于为调整微分头提供支撑,聚焦极压块的内表面用于与电子枪的聚焦极组件的外表面滑配。上述实现了同轴度调整装置结构简单,易于加工制造,且无需要求被装配组件有较高的同轴度,进而也提高了电子***造精度。

附图说明

图1是本发明实施例中的一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置的结构示意图;

图2是本发明实施例中的一种电子枪的阴极与聚焦极的同轴度调整装置的等轴测图;

图3是本发明实施例中的一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统的结构示意图;

图4是本发明实施例中的一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统的局部剖视示意图;

图5是本发明实施例中的一种电子枪的阴极组件的结构示意图;

图6是本发明实施例中的一种电子枪的下框架组件的结构示意图;

图7是本发明实施例中的一种电子枪的聚焦极组件的结构示意图;

图8是本发明实施例中的一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整方法的流程图;

图9是本发明实施例中的一种模具组件的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定,实施例中记载的各个特征可进行组合,形成多个可选方案。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

图1为本发明实施例提供的一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置的结构示意图,本实施例可适用于调整电子枪的阴极与聚焦极同轴度的情况。如图1所示,该电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置10具体可以包括底座101、微分头定位件102、微分头103、螺母104、螺钉105和聚焦极压块106,下面对其结构和功能进行说明。

底座101的外表面可设置有与螺母104和微分头定位件102配合的螺纹,底座101的内表面可用于与电子枪的下框架组件(图1未示出)的外表面滑配,底座101的端面可用于与下框架组件的法兰(图1未示出)贴合。

微分头定位件102可设置有第一通孔,第一通孔的轴线可与微分头定位件102的轴线成第一角度,第一角度可为锐角,并可通过螺钉105将微分头103固定于第一通孔中。

螺母104与微分头定位件102可反向紧固,用于为调整微分头103提供支撑。

聚焦极压块106的内表面可用于与电子枪的聚焦极组件(图1未示出)的外表面滑配。

在本发明的实施例中,电子枪的阴极与聚焦极的同轴度调整装置10具体可以包括底座101、微分头定位件102、微分头103、螺母104、螺钉105和聚焦极压块106。底座101的外表面可设置有与微分头定位件102和螺母104配合的螺纹,其内表面的台阶孔可与电子枪的下框架组件的外表面滑配,可起到同轴固定的功能,并且可以保护电子枪的阴极组件、下框架组件和聚焦极组件免受激光焊飞溅的污染。螺母104与微分头定位件102可反向紧固,互相锁死,以便为调整微分头103提供稳定的支撑。其中,螺母104可为薄螺母。底座101的端面可与电子枪的下框架组件的法兰贴合。聚焦极压块106的内表面可与电子枪的聚焦极组件的外表面滑配。上述通过将聚焦极压块106与聚焦极组件接触,避免了微分头103的端面顶在聚焦极组件的外壁,而对聚焦极组件造成磨损。此外,可使用不同规格的底座101和聚焦极压块106对不同直径和高度差要求的阴极与聚焦极进行调整。

微分头定位件102上设置有第一通孔,第一通孔的轴线可与微分头定位件102的轴线成第一角度,可通过螺钉105将微分头103锁紧在第一通孔中,微分头103与第一通孔的配合方式可为松配合。其中,针对第一角度作如下说明:如图2所示,给出了一种电子枪的阴极与聚焦极的同轴度调整装置的等轴测图。图2中θ可表示第一角度。第一角度θ需满足如下条件:第一角度θ可为锐角,以保证微分头可产生向下的压力;第一角度θ需保证微分头的端面不影响测量仪的测量镜头。示例性的,如60°≤θ≤70°。

需要说明的是,第一通孔的个数可根据实际情况进行设定,在此不作具体限定。示例性的,如第一通孔的个数为三个。如果第一通孔的个数为至少三个,则各第一通孔之间的间隔可以相同,也可以不同,具体也可根据实际情况进行设定,在此也不作具体限定。如果各第一通孔之间的间隔相同,则可以说明各第一通孔均匀分布在微分头定位件102上。可选的,各第一通孔之间的间隔相等。第一通孔的尺寸可根据实际情况进行设定,在此不作具体限定。

还需要说明的是,微分头103可不含有润滑油,或者,通过酒精或丙酮等的清洗,已去除内部的油污。即微分头103可为无油微分头或为经去油处理的微分头。上述通过选用无油微分头或对微分头进行去油处理,实现了调整装置中无润滑油或有机物的存在,进而实现了对电真空器件不造成污染。此外,微分头103不用时,可将其放置在干燥柜中保存,以防止生锈。

本实施例的技术方案通过设计包括底座、微分头定位件、微分头、螺母、螺钉和聚焦极压块的同轴度调整装置,其中,底座的外表面设置有与螺母和微分头定位件配合的螺纹,底座的内表面用于与电子枪的下框架组件的外表面滑配,底座的端面用于与下框架组件的法兰贴合,微分头定位件设置有第一通孔,第一通孔的轴线与微分头定位件的轴线成第一角度,第一角度为锐角,并通过螺钉将微分头固定于第一通孔中,螺母与微分头定位件反向紧固,用于为调整微分头提供支撑,聚焦极压块的内表面用于与电子枪的聚焦极组件的外表面滑配。上述实现了同轴度调整装置结构简单,易于加工制造,且无需要求被装配组件有较高的同轴度,进而也提高了电子***造精度。

可选的,在上述技术方案的基础上,微分头定位件102具体还可以设置有第二通孔,第二通孔的轴线可与微分头定位件102的轴线成第二角度。

第二通孔可用于提供激光焊接通道。

在本发明的实施例中,微分头定位件102还可设置有第二通孔,第二通孔的轴线可与微分头定位件102的轴线成第二角度。第二通孔可用于给激光焊接提供足够的通道。需要说明的是,第二通孔的个数可根据实际情况进行设定,在此不作具体限定。示例性的,如第二通孔的个数为三个。如果第二通孔的个数为至少三个,则各第二通孔之间的间隔可以相同,也可以不同,具体也可根据实际情况进行设定,在此也不作具体限定。如果各第二通孔之间的间隔相同,则可以说明各第二通孔均匀分布在微分头定位件102上。可选的,各第二通孔之间的间隔相等。还需要说明的是,各第一通孔和各第二通孔可间隔设置。示例性的,如第一通孔的个数和第二通孔的个数均为三个,第一通孔和第二通孔等间隔设置,即相邻第一通孔和第二通孔之间间隔60°。第二通孔另需要说明的是,第二角度可根据实际情况进行设定,在此不作具体限定。可选的,第二角度为90°。此外,针对第二通孔的尺寸和装配位置作如下说明,由于第二通孔可用于提供足够大的的激光焊接通道,因此,第二通孔的尺寸越大越好,具体可根据实际情况进行设定,在此不作具体限定。第二通孔的尺寸与第一通孔的尺寸可以相同,也可以不同,具体可根据实际情况进行设定,在此不作具体限定。当装配时,可通过旋转设置在底座101上的微分头定位件102,使得第二通孔的中心与焊接的对接面近似等高,再反向拧螺母104,将第二通孔固定在这个位置。其中,对接面为电子枪的阴极组件与电子枪的下框架组件中的法兰接触的位置所对应的面。即需要在与两个法兰接触的位置施加激光焊。需要说明的是,上述为装置位置而并不是第二通孔在微分头定位件102上的位置要求。对于第二通孔在微分头定位件102上的位置,可根据实际情况进行设定,在此不作具体限定。

上述当将装配模具(即电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置)与被装配组件(即电子枪的阴极组件与下框架组件)装配完毕,可通过在微分头定位件102上设置第二通孔,为激光焊接预留足够的空间,以便让激光焊可顺利到达指定位置而无干涉存在。此外,装配模具可将待激光焊的区域压紧,使零件受力方向与热应力引起的变形方向一致,从而可保证焊接完成后不再发生额外的应力变形。

可选的,在上述技术方案的基础上,微分头定位件102和微分头103的端面用于为测量仪(图1未示出)的测量镜头提供对焦空间,测量仪可用于测量电子枪的阴极与聚焦极的同轴度。

在本发明的实施例中,微分头定位件102的端面和微分头103的端面可开放空间,以便为测量仪的测量镜头提供足够的对焦空间。测量仪可用于测量电子枪的阴极与聚焦极的同轴度。其中,测量仪可以为视频影像测量仪。

可选的,在上述技术方案的基础上,聚焦极压块106的外表面可设置倒角,倒角的法线可与微分头103的轴线同向。

在本发明的实施例中,聚焦极压块106的外表面可设置倒角,并且倒角的法线方向可与微分头103的轴线方向同向。

可选的,在上述技术方案的基础上,第一通孔的个数可为三个,第一通孔可均匀分布于微分头定位件102上。

可选的,在上述技术方案的基础上,第一通孔的角度可大于等于60°且小于等于70°。

可选的,在上述技术方案的基础上,第二通孔的个数可为三个,第二通孔可均匀设置于微分头定位件102上。

可选的,在上述技术方案的基础上,第二角度可为90°。

可选的,在上述技术方案的基础上,第一通孔的个数可与第二通孔的个数相等,第一通孔和第二通孔可等间隔均匀设置于微分头定位件102上。

需要说明的是,本发明实施例所提供的电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置的结构简单,易于加工制造,且无需要求被装配组件(即电子枪的阴极组件、下框架组件和聚焦极组件)有较高的同轴度。此外,电子***造精度也有大幅度提高。

图3为本发明实施例提供的一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统的结构示意图,本实施例可适用于调整电子枪的阴极与聚焦极同轴度的情况。如图3所示,该电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统具体可以包括如本发明实施例所述的电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置10(图3未示出),具体还可以包括电子枪11。电子枪11具体可以包括阴极组件111、下框架组件112和聚焦极组件113。

电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置可用于调整阴极组件111的阴极和聚焦极组件113的聚焦极的同轴度。

在本发明的实施例中,需要说明的是,阴极组件111的阴极与聚焦极组件113的聚焦极的同轴度具体可指阴极组件111的阴极饼与聚焦极组件113的聚焦极孔的同轴度。如图4所示,给出了一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统的局部剖视示意图。如图5所示,给出了一种电子枪的阴极组件的结构示意图。如图6所示,给出了一种电子枪的下框架组件的结构示意图。如图7所示,给出了一种电子枪的聚焦极组件的结构示意图。

需要说明的是,本发明实施例所提供的装配模具(即电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置)可使得下框架组件和聚焦极组件的装配过程稳定,组件之间的接触良好和受力均匀。

还需要说明的是,可通过调整装配顺序,将高度差与平行度的调节单独设计为一组,具体可采用简单的模具调节完成后,再采用本发明实施例所提供的电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整装置实现同轴度的快速调节。

本实施例的技术方案实现了同轴度调整装置结构简单,易于加工制造,且无需要求被装配组件有较高的同轴度,进而也提高了电子***造精度。

图8为本发明实施例提供的一种电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整方法的流程图,本实施例可适用于调整电子枪的阴极与聚焦极同轴度的情况。该方法可以由电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统来执行。如图8所示,具体包括如下步骤:

步骤210、通过激光焊将阴极组件和下框架组件连接,将阴极组件和下框架组件放置于底座上,并将聚焦极组件和聚焦极压块扣上。

在本发明的实施例中,阴极组件111和下框架组件112可通过激光焊进行连接。具体可通过如图9所示的模具组件12将阴极组件111和下框架组件112进行激光焊连接。如图9所示,给出了一种模具组件的结构示意图。模具组件5可用于实现阴极组件111与下框架组件112的激光焊连接,并且激光焊连接过程高度差可控,平行度和高度差也均可直接测量。模具组件5具体通过将需要定定位进行定位,需要压紧进行压紧,并为阴极组件111与下框架组件112的法兰接触位置预留激光焊接的空间。

可将连接好的阴极组件111与下框架组件112放置于底座101上,并将聚焦极组件113(图9未示出)扣上。具体可采用陶瓷镊子将聚焦极组件113扣上,并保证在扣上过程中聚焦极组件113不与阴极组件111的阴极饼产生碰撞。将聚焦极组件113扣上后,再将聚焦极压块106扣上。

步骤220、通过螺钉将微分头锁紧在微分头定位件上,将微分头定位件安装于底座上,并旋转微分头定位件直至微分头与聚焦极压块之间的距离小于等于距离阈值。

在本发明的实施例中,可通过螺钉104将微分头103预先锁紧在微分头定位件102上,并可通过旋转微分头定位件102,将其安装在底座101上,以及,直至微分头103与聚焦极压块106之间的距离小于等于距离阈值。其中,距离阈值的具体数值可根据实际情况进行设定,在此不作限定。

步骤230、通过旋转设置于第一通孔上的微分头,以实现聚焦极压块带动聚焦极组件在水平方向上滑动,直至阴极组件的阴极饼与聚焦极组件的聚焦极孔的同轴度大于等于第二同轴度阈值且小于等于第一同轴度阈值,第一同轴度阈值大于第二同轴度阈值。

在本发明的实施例中,可通过旋转设置于第一通孔上的微分头103,控制聚焦极压块106带动聚焦极组件沿水平方向滑动,直至阴极组件的阴极饼与聚焦极组件的聚焦极孔的同轴度大于等于第二同轴度阈值且小于等于第一同轴度阈值。第一同轴度阈值可大于第二同轴度阈值。第一同轴度阈值的具体数值大小可根据实际情况进行设定,在此不作具体限定。第二同轴度阈值的具体数值大小也可根据实际情况进行设定,在此也不作具体限定。

本实施例的技术方案实现了同轴度调整装置结构简单,易于加工制造,且无需要求被装配组件有较高的同轴度,进而也提高了电子***造精度。

可选的,在上述技术方案的基础上,通过旋转设置于第一通孔上的微分头,以实现聚焦极压块带动聚焦极组件在水平方向上滑动,直至阴极组件的阴极饼与聚焦极组件的聚焦极孔的同轴度大于等于第二同轴度阈值且小于等于第一同轴度阈值之后,具体还可以包括:将电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统放置于测量仪上,通过测量仪获得阴极饼与聚焦极孔的同轴度和偏心方向,并通过调节设置于第一通孔上的微分头的松紧度,继续调节阴极饼与聚焦极孔的同轴度,直至阴极饼与聚焦极孔的同轴度小于第二同轴度阈值。

在本发明的实施例中,为了进一步提高同轴度的精度,可采用测量仪对同轴度进行调整。可将电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统放置于测量仪上,通过测量仪测量阴极组件111的阴极饼与聚焦极组件113的聚焦极孔的同轴度和偏心方向,并可通过调节设置于第一通孔上的微分头的松紧度,继续调节阴极饼与聚焦极孔的同轴度,直至阴极饼与聚焦极孔的同轴度满足第二同轴度阈值。这里所述的测量仪可指视频影像测量仪。测量仪可通过如下方式进行同轴度测量,具体的:阴极组件111和聚焦极组件113之间存在间隙,测量仪可检测间隙的内径和外径,如果间隙的内径和外径的差值满足间隙阈值,则可以确定阴极饼与聚焦极孔的同轴度较好。

上述装配模具所使用的测量仪,由于可快速对阴极组件和聚焦极组件的尺寸精度进行测量,因此,可及时发现问题并采用微分头进行定向定量的调节。

可选的,在上述技术方案的基础上,将电子枪的阴极与聚焦极同轴度调整系统放置于测量仪上,通过测量仪获得阴极饼与聚焦极孔的同轴度和偏心方向,并通过调节设置于第一通孔上的微分头的松紧度,继续调节阴极饼与聚焦极孔的同轴度,直至阴极饼与聚焦极孔的同轴度小于第二同轴度阈值之后,具体还可以包括:通过激光焊将聚焦极组件和下框架组件预固定连接,并取下微分头定位件,将聚焦极组件和下框架组件完全焊接。

在本发明的实施例中,可通过激光焊将聚焦极组件113和下框架组件112预固定连接,松开并取下微分头定位件102,再可通过激光焊将聚焦极组件113和下框架组件112完全焊接。

上述实现了采用激光焊将阴极组件与下框架组件激光焊连接,以及,将下框架组件与聚焦极组件连接。

以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

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