阅读说明：本技术 玻璃薄膜的制造方法 (Method for producing glass film ) 是由 猪饲直弘 村田宪一 于 2018-08-20 设计创作，主要内容包括：本发明的玻璃薄膜的制造方法,具备对于沿着规定的搬送方向(X)搬送的带状的玻璃薄膜(G1)照射激光(L)从而割断玻璃薄膜(G1)的割断工序(S5)。在割断工序(S5)中,具备：通过具有开口部(25a)的平台(22)支承玻璃薄膜(G1)的下表面,并且由开口部(25a)吸引玻璃薄膜(G1)的工序；对于被开口部(25a)吸引的玻璃薄膜(G1)照射激光(L)的工序。(The method for producing a glass thin film comprises a step (S5) of irradiating a laser beam (L) to a strip-shaped glass thin film (G1) conveyed in a predetermined conveyance direction (X) to cut the glass thin film (G1). The cleaving step (S5) includes: supporting the lower surface of the glass film (G1) by a stage (22) having an opening (25a), and sucking the glass film (G1) through the opening (25 a); and a step of irradiating the glass film (G1) sucked into the opening (25a) with a laser beam (L).)

玻璃薄膜的制造方法

技术领域

本发明涉及例如制造带状的玻璃薄膜的方法。

背景技术

众所周知，用于液晶显示器、有机EL显示器等的平板显示器(FPD)的平板玻璃，用于有机EL照明的平板玻璃，用于作为触控面板的构成要素的强化玻璃等的制造的玻璃板，还有用于太阳能电池的面板等的玻璃板，实际情况是薄壁化被推进。

例如在专利文献1中公开有一种厚度为数百μm以下的玻璃薄膜(薄平板玻璃)。这种玻璃薄膜，如同文献中也记述的那样，一般是由采用了所谓溢流下拉法的成形装置连续成形而成。

在专利文献1中公开的玻璃薄膜的制造方法中，通过溢流下拉法连续成形得到的长形的玻璃薄膜，其搬送方向从垂直方向被变换成水平方向后，由搬送装置的横向搬送部(水平搬送部)继续向下游侧搬送。在此搬送途中，玻璃薄膜其宽度方向两端部(耳部)被切断除去。其后，玻璃薄膜由卷取辊卷取成卷状从而作为玻璃卷而构成。

作为切断玻璃薄膜的宽度方向两端部的技术，在专利文献1中公开有激光切割。在此激光切割方法中，一边搬送玻璃薄膜，一边通过金刚石切割器等的裂痕形成机构在玻璃薄膜上形成初始裂痕后，对这部分照射激光进行加热，其后，由冷却机构冷却被加热的部分。由此，在玻璃薄膜上发生热应力，在此热应力下初始裂痕进展，由此该玻璃薄膜的宽度方向端部被割断。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2012－240883号公报

一边搬送厚度为200μm以下的超薄型的玻璃薄膜，一边利用上述的激光切割方法进行切断时，在玻璃薄膜的搬送中，该玻璃薄膜上会发生无数的褶皱。在现有的激光切割方法中，若以该褶皱重叠在激光的照射位置上的状态进行玻璃薄膜的割断，则在割断后的玻璃薄膜的端面(截面)，会有因褶皱引起的不良部分残留这样的问题。

发明内容

本发明鉴于上述的情况而形成，其技术课题为，防止通过激光切割切断玻璃薄膜后的端面不良的发生。

本发明是为了解决上述的课题的发明，是一种玻璃薄膜的制造方法，是具备通过对于沿规定的搬送方向被搬送的带状的玻璃薄膜照射激光从而割断所述玻璃薄膜的割断工序的玻璃薄膜的制造方法，其特征在于，所述割断工序具备：由具有开口部的平台支承所述玻璃薄膜的下表面，并且由所述开口部吸引所述玻璃薄膜的工序；对被所述开口部吸引的所述玻璃薄膜照射所述激光的工序。

根据这一构成，在割断工序中，利用平台的开口部，吸引沿着搬送方向被搬送的带状的玻璃薄膜的一部分，由此能够防止被吸引的玻璃薄膜的部分发生褶皱，或者可以使玻璃薄膜上已发生的褶皱消失。通过对玻璃薄膜的吸引部分照射激光而进行割断，能够确实地防止割断面(端面)的不良发生。

另外，优选所述割断工序中，具备由具有规定的通过线的搬送装置搬送所述玻璃薄膜的工序，所述平台具备支承所述玻璃薄膜的支承部，所述支承部的上表面与所述通过线相比位于上方。如此，通过将平台的支承部的上表面与通过线相比配置在上方，从而在由搬送装置搬送的玻璃薄膜通过平台时被支承部推起。由此，能够有效地防止通过平台时的玻璃薄膜发生褶皱。

在上述的方法中，所述支承部构成为，与所述开口部相比在所述搬送方向的下游侧支承所述玻璃薄膜，所述割断工序具备朝向与所述开口部相比在下游侧被所述支承部支承的所述玻璃薄膜放出制冷剂的冷却工序。

被开口部吸引的玻璃薄膜，在经由激光的照射被局部地加热后，在其下游的位置被制冷剂冷却。由于激光的加热带来的膨胀和制冷剂的冷却带来的收缩，在玻璃薄膜中发生热应力。该热应力致使裂痕进展，由此玻璃薄膜被高精度地割断。在此情况下，制冷剂在开口部的下游侧与玻璃薄膜接触。在此位置，支承部以不会因制冷剂的压力而变形的方式支承玻璃薄膜。由此能够防止由玻璃薄膜的变形造成的端面不良的发生。

优选在所述割断工序中，具备调整所述开口部的所述玻璃薄膜的吸引力的工序。由开口部吸引玻璃薄膜时，若其吸引力过强，则有可能阻碍玻璃薄膜的搬送。在割断工序中，通过调整开口部的吸引力，能够适宜地搬送玻璃薄膜并进行其割断。

优选在所述割断工序中，所述玻璃薄膜通过所述开口部时的所述玻璃薄膜的上下运动的振幅为50μm以下。如此，通过尽可能地减小玻璃薄膜的上下运动的振幅，由此能够抑制玻璃薄膜的割断面的端面不良的发生。

若开口部的吸引过剩，则玻璃薄膜的变形量过大，成为割断后的玻璃薄膜的端面不良的原因。为了防止这样的端面不良的发生，优选所述开口部的吸引造成的所述玻璃薄膜的变形量为0.3mm以下。

在上述的制造方法中，所述平台的所述开口部具有一定的宽度，优选所述开口部的所述宽度为3mm以上、30mm以下。由此，开口部能够以恰当的力吸引玻璃薄膜。

根据本发明，能够防止由激光切割切断玻璃薄膜后的端面不良的发生。

附图说明

图1是表示玻璃薄膜的制造装置的侧视图。

图2是表示玻璃薄膜的制造装置的一部分的俯视图。

图3是图2的Ⅲ－Ⅲ线剖视图。

图4是平台的俯视图。

图5是图2的Ⅴ－Ⅴ线剖视图。

图6是表示玻璃薄膜的制造方法的流程图。

图7是表示割断工序中的玻璃薄膜的形态的剖视图。

图8是表示割断工序中的玻璃薄膜的形态的剖视图。

图9是表示割断工序中的玻璃薄膜的举动的剖视图。

图10是表示吸引装置的另一例的俯视图。

图11是图10的Ⅺ－Ⅺ线剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对用于实施本发明的方式进行说明。图1至图9表示本发明的玻璃薄膜的制造方法以及制造装置的一个实施方式。

如图1所示，制造装置1具备：成形带状的母材玻璃薄膜G的成形部2；将母材玻璃薄膜G的行进方向从纵下方向变换成横向的方向变换部3；方向变换后将母材玻璃薄膜G沿横向搬送的第一搬送部4；切断母材玻璃薄膜G的宽度方向端部(耳部)的第一切断部5；将除去了耳部后的玻璃薄膜(以下称为“第一玻璃薄膜”)G1卷取成卷状而构成第一玻璃卷GRL1的第一卷取部6。

此外，制造装置1具备：从第一玻璃卷GRL1上取出第一玻璃薄膜G1的取出部7；将从取出部7取出的第一玻璃薄膜G1沿横向搬送的第二搬送部8；切断第一玻璃薄膜G1的一部分的第二切断部9；将被第二切断部9切断的玻璃薄膜(以下称为“第二玻璃薄膜”)G2卷取成卷状而构成第二玻璃卷GRL2的第二卷取部10。

成形部2具备：在上端部形成有溢流槽11a的剖视大致为楔形的成形体11；配置于成形体11的正下方，从正反两侧夹持从成形体11溢出的熔融玻璃GM的辊式拉边器12；配备在辊式拉边器12的正下方的退火炉13。

成形部2使从成形体11的溢流槽11a溢流出的熔融玻璃GM分别沿着两侧面流下，在其下端部使之合流而成形为薄膜状。辊式拉边器12限制该熔融玻璃GM的宽度方向收缩而成为规定宽度的母材玻璃薄膜G。退火炉13用于对母材玻璃薄膜G实施去应力处理。退火炉13具有在上下方向多段配设的退火炉辊14。

在退火炉13的下方，配设有从正反两侧挟持母材玻璃薄膜G的支承辊15。在支承辊15与辊式拉边器12之间，或在支承辊15与任意一处的退火炉辊14之间，施加用于助长使母材玻璃薄膜G成为薄壁的张力。

方向变换部3设于支承辊15的下方位置。在方向变换部3，弯曲状地排列有多个引导母材玻璃薄膜G的导辊16。这些导辊16将垂直方向搬送的母材玻璃薄膜G向横向引导。

第一搬送部4配置在方向变换部3的行进方向前方(下游侧)。第一搬送部4由带式输送机构成，但不限定于这一构成，也能够使用像辊式输送机这样其他的各种搬送装置。第一搬送部4通过驱动无端带状的皮带4a，将通过方向变换部3后的母材玻璃薄膜G向下游侧连续地搬送。

第一切断部5配置在第一搬送部4的上方。在本实施方式中，第一切断部5通过激光切割切断母材玻璃薄膜G。第一切断部5含有一对激光照射装置17a，和配置在该激光照射装置17a的下游侧的一对冷却装置17b。第一切断部5，从各激光照射装置17a对所搬送的母材玻璃薄膜G的规定部位照射激光L而对其加热后，再从冷却装置17b放出制冷剂R，对该加热部位进行冷却。

第一卷取部6设置在第一搬送部4和第一切断部5的下游侧。第一卷取部6通过使卷芯18旋转，将第一玻璃薄膜G1卷取成卷状。如此构成的第一玻璃卷GRL1被搬送至取出部7的位置。取出部7从被第一卷取部6构成的第一玻璃卷GRL1拉出第一玻璃薄膜G1，供给到第二切断部9。

第二搬送部8沿着横向(以下称为“搬送方向”)X搬送在取出部7中从第一玻璃卷GRL1取出的第一玻璃薄膜G1。第二搬送部8由带式输送机构成，但不限定为此构成，也能够使用辊输送机等其他的各种搬送装置。第二搬送部8通过驱动无端带状的多条皮带8a，将第一玻璃薄膜G1向下游侧的第二卷取部10搬送。

多条皮带8a以大体水平姿势维持第一玻璃薄膜G1的方式而设定上下方向的位置。即，多条皮带8a以使与第一玻璃薄膜G1的接触部8b的上下方向位置(高度)一致的方式进行设置。由此，构成沿着水平方向的通过线PL。

第二切断部9位于第二搬送部8的中途部。第二切断部9具备：吸引第一玻璃薄膜G1的吸引装置19、配置在第二搬送部8的上方的一对激光照射装置20和一对冷却装置21。

吸引装置19具备：与第一玻璃薄膜G1的下表面接触的一对平台22、平台22的支承构件23和连接于平台22的吸引泵24。

平台22如图2和图3所示，配置在第二搬送部8的多条皮带8a之间。平台22由金属制的板构件构成。平台22构成为具有规定的长度LP和宽度W的长方形状，但不限定于这一形状。平台22的长度LP为80mm以上、260mm以下，但不限定于这一范围。平台22的宽度W为30mm以上、60mm以下，但不限定于这一范围。

平台22具有：贯通厚度方向的孔25和与第一玻璃薄膜G1接触的支承部26a～26c。

孔25如图4所示，作为沿着第一玻璃薄膜G1的搬送方向X的直线状的长孔而构成。平台22通过该孔25的上部的开口部25a吸引第一玻璃薄膜G1的下表面。开口部25a具有沿着第一玻璃薄膜G1的搬送方向X的规定的长度LA，和与搬送方向X正交的方向上的一定的宽度WA。开口部25a的长度LA，优选设定为40mm以上、80mm以下。开口部25a的宽度WA，优选设定为3mm以上、30mm以下，更优选为3mm以上、20mm以下。

支承部26a～26c由树脂制的片状构件构成，但不限定为这一材质。如图5所示，支承部26a～26c，其上表面与第二搬送部8的通过线PL相比位于上方。优选支承部26a～26c的上表面与通过线PL(皮带8a的上部)的高度的差H为0mm以上、3.0mm以下，更优选为0.5mm以上、3.0mm以下。

支承部26a～26c具有：第一支承部26a、位于第一支承部26a的下游侧的第二支承部26b和位于第二支承部26b的下游侧的第三支承部26c。第一支承部26a设于从平台22的上游侧端部起至开口部25a为止的范围内。优选第一支承部26a的长度L1设定为10mm以上、50mm以下。第一支承部26a的宽度W1与平台22的宽度W相等。

第二支承部26b位于平台22的孔25的宽度方向外侧(两侧)。第二支承部26b的长度L2与孔25(开口部25a)的长度LA相等。第二支承部26b的宽度W2为1mm以上、15mm以下，但不限定于这一范围。

第三支承部26c与开口部25a相比位于下游侧。第三支承部26c支承被从冷却装置21放出的制冷剂R冷却的第一玻璃薄膜G1的一部分。第三支承部26c的长度L3为10mm以上、160mm以下，但不限定于这一范围。第三支承部26c的宽度W3与平台22的宽度W相等。

支承构件23支承平台22的下部。支承构件23例如由金属构成为块状。在该支承构件23与平台22之间，形成有吸引支承构件23的外部的空气的开口部(间隙)23a。支承构件23具有与平台22的孔25连通的内部空间S。在支承构件23的下部连接有吸引装置19的一部分。

吸引泵24设于第二搬送部8的附近位置。吸引泵24经连接配管27而连接于支承构件23。由此，吸引泵24通过连接配管27和支承构件23的内部空间S，从支承构件23的开口部23a和平台22的开口部25a吸引空气。

激光照射装置20，对于沿着搬送方向X移动的第一玻璃薄膜G1的规定部位照射激光L，由此局部加热该部位。激光照射装置20，如图3所示，具有多个激光照射部20a。各激光照射部20a配置于平台22的开口部25a的上方。由此，激光照射部20a对于通过开口部25a的第一玻璃薄膜G1的多个位置照射激光L。来自各激光照射部20a的激光L的照射位置O以使其位于与第一玻璃薄膜G1的搬送方向X大体平行的直线上的方式进行设定。

冷却装置21在第一玻璃薄膜G1的搬送方向X上，配置于激光照射装置20的下游侧。冷却装置21对于第一玻璃薄膜G1被局部加热的部位放出制冷剂R而冷却该部位。

第二卷取部10配置在第二搬送部8和第二切断部9的下游侧。第二卷取部10由卷芯28卷取从第二搬送部8搬送的第二玻璃薄膜G2，由此构成第二玻璃卷GRL2。

作为由上述的制造装置1制造的第二玻璃薄膜G2(第一玻璃薄膜G1)的材质，可使用硅酸盐玻璃、石英玻璃，优选使用硼硅酸玻璃、钠钙玻璃、铝硅玻璃、化学强化玻璃，最优选使用无碱玻璃。在此，所谓无碱玻璃是实质上不包含碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体来说，就是碱成分的重量比为3000ppm以下的玻璃。本发明中的碱成分的重量比优选为1000ppm以下，更优选为500ppm以下，最优选为300ppm以下。

另外，第二玻璃薄膜G2(第一玻璃薄膜G1)的厚度为10μm以上、300μm以下，优选为30μm以上、200μm以下，最优选为30μm以上、100μm以下。

以下，对于使用上述构成的制造装置1制造第二玻璃薄膜G2(第二玻璃卷GRL2)的方法进行说明。如图6所示，本方法具备成形工序S1、耳部除去工序S2、第一卷取工序S3、取出工序S4、割断工序S5和第二卷取工序S6。

在成形工序S1中，使从成形部2的成形体11的溢流槽11a溢流出的熔融玻璃GM，分别沿着该成形体11的两侧面流下，在其下端使之合流而成形为薄膜状。这时，由辊式拉边器12限制熔融玻璃GM的宽度方向收缩而成为规定宽度的母材玻璃薄膜G。其后，用退火炉13对于母材玻璃薄膜G实施去应力处理(缓冷工序)。借助支承辊15的张力，母材玻璃薄膜G被形成为规定的厚度。

在耳部除去工序S2中，一边由方向变换部3和第一搬送部4将母材玻璃薄膜G送至下游侧，一边在第一切断部5中，从激光照射装置17a对母材玻璃薄膜G的一部分照射激光L而进行加热。其后，由冷却装置17b对于加热后的部位喷送制冷剂R。由此，母材玻璃薄膜G中发生热应力。在母材玻璃薄膜G上预先形成有初始裂痕，利用热应力使此裂痕进展。由此，从母材玻璃薄膜G上除去耳部，形成第一玻璃薄膜G1。

在接着的第一卷取工序S3中，将第一玻璃薄膜G1卷取到卷芯18上，由此构成第一玻璃卷GRL1。之后，第一玻璃卷GRL1被移送至取出部7。在取出工序S4中，从移送至取出部7的第一玻璃卷GRL1拉出第一玻璃薄膜G1，通过第二搬送部8搬送到第二切断部9。

在割断工序S5中，第一玻璃薄膜G1的一部分被第二搬送部8搬送，从而在平台22的支承部26a～26c上通过(搬送工序)。吸引装置19使吸引泵24时常工作，通过平台22的开口部25a吸引该平台22上的第一玻璃薄膜G1(吸引工序)。如图7和图8所示，第一玻璃薄膜G1由平台22的第二支承部26b支承，并且被开口部25a吸引，由此在该开口部25a的范围内变形为凹状。

在割断工序S5中，一边使第一玻璃薄膜G1移动，一边通过开口部25a进行吸引，在开口部25a的范围内使该第一玻璃薄膜G1变形。优选这时的第一玻璃薄膜G1的变形量D为0.1mm以上、0.3mm以下。上述的变形量D是搬送10m第一玻璃薄膜G1时，连续每0.1秒测量的值的平均值。变形量D的测量中，为了排除激光L引起的热膨胀的影响，而在不照射激光L的状态下进行测量。在割断工序S5中，为了尽可能地减小第一玻璃薄膜G1的变形量D，而调整吸引装置19的吸引力。即，除了调整吸引泵24的吸气量以外，还通过形成于支承构件23的开口部23a而进行吸气，由此调整开口部25a的吸引力(吸引力调整工序)。开口部23a通过使用闭塞构件，从而调整其开口面积。

第一玻璃薄膜G1一边由第二搬送部8搬送，一边被开口部25a吸引，但由于调整其吸引力(吸引力弱化)，会发生微小的上下运动(振动)(参照图9)。通过调整开口部25a的吸引力，能够尽可能地减少第一玻璃薄膜G1的上下运动宽度(振幅)A。具体来说，第一玻璃薄膜G1的上下运动宽度A可以为10μm以上、50μm以下。即，在搬送10m第一玻璃薄膜G1时，优选连续每0.1秒测量的上下运动宽度A的值的最小值为10μm以上，最大值为50μm以下。还有，上下运动宽度A使用公知的激光位移传感器测量。上下运动宽度A的测量中，为了排除激光L带来的热膨胀的影响，在不照射激光L的状态下进行测量。

在吸引力的调整中，若加大吸引量，则上述的变形量D变大，但上述的上下运动宽度A有变小的倾向。反之，若减小吸引量，则上述的变形量D变小，但上述的上下运动宽度A有变大的倾向。因此，优选在可以允许的上下运动宽度A的范围内尽可能地减小变形量D，吸引力优选为开口部25a的风速为1m/s～6m/s的范围。上述风速使用公知的风速计进行测量。

在割断工序S5中，如上述由第二搬送部8搬送第一玻璃薄膜G1，并且对于第一玻璃薄膜G1照射来自激光照射装置20的激光照射部20a多束激光L(激光照射工序)。激光L被照射到通过平台22的开口部25a的范围内的第一玻璃薄膜G1的一部分上。

通过上述这样的激光L的照射，在此照射位置O中，第一玻璃薄膜G1被加热。其后，在第一玻璃薄膜G1中被加热的部分，通过开口部25a，由冷却装置21冷却(冷却工序)。即，从位于平台22的第三支承部26c的上方的冷却装置21向下方喷射制冷剂R。由于激光照射装置20的局部加热带来的膨胀和冷却装置21的冷却带来的收缩，在第一玻璃薄膜G1中发生热应力。在第一玻璃薄膜G1上，预先形成有初始裂痕，借助该热应力使该裂痕进展，由此第一玻璃薄膜G1的宽度方向端部被连续地割断。由此，可形成第二玻璃薄膜G2。第二玻璃薄膜G2接着被第二搬送部8搬送到下游侧的第二卷取部10。

在第二卷取工序S6中，由卷芯28卷取第二玻璃薄膜G2。通过卷取规定长度的第二玻璃薄膜G2，从而构成第二玻璃卷GRL2(玻璃物品)。

根据以上说明的本实施方式的玻璃薄膜(第二玻璃薄膜G2)的制造方法，通过从吸引装置19的平台22的开口部25a吸引第一玻璃薄膜G1，从而能够防止通过开口部25a的第一玻璃薄膜G1发生褶皱。而且，即使在通过平台22之前第一玻璃薄膜G1就已发生褶皱，利用开口部25a进行的吸引也能够使该褶皱消失。因此，通过对于通过开口部25a的第一玻璃薄膜G1照射激光L，在其下游侧使之接触来自冷却装置21的制冷剂R，由此在第二玻璃薄膜G2的割断面不会发生不良，能够高精度地割断第一玻璃薄膜G1。

另外，通过从存在于与平台22的开口部25a不同的位置的开口部23a吸引空气，从而能够调整平台22的开口部25a处的第一玻璃薄膜G1的吸引力。由此，能够防止因平台22的开口部25a强烈吸引第一玻璃薄膜G1造成的该第一玻璃薄膜G1的搬送不良的发生。

图10和图11表示吸引装置的其他例。如图10、图11所示，平台22具有多个孔25，各孔25具备激光L被照射到其范围内的第一开口部25a1，和在平台22的宽度方向上离开第一开口部25a1而配置的一对第二开口部25a2。

第一开口部25a1具有与图3和图4所示的平台22的开口部25a相同的功能。第一开口部25a1配置在一对第二开口部25a2之间。在平台22上形成有第二开口部25a2时，优选第一开口部25a1的长度LA1为40mm以上、80mm以下。另外，优选第一开口部25a1的宽度WA1为3mm以上、5mm以下。

第一开口部25a1的下游侧端部DE，与第二开口部25a2的下游侧端部DE相比向下游侧突出。优选第一开口部25a1的下游侧端部DE的突出量P1为5mm以上、20mm以下。

一对第二开口部25a2形成得比第一开口部25a1长且宽幅，但并不限定于这一构成。优选第二开口部25a2的长度LA2为40mm以上、80mm以下。优选第二开口部25a2的宽度WA2为8mm以上、10mm以下。第二开口部25a2的上游侧端部UE，与第一开口部25a1的上游侧端部UE相比向上游侧突出。优选第二开口部25a2的上游侧端部UE的突出量P2为10mm以上、20mm以下。

平台22的第二支承部26b，在平台22的宽度方向上隔开第一开口部25a1与第二开口部25a2。平台22的宽度方向的第一开口部25a1与第二开口部25a2的隔开距离，即，第二支承部26b的宽度W2优选为1mm以上、3mm以下。

平台22除了第一支承部26a至第三支承部26c以外，还具有第四支承部26d。第四支承部26d与第二开口部25a2相比位于宽度方向外侧。优选第四支承部26d的长度L4为40mm以上、80mm以下。优选第四支承部26d的宽度W4为3mm以上、5mm以下。

如图11所示，第一开口部25a1和第二开口部25a2，与支承构件23的内部空间S连通。由此，第一开口部25a1和第二开口部25a2，经由相同的吸引泵24吸引第一玻璃薄膜G1的下表面。如果吸引泵24的吸引量少，则有在不向第一玻璃薄膜G1照射激光L的状态下，第一开口部25a1的第一玻璃薄膜G1的变形量D1比第二开口部25a2的玻璃薄膜G1的变形量D2变大的倾向。反之，如果吸引泵24的吸引量多，则有如下倾向：即在不向第一玻璃薄膜G1照射激光L的状态下，如图11所示，与第一开口部25a1的玻璃薄膜G1的变形量D1相比，第二开口部25a2的玻璃薄膜G1的变形量D2的一方变大。如图11所示，相比第一开口部25a1的玻璃薄膜G1的变形量D1，第二开口部25a2的玻璃薄膜G1的变形量D2一方变大的方式，因为激光L1对第一玻璃薄膜G1的切断的稳定性增加而优选。还有，若对玻璃薄膜G1照射激光L1，则由于激光L1带来的热的影响导致如下倾向：即使吸引泵24的吸引量多时，第一开口部25a1的玻璃薄膜G1的变形量D1的一方仍比第二开口部25a2的玻璃薄膜G1的变形量D2变大。

在本例中，通过从平台22的第一开口部25a1和第二开口部25a2吸引第一玻璃薄膜G1，从而能够防止通过第一开口部25a1的第一玻璃薄膜G1上的褶皱发生。而且，即使在通过平台22之前第一玻璃薄膜G1就已发生褶皱，也能够通过第一开口部25a1和第二开口部25a2的吸引而使该褶皱消失。另外，通过在平台22上设置第二开口部25a2，从而能够尽可能地减小第一开口部25a1的开口面积(特别是宽度WA1)。由此，能够降低通过第一开口部25a1的第一玻璃薄膜G1的变形量D和上下运动宽度A，能够高精度地割断第一玻璃薄膜G1。

还有，本发明不受上述实施方式的构成限定，不限定于上述的作用效果。本发明可以在不脱离本发明的要旨范围进行各种变更。

在上述的实施方式中，展示的是通过溢流下拉法成形母材玻璃薄膜G的例子，但不限于此，也可以通过其他的成形法成形母材玻璃薄膜G。

在上述的实施方式的第二切断部9中，展示的是一边由吸引装置19吸引第一玻璃薄膜G1一边进行割断的例子，但不限于此，也可以在第一切断部5由吸引装置吸引母材玻璃薄膜G。吸引装置19设于第一切断部5和第二切断部9的一方或两方。

【符号说明】

22 平台

23 支承构件

25a 开口部

25a1 第一开口部

26a 第一支承部

26b 第二支承部

26c 第三支承部

G1 第一玻璃薄膜

L 激光

X 搬送方向