阅读说明：本技术 湿法清洗设备烘干机构 (Drying mechanism of wet cleaning equipment ) 是由 莫科伟 祁志明 李松松 于 2019-11-01 设计创作，主要内容包括：本发明是湿法清洗设备烘干机构,其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板,气缸固定座上固定有气缸,气缸上固定有热风升降装置,热风升降装置上固定有热风管,热风管内设感温机构,气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构；模组固定板上固定有吹干模组和感应器,吹干模组上固定有冷风管,模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。本发明的优点：烘干机构采用升降带动热风管,有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品,能充分的烘干；吹干模组带动冷风管左右移动,也充分覆盖,从而达到吹干水分；标准件保证了机构整体稳定性,达到设备产品干进干出的目的,提高了质量,且提高了效率。(The invention relates to a drying mechanism of wet cleaning equipment, which has the structure that a cylinder fixing seat is arranged at the lower part of the rear side surface of a tank body main body, a module fixing plate is arranged at the upper part of the rear side surface of the tank body main body, a cylinder is fixed on the cylinder fixing seat, a hot air lifting device is fixed on the cylinder, a hot air pipe is fixed on the hot air lifting device, a temperature sensing mechanism is arranged in the hot air pipe, and the cylinder, the hot air lifting device and the hot air; be fixed with on the module fixed plate and weather module and inductor, weather and be fixed with the cold wind pipe on the module, inductor and cold wind pipe constitute horizontal hunting and weather the mechanism. The invention has the advantages that: the drying mechanism adopts a lifting driving hot air pipe, so that the whole Cassette and products inside the Cassette are effectively covered, and the Cassette can be fully dried; the blow-drying module drives the cold air pipe to move left and right and also fully cover the cold air pipe, so that the moisture is blown and dried; the whole stability of the mechanism is guaranteed by the standard component, the purpose that equipment products are dry-fed and dry-discharged is achieved, the quality is improved, and the efficiency is improved.)

湿法清洗设备烘干机构

技术领域

本发明涉及的是湿法清洗设备烘干机构，具体涉及一种清洗工艺中产品需要干进干出的机构。

背景技术

湿法清洗设备烘干机构是将前处理清洗、腐蚀后的Cassette(晶圆花篮)及其内部的产品进行干燥处理的机构，主要是通过吹干将Cassette及其内部的产品上附带的水分吹到槽体内并排放掉，再通过烘干机构将Cassette及其内部的产品烘干。

现有技术的湿法清洗设备烘干机构存在以下不足：1)产品的表面会因为吹的不干净而存在水渍的痕迹；2)Cassette上底部角落还是会存有一部分的水分，无法彻底清除。

发明内容

本发明提出的是湿法清洗设备烘干机构，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现有效清除Cassette及其内部的产品上的水分并进行烘干。

本发明的技术解决方案：湿法清洗设备烘干机构，其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板，气缸固定座上固定有气缸，气缸上固定有热风升降装置，热风升降装置上固定有热风管，热风管内设感温机构，气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构；模组固定板上固定有吹干模组和感应器，吹干模组上固定有冷风管，模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。

优选的，所述的热风管设置在槽体主体内部两侧，热风管内通有热氮气，热风升降装置包括升降组件和连接升降组件一端的热风管接头，升降组件另一端连接气缸，热风管接头焊接连接热风管。

优选的，所述的热风管一端焊接有感温机构接头，感温机构包括感温棒，感温棒通过感温机构接头固定在热风管内。

优选的，所述的吹干模组设置在槽体主体上氮气椭圆吹气口处，吹干模组包括丝杆、导轨、滑块、上下固定座、移动螺母和电机，冷风管固定在移动螺母上，冷风管上设有氮气孔，感应器设置在导轨两侧端。

优选的，所述的槽体主体、气缸固定座和模组固定板为NPP材质，热风升降装置、热风管、感温机构和冷风管均为SUS316材质，吹干模组为日本CKD标准件，感应器为欧姆龙omronEESX674-WR标准件。

本发明的优点：1)烘干机构采用升降机构带动热风管，有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品，能充分的烘干Cassette及其内部的产品；2)吹干模组带动冷风管左右移动，也充分覆盖了整个Cassette及其内部的产品，从而达到吹干Cassette及其内部的产品上的水分；3)机构的零件精密度高，标准件保证了机构的整体稳定性，达到了设备的产品干进干出的目的，提高了产品的质量，并且提高了生产效率。

附图说明

图1是本发明湿法清洗设备烘干机构的结构示意图。

图2是图1的侧视图。

图3是图1的俯视图。

图中的1是槽体主体、2是气缸固定板、3是气缸、4是热风升降装置、5是热风管、6是感温机构、7是模组固定板、8是吹干模组、9是感应器、10是冷风管。

具体实施方式

下面结合实施例和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1、2、3所示，湿法清洗设备烘干机构，其结构是槽体主体1后侧面下部设气缸固定座2、上部设模组固定板7，气缸固定座2上固定有气缸3，气缸3上固定有热风升降装置4，热风升降装置4上固定有热风管5，热风管5内设感温机构6，气缸3、热风升降装置4和热风管5组成上下升降热风烘干机构；模组固定板7上固定有吹干模组8和感应器9，吹干模组8上固定有冷风管10，模组8、感应器9和冷风管10组成左右摆动吹干机构。

所述的热风管5设置在槽体主体1内部两侧。热风管5由气缸3控制进行上下运动，热风管5内通有热氮气。风管5接有热氮气可对Cassette及其内部的产品进行烘干，达到产品干出的要求。

所述的热风升降装置4为现有技术，包括升降组件和连接升降组件一端的热风管接头，升降组件另一端连接气缸3，热风管接头焊接连接热风管5。升降组件由激光镭射设备镭射并焊接组成一个整体，通过气缸3控制升降组件升降的过程。

所述的热风管5一端焊接有感温机构接头，感温机构6为现有技术，包括感温棒，感温棒通过感温机构接头固定在热风管5内。当有热风通过时，可通过感温棒侦测到气体的温度，既保证温度的均匀和安全，又保证产品的烘干效果。

所述的吹干模组8设置在槽体主体1上氮气椭圆吹气口处，吹干模组8为现有技术、包括丝杆、导轨、滑块、上下固定座、移动螺母和电机，冷风管10固定在移动螺母上，冷风管10上设有氮气孔，感应器9设置在导轨两侧端。移动螺母带着冷风管10上左右移动，通过安装在导轨左右两侧端的感应器达到正反换向运动，从而达到往下吹干Cassette及其内部的产品水分的要求。

所述的槽体主体1为NPP材质，气缸固定座2为NPP材质，热风升降装置4为SUS316材质，热风管5、感温机构6和冷风管10均为SUS316材质，模组固定板7为NPP材质，吹干模组8为品牌标准件(日本CKD)，感应器9为品牌标准件(欧姆龙omronEESX674-WR)。

湿法清洗设备烘干机构的生产方法，该方法包括以下步骤：

1)使用CNC雕刻机加工槽体主体1板材用料，保证槽体主体1槽体制作的准确性及精度；

2)使用CNC雕刻机制作气缸固定板2和模组固定板7，保证安装的准确；

3)使用激光镭射制作热风升降装置4，保证精度；

4)焊接加工热风管5和冷风管10；

5)外购标准件，气缸、模组等。

以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。

以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。