一种微电子工业洁净厂房

文档序号:166192 发布日期:2021-10-29 浏览:59次 >En<

阅读说明:本技术 一种微电子工业洁净厂房 (Clean factory building of microelectronics industry ) 是由 何红星 于 2020-04-29 设计创作,主要内容包括:本发明公开了一种微电子工业洁净厂房,包括控制中心、环境监测装置、加热加湿装置、空气净化装置和生产线,所述控制中心分别与环境监测装置、加热加湿装置和空气净化装置电性连接,所述环境监测装置与控制中心双向电性连接,所述环境监测装置包括监测控制处理器、温度传感器、湿度传感器、颗粒物传感器和警报装置,所述监测控制处理器的输入端分别与温度传感器、湿度传感器颗粒物传感器的输出端电性连接,所述警报装置的输入端与控制中心的输出端电性连接。本发明通过控制中心、环境监测装置、加热加湿装置和空气净化装置的配合,实现了对洁净厂房的环境的监测和净化。(The invention discloses a clean factory building in microelectronic industry, which comprises a control center, an environment monitoring device, a heating and humidifying device, an air purifying device and a production line, wherein the control center is respectively and electrically connected with the environment monitoring device, the heating and humidifying device and the air purifying device, the environment monitoring device is bidirectionally and electrically connected with the control center, the environment monitoring device comprises a monitoring and controlling processor, a temperature sensor, a humidity sensor, a particulate matter sensor and an alarm device, the input end of the monitoring and controlling processor is respectively and electrically connected with the output ends of the temperature sensor and the humidity sensor, and the input end of the alarm device is electrically connected with the output end of the control center. The invention realizes the monitoring and purification of the environment of a clean workshop through the matching of the control center, the environment monitoring device, the heating and humidifying device and the air purifying device.)

一种微电子工业洁净厂房

技术领域

本发明涉及洁净厂房技术领域,具体为一种微电子工业洁净厂房。

背景技术

洁净厂房也叫无尘车间,是对厂房内的温度湿度和空气洁净度有着很高要求的一种厂房,例如微电子厂,手术室等,由于对环境的要求非常高因此需要各种装置对厂房内的环境进行监测和维护,避免环境质量影响到厂房内的生产和工作人员的人身安全。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微电子工业洁净厂房,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种微电子工业洁净厂房,包括控制中心、环境监测装置、加热加湿装置、空气净化装置和生产线,所述控制中心分别与环境监测装置、加热加湿装置和空气净化装置电性连接;

所述环境监测装置与控制中心双向电性连接,所述环境监测装置包括监测控制处理器、温度传感器、湿度传感器、颗粒物传感器和警报装置,所述监测控制处理器的输入端分别与温度传感器、湿度传感器颗粒物传感器的输出端电性连接,所述警报装置的输入端与控制中心的输出端电性连接。

优选的,所述加热加湿装置包括加热装置和加湿装置,所述加热装置和加湿装置的输入端分别与控制中心的输出端电性连接。

优选的,所述检测控制处理器包括HC32F003 32位单片机、通讯芯片、扩展内存、I/O端口和电源接口。

优选的,所述加热装置为电加热器,所述加热装置的数量根据厂房的面积由工程师确定。

优选的,所述加湿装置为电加湿器,所述加湿装置的数量根据厂房的面积由工程师确定。

优选的,所述空气净化装置为工业用新风装置,可以从市场直接购买。

优选的,所述温度传感器、湿度传感器、颗粒物传感器和警报装置的数量根据厂房的实际情况由工程师确定。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:

1、本发明设置有控制中心,控制中心可以接收环境检测装置传入的数据,进行分析和处理,并通过控制中心控制空气净化装置和加热加湿装置的运行和关闭,方便对环境进行监测和净化;

2、本发明的环境检测装置内设置有监测控制处理器、温度传感器、湿度传感器、颗粒物传感器和警报装置,通过温度传感器和湿度传感器来检测厂房内的温度和湿度的情况,通过颗粒物传感器来检测厂房内的各种颗粒物(包括有害颗粒物和易燃颗粒物等)的浓度,将温度和湿度信息传输给监测控制处理器,通过监测控制处理器进行储存和分析,并将信息实时反馈给控制中心,方便工作人员实时了解厂房内的各种环境数据,具有结构简单、使用方便、使用效果好的优点。

附图说明

图1为本发明一种微电子工业洁净厂房整体结构布局图;

图2为本发明一种微电子工业洁净厂房系统原理图;

图3为本发明一种微电子工业洁净厂房系统具体连接示意图。

图中:1、控制中心;2、环境监测装置;21、监测控制处理器;22、温度传感器;23、湿度传感器;24、颗粒物传感器;25、警报装置;3、加热加湿装置;31、加热装置;32、加湿装置;4、空气净化装置。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-3,本发明提供一种技术方案:一种微电子工业洁净厂房,包括控制中心1、环境监测装置2、加热加湿装置3、空气净化装置4和生产线,控制中心1分别与环境监测装置2、加热加湿装置3和空气净化装置4电性连接。

环境监测装置2与控制中心1双向电性连接,环境监测装置2包括监测控制处理器21、温度传感器22、湿度传感器23、颗粒物传感器24和警报装置25,监测控制处理器21的输入端分别与温度传感器22、湿度传感器23颗粒物传感器24的输出端电性连接,警报装置25的输入端与控制中心1的输出端电性连接。

加热加湿装置3包括加热装置31和加湿装置32,加热装置31和加湿装置32的输入端分别与控制中心1的输出端电性连接。

监测控制处理器21包括HC32F003 32位单片机、通讯芯片、扩展内存、I/O端口和电源接口。

加热装置31为电加热器,加热装置31的数量根据厂房的面积由工程师确定。

加湿装置32为电加湿器,加湿装置32的数量根据厂房的面积由工程师确定。

空气净化装置4为工业用新风装置,可以从市场直接购买。

警报装置25包括警报灯和蜂鸣器。

温度传感器22、湿度传感器23、颗粒物传感器24和警报装置25的数量根据厂房的实际情况由工程师确定。

工作原理:使用时,由于设置有控制中心1,控制中心1可以接收环境监测装置2传入的数据,进行分析和处理,并通过控制中心1控制空气净化装置4和加热加湿装置3的运行和关闭,环境监测装置2内设置有监测控制处理器21、温度传感器22、湿度传感器23、颗粒物传感器24和警报装置25,通过温度传感器22和湿度传感器23来检测厂房内的温度和湿度的情况,通过颗粒物传感器24来检测厂房内的各种颗粒物包括有害颗粒物和易燃颗粒物等的浓度,将温度和湿度信息传输给监测控制处理器21,通过监测控制处理器21进行储存和分析,并将信息实时反馈给控制中心1,方便工作人员实时了解厂房内的各种环境数据,当环境数据与设定的正常数据不同时,监测控制处理器21将异常信息传输给控制中心1,控制中心1启动警报装置25,同时控制加热装置31、加湿装置32和空气净化装置4启动进行处理,并通过设置的传感器对环境进行实施的监测,当环境数据达到要求时控制中心1关闭警报装置25和加热装置31、加湿装置32和空气净化装置4,具有结构简单、使用方便、使用效果好的优点。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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