一种半导体加工用均匀烘干装置
阅读说明：本技术 一种半导体加工用均匀烘干装置 (Semiconductor processing is with even drying device ) 是由 秦小军 于 2021-09-18 设计创作，主要内容包括：本发明涉及半导体加工技术领域,公开了一种半导体加工用均匀烘干装置,包括烘干箱体和固定安装在烘干箱体下端的支撑结构,烘干箱体的一侧还固定安装有控制面板,连接轴与转轴之间由皮带连接,在驱动电机工作时,通过皮带的配合,能够使连接轴进行转动,连接轴贯穿安装板,且一端安装有齿轮B,安装板的一侧还安装有轴杆,轴杆的一端外侧安装有齿轮C,且齿轮B与齿轮C相互啮合,且齿轮B与齿轮C运动方向相反,齿轮C与联动板下端设置的齿槽B啮合连接,从而能够使联动板向与承载板相反方向移动,当承载板的右端移动到与烘干箱体开口处平齐时,此时联动板下端的吸尘罩处于承载板左端上方,便于后续进行吸尘。(The invention relates to the technical field of semiconductor processing, and discloses a uniform drying device for semiconductor processing, which comprises a drying box body and a supporting structure fixedly arranged at the lower end of the drying box body, wherein a control panel is fixedly arranged on one side of the drying box body, a connecting shaft is connected with a rotating shaft through a belt, the connecting shaft can rotate through the cooperation of the belt when a driving motor works, the connecting shaft penetrates through a mounting plate, a gear B is arranged at one end of the mounting plate, a shaft lever is arranged on one side of the mounting plate, a gear C is arranged on the outer side of one end of the shaft lever, the gear B is meshed with the gear C, the motion direction of the gear B is opposite to that of the gear C, the gear C is meshed and connected with a tooth socket B arranged at the lower end of a linkage plate, so that the linkage plate can move towards the opposite direction of a bearing plate, when the bearing plate moves to be flush with an opening of the drying box body, a dust suction hood at the lower end of the linkage plate is positioned above the left end of the bearing plate, facilitating subsequent dust collection.)
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种半导体加工用均匀烘干装置。
背景技术
半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种，半导体物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等。
目前，在半导体片加工清洁后需要对其进行烘干处理，现有的烘干装置在使用时，通常需要手动将承载板拉出一段距离后再将半导体片放置其表面，以便后续进行烘干处理，这样操作较为繁琐，需要人工一直推动，且在将半导体进行放置移动的过程中，没有对半导体表面进行吸尘的结构，灰尘容易粘在其表面，影响后续加工，使用效果不好。
针对以上问题，对现有装置进行了改进，提出了一种半导体加工用均匀烘干装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体加工用均匀烘干装置，在未使用时，齿轮A与齿槽A啮合连接处在辅助板的中心处，此时开启驱动电机工作，促使转轴和齿轮A进行顺时针转动，通过齿轮A和齿槽A的配合，能够使承载板向烘干箱体的外侧移动，直至承载板的右端与烘干箱体开口处平齐，同时在承载板的表面开设有内槽，操作人员可以将半导体放置在内槽内，此时使驱动电机带动转轴和齿轮A反转，能够将承载板带动半导体移动至烘干箱体内，以便后续加工处理，无需人工一直推动，减轻人工负担，解决了背景技术中的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体加工用均匀烘干装置，包括烘干箱体和固定安装在烘干箱体下端的支撑结构，烘干箱体的一侧还固定安装有控制面板，烘干箱体的一侧安装有烘干组件，烘干组件的一侧设置有横移结构，横移结构的上端安装有联动结构，烘干箱体的内部还安装有清理组件；
横移结构包括设置在烘干箱体外侧的驱动电机和与驱动电机输出端连接的转轴，且转轴贯穿烘干箱体的一侧，并与齿轮A套接安装，齿轮A的上端安装有承载板，承载板的两端均安装有衔接件。
进一步地，承载板的内部开设有内槽，内槽内部安装有加热件，内槽的内部还安装有水箱，承载板的下端安装有两组滑块A，水箱的一侧安装有蒸汽通路，蒸汽通路的内壁安装有衔接块，衔接块的一侧还安装有风叶，风叶通过连轴杆活动安装在衔接块的一侧，连轴杆的另一端贯穿蒸汽通路，并与夹具连接，蒸汽通路的上端设置有排气管。
进一步地，衔接件包括设置在承载板两侧的辅助板和均匀设置在辅助板上端的齿槽A，且齿槽A与齿轮A啮合连接，且衔接件设置有两组，且两组所述的衔接件关于承载板的横向中心线对称安装。
进一步地，烘干箱体包括箱门和设置在烘干箱体上下内壁的滑槽，且箱门铰接安装在烘干箱体的一侧，滑槽与滑块A相匹配，烘干箱体的上端安装有密封环。
进一步地，支撑结构包括固定安装在烘干箱体的下端的基座和设置在基座下端的移动轮，基座的一侧安装有安装架，且安装架的上端安装有驱动电机。
进一步地，联动结构包括贯穿烘干箱体一侧的连接轴和活动套接在连接轴外侧的皮带，连接轴与转轴之间由皮带连接，连接轴还贯穿安装板，且连接轴的外侧套接有齿轮B，安装板与烘干箱体内壁通过螺栓进行安装，安装板的一侧设置有轴杆，轴杆远离安装板的一端套接有齿轮C，齿轮B与齿轮C相互啮合，齿轮C的直径大于齿轮B的直径。
进一步地，烘干组件包括固定安装在烘干箱体外侧的底板和设置在底板上端的热风机，热风机的一端与输风管相连通，输风管贯穿烘干箱体，且与安装在烘干箱体内部的集风腔相连通，集风腔的内部安装有均流板，集风腔的一侧还均匀设置有喷嘴。
进一步地，清理组件包括联动板和设置在联动板上端的连接块，连接块的上端安装有滑块B，联动板的上端安装有集尘室，集尘室的一端设置有伸缩管，且伸缩管贯穿联动板，并与吸尘罩连接，吸尘罩的上端还安装有电动推杆，且电动推杆的上端与联动板连接，联动板的底面设置有齿槽B，且齿槽B与齿轮C啮合连接。
进一步地，集尘室的内部固定安装有隔板，隔板的一侧设置有吸风机，吸风机的一端与吸风管连接，且吸风管的另一端贯穿隔板，且在隔板的一侧安装有滤网，吸风机的另一端设置有排风管，且排风管贯穿集尘室和烘干箱体，且设置在密封环的内侧。
进一步地，齿轮B与齿轮C运动方向相反。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本发明提出的一种半导体加工用均匀烘干装置，基座的一侧安装有安装架，且安装架的上端安装有驱动电机，驱动电机输出端与转轴连接，且转轴的另一端贯穿烘干箱体，并与齿轮A套接安装，承载板两侧均安装有辅助板，辅助板上端设置有齿槽A，且齿槽A与齿轮A啮合安装，在未使用时，齿轮A与齿槽A啮合连接处在辅助板的中心处，此时开启驱动电机工作，促使转轴和齿轮A进行顺时针转动，通过齿轮A和齿槽A的配合，能够使承载板向烘干箱体的外侧移动，直至承载板的右端与烘干箱体开口处平齐，同时在承载板的上端安装有蒸汽通路，夹具安装在蒸汽通路的一侧，操作人员通过设置的夹具能够将半导体片夹紧，此时使驱动电机带动转轴和齿轮A反转，能够将承载板带动半导体片移动至烘干箱体内，以便后续加工处理，无需人工一直推动，减轻人工负担。
2.本发明提出的一种半导体加工用均匀烘干装置，烘干箱体一侧贯穿安装有连接轴，连接轴的外侧活动套接有皮带，连接轴与转轴之间由皮带连接，在驱动电机工作时，通过皮带的配合，能够使连接轴进行转动，安装板通过螺栓固定安装在烘干箱体的内壁，连接轴贯穿安装板，且一端安装有齿轮B，安装板的一侧还安装有轴杆，轴杆的一端外侧安装有齿轮C，且齿轮B与齿轮C相互啮合，在连接轴进行转动的同时能够使齿轮C进行转动，且齿轮B与齿轮C运动方向相反，齿轮C与联动板下端设置的齿槽B啮合连接，从而能够使联动板向与承载板相反方向移动，此时通过连接块安装在联动板上端的滑块B可以平稳的在滑槽内滑动，当承载板的右端移动到与烘干箱体开口处平齐时，此时联动板下端的吸尘罩处于承载板左端上方，操作人员利用开关能够使联动板下端设置有电动推杆推动吸尘罩向下移动，便于后续进行吸尘。
3.本发明提出的一种半导体加工用均匀烘干装置，联动板的上端安装有集尘室，集尘室的内部安装有隔板，吸风机处于隔板的左侧，吸风机的一端与吸风管连接，吸风管贯穿隔板，且在隔板的一侧设置有滤网，吸风机的另一端与排风管连接，吸尘罩与集尘室之间通过伸缩管连接，且排风管为可伸缩结构，此时开启吸风机工作，通过吸风管、伸缩管和吸尘罩的配合，且齿轮C的直径大于齿轮B的直径，齿轮B与齿轮A结构一致，便于将半导体表面的灰尘进行吸附，灰尘可以停滞在隔板右侧的腔室内，除尘效果好。
4.本发明提出的一种半导体加工用均匀烘干装置，内槽的内部均匀安装有加热件，且加热件外接电源，加热件的一侧安装有水箱，当对半导体表面吸尘结束后，利用开关使得加热件工作，能够对水箱进行加热，水箱内部温度持续升高，可以将水箱内的水蒸发为高温蒸汽，高温蒸汽能够顺着蒸汽通路进行流动，风叶通过连轴杆活动安装在衔接块的一侧，高温蒸汽会冲向风叶，能够使风叶进行转动，即可以将高温蒸汽中的热量转化为风叶旋转的机械能，进而可以使夹具转动，而半导体片通过夹具进行夹紧，从而能够使半导体片进行转动，半导体片转动的同时对其粘附在表面的水分进行离心，使得受热更加均匀，避免单面长时间受热而影响半导体片的质量，同时在烘干箱体的外侧安装有底板，热风机固定安装在底板的上端，热风机通过输风管与烘干箱体内部的集风腔进行连接，开启热风机工作，利用输风管进行输送热风，且在集风腔的内部设有均流板，集风腔的表面均匀设置有喷嘴，使得热风可以均匀从喷嘴喷出，烘干组件设置有两组，两组集风腔相对设置，辅助增加烘干箱体内部的温度，便于烘干使用。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的驱动电机运动状态图；
图3为本发明的联动结构示意图；
图4为本发明的安装板结构示意图；
图5为本发明的集尘室结构示意图；
图6为本发明的图3中A处放大图；
图7为本发明的衔接件结构示意图；
图8为本发明的承载板部分结构示意图；
图9为本发明的承载板结构示意图。
图中：1、烘干箱体；11、箱门；12、滑槽；13、密封环；2、支撑结构；21、基座；22、移动轮；23、安装架；3、控制面板；4、烘干组件；41、底板；42、热风机；43、输风管；44、集风腔；45、均流板；46、喷嘴；5、横移结构；51、驱动电机；52、转轴；53、齿轮A；54、承载板；541、内槽；542、加热件；543、水箱；544、滑块A；545、蒸汽通路；546、衔接块；547、风叶；548、夹具；549、排气管；55、衔接件；551、辅助板；552、齿槽A；6、联动结构；61、连接轴；62、皮带；63、安装板；64、螺栓；65、齿轮B；66、轴杆；67、齿轮C；7、清理组件；71、联动板；72、连接块；73、滑块B；74、集尘室；741、隔板；742、吸风机；743、吸风管；744、排风管；745、滤网；75、伸缩管；76、吸尘罩；77、电动推杆；78、齿槽B。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参阅图1和图2，一种半导体加工用均匀烘干装置，包括烘干箱体1和固定安装在烘干箱体1下端的支撑结构2，烘干箱体1的一侧还固定安装有控制面板3，烘干箱体1的一侧安装有烘干组件4，烘干组件4的一侧设置有横移结构5，横移结构5的上端安装有联动结构6，烘干箱体1的内部还安装有清理组件7；用于对半导体表面进行清理。
参阅图3、图7、8和图9，横移结构5包括设置在烘干箱体1外侧的驱动电机51和与驱动电机51输出端连接的转轴52，且转轴52贯穿烘干箱体1的一侧，并与齿轮A53套接安装，齿轮A53的上端安装有承载板54，承载板54的两端均安装有衔接件55；在未使用时，齿轮A53与齿槽A552啮合连接处在辅助板551的中心处，此时开启驱动电机51工作，促使转轴52和齿轮A53进行顺时针转动，通过齿轮A53和齿槽A552的配合，能够使承载板54向烘干箱体1的外侧移动，直至承载板54的右端与烘干箱体1开口处平齐，同时在承载板54的上端安装有蒸汽通路545，夹具548安装在蒸汽通路545的一侧，操作人员通过设置的夹具548能够将半导体片夹紧，此时使驱动电机51带动转轴52和齿轮A53反转，能够将承载板54带动半导体移动至烘干箱体1内，以便后续加工处理，无需人工一直推动，减轻人工负担。
承载板54的内部开设有内槽541，内槽541内部安装有加热件542，内槽541的内部还安装有水箱543，承载板54的下端安装有两组滑块A544，水箱543的一侧安装有蒸汽通路545，蒸汽通路545的内壁安装有衔接块546，衔接块546的一侧还安装有风叶547，风叶547通过连轴杆活动安装在衔接块546的一侧，连轴杆的另一端贯穿蒸汽通路545，并与夹具548连接，蒸汽通路545的上端设置有排气管549；衔接件55包括设置在承载板54两侧的辅助板551和均匀设置在辅助板551上端的齿槽A552，且齿槽A552与齿轮A53啮合连接，且衔接件55设置有两组，且两组所述的衔接件55关于承载板54的横向中心线对称安装；当对半导体表面吸尘结束后，利用开关使得加热件542工作，能够对水箱543进行加热，可以将水箱543内的水蒸发为高温蒸汽，高温蒸汽能够顺着蒸汽通路545进行流动，风叶547通过连轴杆活动安装在衔接块546的一侧，高温蒸汽会冲向风叶547，能够使风叶547进行转动，即可以将高温蒸汽中的热量转化为风叶547旋转的机械能，进而可以使夹具548转动，而半导体片通过夹具548进行夹紧，从而能够使半导体片进行转动，半导体片转动的同时对其粘附在表面的水分进行离心，使得受热更加均匀，避免单面长时间受热而影响半导体片的质量。
参阅图1和图2，烘干箱体1包括箱门11和设置在烘干箱体1上下内壁的滑槽12，且箱门11铰接安装在烘干箱体1的一侧，滑槽12与滑块A544相匹配，烘干箱体1的上端安装有密封环13；支撑结构2包括固定安装在烘干箱体1的下端的基座21和设置在基座21下端的移动轮22，基座21的一侧安装有安装架23，且安装架23的上端安装有驱动电机51，安装架23用于支撑驱动电机51。
参阅图3和图4，联动结构6包括贯穿烘干箱体1一侧的连接轴61和活动套接在连接轴61外侧的皮带62，连接轴61与转轴52之间由皮带62连接，连接轴61还贯穿安装板63，且连接轴61的外侧套接有齿轮B65，安装板63与烘干箱体1内壁通过螺栓64进行安装，安装板63的一侧设置有轴杆66，轴杆66远离安装板63的一端套接有齿轮C67，齿轮B65与齿轮C67相互啮合，齿轮C67的直径大于齿轮B65的直径；齿轮B65与齿轮C67运动方向相反；在驱动电机51工作时，通过皮带62的配合，能够使连接轴61进行转动，在连接轴61进行转动的同时能够使齿轮C67进行转动，且齿轮B65与齿轮C67运动方向相反，齿轮C67与联动板71下端设置的齿槽B78啮合连接，从而能够使联动板71向与承载板54相反方向移动，此时通过连接块72安装在联动板71上端的滑块B73可以平稳的在滑槽12内滑动，当承载板54的右端移动到与烘干箱体1开口处平齐时，此时联动板71下端的吸尘罩76处于承载板54左端上方，操作人员利用开关能够使联动板71下端设置有电动推杆77推动吸尘罩76向下移动，便于后续进行吸尘。
参阅图2和图5，烘干组件4包括固定安装在烘干箱体1外侧的底板41和设置在底板41上端的热风机42，热风机42的一端与输风管43相连通，输风管43贯穿烘干箱体1，且与安装在烘干箱体1内部的集风腔44相连通，集风腔44的内部安装有均流板45，集风腔44的一侧还均匀设置有喷嘴46；开启热风机42工作，利用输风管43进行输送热风，且在集风腔44的内部设有均流板45，集风腔44的表面均匀设置有喷嘴46，使得热风可以均匀从喷嘴46喷出，烘干组件4设置有两组，两组集风腔44相对设置，辅助增加烘干箱体1内部的温度，便于烘干使用。
参阅图3、图5和图6，清理组件7包括联动板71和设置在联动板71上端的连接块72，连接块72的上端安装有滑块B73，联动板71的上端安装有集尘室74，集尘室74的一端设置有伸缩管75，且伸缩管75贯穿联动板71，并与吸尘罩76连接，吸尘罩76的上端还安装有电动推杆77，且电动推杆77的上端与联动板71连接，联动板71的底面设置有齿槽B78，且齿槽B78与齿轮C67啮合连接；集尘室74的内部固定安装有隔板741，隔板741的一侧设置有吸风机742，吸风机742的一端与吸风管743连接，且吸风管743的另一端贯穿隔板741，且在隔板741的一侧安装有滤网745，吸风机742的另一端设置有排风管744，且排风管744贯穿集尘室74和烘干箱体1，且设置在密封环13的内侧；且排风管744为可伸缩结构，此时开启吸风机742工作，通过吸风管743、伸缩管75和吸尘罩76的配合，且齿轮C67的直径大于齿轮B65的直径，齿轮B65与齿轮A53结构一致，便于将半导体表面的灰尘进行吸附，灰尘可以停滞在隔板741右侧的腔室内，除尘效果好。
工作原理：在未使用时，齿轮A53与齿槽A552啮合连接处在辅助板551的中心处，此时开启驱动电机51工作，促使转轴52和齿轮A53进行顺时针转动，通过齿轮A53和齿槽A552的配合，能够使承载板54向烘干箱体1的外侧移动，直至承载板54的右端与烘干箱体1开口处平齐，承载板54的上端安装有蒸汽通路545，夹具548安装在蒸汽通路545的一侧，操作人员通过设置的夹具548能够将半导体片夹紧，此时使驱动电机51带动转轴52和齿轮A53反转，能够将承载板54带动半导体移动至烘干箱体1内，以便后续加工处理，在驱动电机51工作时，通过皮带62的配合，能够使连接轴61进行转动，在连接轴61进行转动的同时能够使齿轮C67进行转动，且齿轮B65与齿轮C67运动方向相反，齿轮C67与联动板71下端设置的齿槽B78啮合连接，从而能够使联动板71向与承载板54相反方向移动，此时通过连接块72安装在联动板71上端的滑块B73可以平稳的在滑槽12内滑动，当承载板54的右端移动到与烘干箱体1开口处平齐时，此时联动板71下端的吸尘罩76处于承载板54左端上方，操作人员利用开关能够使联动板71下端设置有电动推杆77推动吸尘罩76向下移动，便于后续进行吸尘，联动板71的上端安装有集尘室74，集尘室74的内部安装有隔板741，吸风机742处于隔板741的左侧，吸风机742的一端与吸风管743连接，吸风管743贯穿隔板741，且在隔板741的一侧设置有滤网745，吸风机742的另一端与排风管744连接，吸尘罩76与集尘室74之间通过伸缩管75连接，且排风管744为可伸缩结构，此时开启吸风机742工作，通过吸风管743、伸缩管75和吸尘罩76的配合，且齿轮C67的直径大于齿轮B65的直径，齿轮B65与齿轮A53结构一致，便于将半导体表面的灰尘进行吸附，灰尘可以停滞在隔板741右侧的腔室内，内槽541的内部均匀安装有加热件542，且加热件542外接电源，当对半导体表面吸尘结束后，利用开关使得加热件542工作，能够对水箱543进行加热，水箱543内部温度持续升高，可以将水箱543内的水蒸发为高温蒸汽，高温蒸汽能够顺着蒸汽通路545进行流动，风叶547通过连轴杆活动安装在衔接块546的一侧，高温蒸汽会冲向风叶547，能够使风叶547进行转动，即可以将高温蒸汽中的热量转化为风叶547旋转的机械能，进而可以使夹具548转动，而半导体片通过夹具548进行夹紧，从而能够使半导体片进行转动，半导体片转动的同时对其粘附在表面的水分进行离心，使得受热更加均匀，避免单面长时间受热而影响半导体片的质量，同时在烘干箱体1的外侧安装有底板41，热风机42固定安装在底板41的上端，热风机42通过输风管43与烘干箱体1内部的集风腔44进行连接，开启热风机42工作，利用输风管43进行输送热风，且在集风腔44的内部设有均流板45，集风腔44的表面均匀设置有喷嘴46，使得热风可以均匀从喷嘴46喷出，烘干组件4设置有两组，两组集风腔44相对设置，辅助增加烘干箱体1内部的温度，便于烘干使用。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
- 上一篇：一种医用注射器针头装配设备
- 下一篇：一种半导体晶圆用干燥系统及其工作方法