高真空方法兰金属密封结构

文档序号:1718272 发布日期:2019-12-17 浏览:27次 >En<

阅读说明:本技术 高真空方法兰金属密封结构 (High-vacuum square flange metal sealing structure ) 是由 许忠政 张志平 张黎源 姜正鹤 于 2019-09-29 设计创作,主要内容包括:本发明公开了一种高真空方法兰金属密封结构,包括第一法兰、第二法兰、定位组件、金属密封圈和连接件;所述第一法兰密封侧四个角设均有安装孔,安装孔底部形成螺纹孔;所述定位组件包括螺栓、弹簧和定位销;定位销通过螺栓安装在第一法兰安装孔底部的螺纹孔内;所述定位销与第一法兰安装孔孔壁之间设有弹簧;所述金属密封圈弯曲为方形,套在第一法兰四角安装的定位组件中的定位销上;所述第一法兰和第二法兰通过连接件紧固。本发明采用铝金属密封圈,能够烘烤加热至约350℃,达到高真空要求;本发明的法兰均为平法兰,无凸台等定位结构,方便加工;本发明的定位组件具有伸缩功能,安装时能提供定位功能,密封时缩回,不影响真空密封。(The invention discloses a high-vacuum square flange metal sealing structure which comprises a first flange, a second flange, a positioning assembly, a metal sealing ring and a connecting piece, wherein the first flange is fixedly connected with the second flange; four corners of the sealing side of the first flange are respectively provided with a mounting hole, and threaded holes are formed at the bottoms of the mounting holes; the positioning assembly comprises a bolt, a spring and a positioning pin; the positioning pin is arranged in a threaded hole at the bottom of the first flange mounting hole through a bolt; a spring is arranged between the positioning pin and the wall of the first flange mounting hole; the metal sealing ring is bent to be square and sleeved on positioning pins in positioning assemblies arranged at four corners of the first flange; the first flange and the second flange are fastened through a connecting piece. The aluminum metal sealing ring is adopted, so that the baking and heating can be carried out to about 350 ℃, and the high vacuum requirement is met; the flanges are flat flanges, and positioning structures such as bosses are omitted, so that the flange is convenient to process; the positioning assembly has a telescopic function, can provide a positioning function during installation, retracts during sealing, and does not affect vacuum sealing.)

高真空方法兰金属密封结构

技术领域

本发明涉及真空金属密封领域,具体是一种高真空方法兰金属密封结构。

背景技术

现有的真空密封通常包括橡胶密封和金属密封,金属密封寿命有限,在一定的使用寿命后会老化,需要更换。金属密封通常是圆法兰密封,常规的有金属垫圈密封和金属丝密封等密封结构形式。专利号为201720981219.3,发明名称为一种高真空金属密封结构的实用新型专利公开了一种真空密封结构,但其法兰上均有定位台,不便于加工,不能满足方法兰的密封。

发明内容

本发明就是为了解决上述现有技术中的不足,所提出一种高真空方法兰金属密封结构。

本发明是按照以下技术方案实现的。

一种高真空方法兰金属密封结构,包括第一法兰、第二法兰、定位组件、金属密封圈和连接件;

所述第一法兰密封侧四个角设均有安装孔,安装孔底部形成螺纹孔;

所述定位组件包括螺栓、弹簧和定位销;定位销通过螺栓安装在第一法兰安装孔底部的螺纹孔内;所述定位销与第一法兰安装孔孔壁之间设有弹簧;

所述金属密封圈弯曲为方形,套在第一法兰四角安装的定位组件中的定位销上;

所述第一法兰和第二法兰通过连接件紧固。

进一步的,所述第一法兰和第二法兰均为平法兰。

进一步的,所述定位销为内部中空结构,螺栓位于定位销内,定位销一端内径形成缩径,螺栓的螺帽卡在定位销的内径缩径处。

进一步的,所述定位销与内径缩径同端的外径形成缩径,弹簧套在定位销的外径缩径部。

进一步的,所述定位销与螺栓之间间隙配合。

进一步的,所述定位销与第一法兰安装孔间隙配合。

进一步的,所述金属密封圈为银、铝等软金属材质,焊接后需经退火处理。

优选的,所述金属密封圈为铝金属密封圈。

进一步的,所述金属密封圈截面直径约1mm~4mm。

进一步的,所述连接件为螺栓,螺母为自紧螺母。

本发明具有的优点和有益效果是:

本发明有效的解决了高真空方法兰的金属密封问题。本发明采用铝金属密封圈,能够烘烤加热至约350℃,达到高真空要求,而且铝、银等材料较柔软,方便弯曲为方形密封圈;本发明的第一法兰和第二法兰均为平法兰,无凸台等定位结构,方便方法兰加工;另外,本发明中的定位组件具有伸缩功能,安装时能提供定位功能,密封时缩回,不影响真空密封。本发明结构简单,密封效果好,充分满足了行业的需要,应用前景广阔。

附图说明

图1是本发明密封圈压紧后的金属密封结构示意图;

图2是本发明密封圈压紧前的金属密封结构示意图(局部)。

其中,1.第一法兰; 2.第二法兰;

3.定位组件; 3-1.螺栓;

3-2.弹簧; 3-3.定位销;

4.金属密封圈; 5.连接件。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细的说明。

如图1-2所示,一种高真空方法兰金属密封结构,包括第一法兰1、第二法兰2、定位组件3、金属密封圈4和连接件5;

所述第一法兰1密封侧四个角设均有安装孔,安装孔底部形成螺纹孔,用于安装定位组件3;

所述定位组件3包括螺栓3-1、弹簧3-2和定位销3-3;定位销3-3通过螺栓3-1安装在第一法兰安装孔底部的螺纹孔内;所述定位销3-3与第一法兰安装孔孔壁之间设有弹簧3-2;

所述金属密封圈4工作时弯曲为方形,套在第一法兰1四角安装的定位组件3中的定位销3-3上实现定位;

所述第一法兰1和第二法兰2通过连接件5紧固。

所述第一法兰1和第二法兰2均为平法兰,无凸台等定位结构,方便方法兰加工。

所述定位销3-3为内部中空结构,螺栓3-1位于定位销3-3内,定位销3-3一端内径形成缩径,螺栓3-1的螺帽卡在定位销3-3的内径缩径处,螺栓3-1的螺帽实现对定位销3-3的限位,防止定位销3-3在弹簧3-2弹力的作用下脱离第一法兰1。

所述定位销3-3与内径缩径同端的外径形成缩径,弹簧3-2套在定位销3-3的外径缩径部。

所述定位销3-3与螺栓3-1之间间隙配合。

所述定位销3-3与第一法兰安装孔间隙配合,能顺畅滑动。

所述金属密封圈4为银、铝等软金属材质,材料较柔软,方便弯曲为方形密封圈。优选的,金属密封圈4为铝金属密封圈,能够烘烤加热至约350℃,达到高真空要求。

所述金属密封圈4截面直径约1mm~4mm。

所述连接件5为螺栓;螺母为自紧螺母,具有防松结构。

本发明安装时,金属密封圈4箍在第一法兰1四角安装的定位销3-3上,防止金属密封圈4滑动;拧紧时,第二法兰2将定位销3-3压缩至第一法兰安装孔内,第二法兰2、第一法兰1与金属密封圈4接触,使金属密封圈4产生塑性变形,实现密封。本发明的定位组件具有伸缩功能,安装时能提供定位功能,密封时缩回,不影响真空密封。

对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

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