阅读说明：本技术 玻璃卷筒的制造方法及玻璃卷筒 (The manufacturing method and glass reel of glass reel ) 是由 森弘树 于 2018-03-29 设计创作，主要内容包括：本发明提供玻璃卷筒的制造方法及玻璃卷筒,玻璃卷筒的制造方法包括：玻璃膜供给工序,将带状的第一玻璃膜(2A)向规定的方向送出；成膜工序,在第一玻璃膜(2A)的一个面(2a)上通过加热形成透明导电膜(3),从而形成第二玻璃膜(2B)；保护膜供给工序,将具有粘接面的带状的保护膜(4)重叠于第二玻璃膜(2B)的另一个面(2b)而形成第三玻璃膜(2C)；以及卷绕工序,将第三玻璃膜(2C)卷绕成卷筒状。(The present invention provides the manufacturing method and glass reel of glass reel, and the manufacturing method of glass reel includes: glass-film supply step, and band-like the first glass-film (2A) is sent out to defined direction；Film formation process, by being thermally formed transparent conductive film (3) on a face (2a) of the first glass-film (2A), to form the second glass-film (2B)；Band-like protective film (4) with bonding plane is overlapped in another face (2b) of the second glass-film (2B) and forms third glass-film (2C) by protective film supply step；And rolling step, third glass-film (2C) is wound into a roll tubular.)

玻璃卷筒的制造方法及玻璃卷筒

技术领域

本发明涉及由在表面形成有透明导电膜的玻璃膜构成的玻璃卷筒及其制造方法。

背景技术

众所周知，液晶显示器、有机EL显示器等薄型显示设备、以及近年来迅速普及的智能手机、平板型PC等移动设备被要求轻量。因此，作为这些设备所采用的玻璃基板，正在使用被薄板化为膜状的玻璃膜。该玻璃膜在最终产品的阶段形成大致矩形等的形态，但在其以前的制造工序、各种处理工序等阶段中，作为形成带状的形态来处理。

由于这种玻璃膜具有适当的挠性，因此考虑到保管时、输送时等的便利性，通常采用绕卷芯等卷绕成卷筒状的玻璃卷筒的形态。如果将玻璃膜预先设为玻璃卷筒的形态，则不仅保管性等优异，而且能够容易切出多张大致矩形等的玻璃膜。

在玻璃卷筒的表面形成功能性膜，以使具备各种设备中的各种功能。为了使功能性膜成为高性能，存在一边加热玻璃膜一边成膜的情况。例如在专利文献1中，公开了如下方法：使用加热到300℃以上的罐(can)来对从基板卷筒供给的玻璃膜(玻璃片)进行加热，通过溅射法在该玻璃膜的表面形成透明导电膜(例如铟锡氧化物)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-119322号公报

发明内容

发明要解决的课题

玻璃膜与树脂膜相比耐热性优异，因此特别适用于如上所述进行加热成膜的情况。另一方面，由于玻璃膜的机械强度低，因此在从上述结构的玻璃卷筒引出带膜的玻璃膜来进行各种设备的制造工序的情况下，有可能损伤。

本发明是鉴于上述的情况而完成的，其技术课题在于防止由形成透明导电膜的玻璃膜构成的玻璃卷筒的损伤。

用于解决课题的手段

本发明是为了解决上述课题而提出的，涉及一种玻璃卷筒的制造方法，该玻璃卷筒是将带状的玻璃膜卷绕成卷筒状而成的，其特征在于，所述玻璃卷筒的制造方法包括：玻璃膜供给工序，将带状的第一玻璃膜向规定的方向送出；成膜工序，在所述第一玻璃膜的一个面上通过加热形成透明导电膜，从而形成第二玻璃膜；保护膜供给工序，将具有粘接面的带状的保护膜重叠于所述第二玻璃膜的另一个面而形成第三玻璃膜；以及卷绕工序，将所述第三玻璃膜卷绕成卷筒状。

如上所述，通过在第二玻璃膜的另一个面上重叠保护膜而成为第三玻璃膜，从而能够通过保护膜来保护玻璃膜。由该第三玻璃膜构成的玻璃卷筒能够在通过保护膜保护玻璃膜的状态下实施各种设备的制造相关处理。由此，能够防止处理中的玻璃膜的损伤。

在本发明的玻璃卷筒的制造方法中，也可以是，所述玻璃卷筒的制造方法包括：临时卷绕工序，将所述成膜工序后的所述第二玻璃膜卷绕成卷筒状；第二玻璃膜供给工序，从通过所述临时卷绕工序构成的临时玻璃卷筒引出所述第二玻璃膜并向规定的方向送出；以及所述保护膜供给工序，在所述第二玻璃膜供给工序后，形成所述第三玻璃膜。

另外，优选的是，在所述卷绕工序中，以使所述保护膜成为外侧的方式将所述第三玻璃膜卷绕成卷筒状。由此，能够适当地防止玻璃卷筒状态的玻璃膜断裂。

另外，优选的是，在所述保护膜供给工序中，通过利用卷绕所述第三玻璃膜的卷芯和引导所述保护膜的引导辊夹持所述第二玻璃膜以及所述保护膜，从而形成所述第三玻璃膜。这样，通过利用第三玻璃膜的卷芯和引导辊夹持第二玻璃膜和所述保护膜，从而能够将保护膜可靠且准确地重叠于第二玻璃膜。另外，通过在第三玻璃膜的形成中利用卷芯，从而能够简化引导辊的结构。

在本发明的玻璃卷筒的制造方法中，优选的是，在所述成膜工序中，在真空室内通过溅射法将所述透明导电膜形成于所述第一玻璃膜。通过溅射法，在第一玻璃膜上通过加热形成透明导电膜，从而能够形成不易从第一玻璃膜剥离的牢固的透明导电膜，并且能够实现该透明导电膜的低电阻化。即，所述透明导电膜在由单层构成的情况下能够将薄层电阻设为20Ω/□以下的低电阻。

本发明是为了解决上述课题而提出的，涉及一种玻璃卷筒，其是带状的玻璃膜被卷绕成卷筒状而成的，其特征在于，所述玻璃卷筒具备：透明导电膜，其形成于所述玻璃膜的一个面；以及保护膜，其重叠于所述玻璃膜的另一个面且具有粘接面，所述透明导电膜为单层，且所述透明导电膜的薄层电阻为20Ω/□以下。

根据上述的结构，通过将保护膜重叠于玻璃膜的另一个面，从而能够保护该玻璃膜。因此，本发明的玻璃卷筒能够在防止玻璃膜的损伤的同时对玻璃膜的透明导电膜进行规定的制造相关处理。另外，由于透明导电膜由单层构成时的薄层电阻为20Ω/□以下，因此能够适用于各种设备的电极等。

在上述结构的玻璃卷筒中，优选的是，所述玻璃膜以所述保护膜成为外侧的方式卷绕。由此，能够防止玻璃卷筒状态的玻璃膜断裂。

发明效果

根据本发明，能够防止由形成有透明导电膜的玻璃膜构成的玻璃卷筒的损伤。

附图说明

图1是玻璃卷筒的侧视图。

图2是示出玻璃卷筒的制造装置的侧面剖视图。

图3是示出玻璃卷筒的制造方法的流程图。

图4是示出其他方式的玻璃卷筒的制造装置的一部分的侧面剖视图。

图5是示出玻璃卷筒的制造装置的一部分的侧视图。

图6是示出玻璃卷筒的制造方法的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对具体实施方式进行说明。图1至图3示出本发明的玻璃卷筒及其制造方法的第一实施方式。

如图1所示，玻璃卷筒1是在将透明导电膜3形成于带状的玻璃膜2的一个面(以下，称为“第一面”)2a且将保护膜4重叠于另一个面(以下，称为“第二面”)2b的状态下在卷芯5的周围卷绕成卷筒状的卷筒。在本实施方式的玻璃卷筒1中，构成为，玻璃膜2的第一面2a为内周面，第二面2b为外周面。即，在玻璃膜2的内侧(第一面2a)形成有透明导电膜3，在外侧(第二面2b)重叠有保护膜4。

玻璃膜2的厚度为500μm以下，优选为10μm以上且300μm以下，最优选为30μm以上且200μm以下。

作为玻璃膜2的材质，使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃，优选使用硼硅酸玻璃、钠钙玻璃、铝硅酸盐玻璃、化学强化玻璃，最优选使用无碱玻璃。通过使用无碱玻璃作为玻璃膜2，从而能够形成化学稳定的玻璃。在此，无碱玻璃是指实质上不含有碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体地说，是碱成分的重量比为3000ppm以下的玻璃。本发明中的碱成分的重量比优选为1000ppm以下，更优选为500ppm以下，最优选为300ppm以下。

玻璃膜2能够通过公知的浮法、轧平(roll out)法、狭缝下拉法、再拉法等成形，优选通过溢流下拉法成形。在溢流下拉法中，使熔融玻璃流入设置于剖面大致呈楔形的成形体上部的溢流槽，一边使从该溢流槽向两侧溢出的熔融玻璃沿着成形体的两侧的侧壁部流下，一边在成形体的下端部进行融合一体化，连续成形一张玻璃膜2。

通过溢流下拉法，能够大量且低价地制作厚度300μm以下的玻璃膜2。由此，制作出的玻璃膜2不需要通过研磨、磨削、化学蚀刻等调整玻璃膜2的厚度。另外，溢流下拉法是成形时玻璃膜2的两面不与成形体接触的成形法，得到的玻璃膜2的两面(透光面)成为锻造面，即使不研磨也能够得到较高的表面品质。

透明导电膜3的厚度优选为10nm以上且1000nm以下，更优选为50nm以上且500nm以下，最优选为100nm以上且300nm以下。另外，在玻璃膜2形成的透明导电膜3的薄层电阻优选为20Ω/□以下，更优选为15Ω/□以下。

作为透明导电膜3的材质，只要是具有透光性以及导电性的材质，就没有特别限定。透明导电膜3例如由铟锡氧化物(ITO)、氟掺杂锡氧化物(FTO)、铟锌氧化物(IZO)、铝掺杂锌氧化物(AZO)等构成。

保护膜4的一个面4a为粘接面。粘接面与玻璃膜2的第二面2b接触。粘接面的粘接力优选设定为在对玻璃卷筒1进行各种设备的制造相关处理之后，能够从玻璃膜2剥离的程度。该粘接力优选为0.001N/25mm以上且1.5N/25mm以下，但并不局限于该范围。另外，保护膜4的厚度优选为10μm以上且1000μm以下，更优选为20μm以上且500μm以下。

作为保护膜4的材质，例如，能够使用离聚物膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚氯乙烯膜、聚偏二氯乙烯膜、聚乙烯醇膜、聚酯膜、聚碳酸酯膜、聚苯乙烯膜、聚丙烯腈膜、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物膜、乙烯-乙烯醇共聚物膜、乙烯-甲基丙烯酸共聚物膜、尼龙(注册商标)膜(聚酰胺膜)、聚酰亚胺膜、玻璃纸等有机树脂膜(合成树脂膜)等，优选使用聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(PET膜)。

在该实施方式中，卷芯5呈中空的圆筒状，但也可以为实心的圆柱状。卷芯5的材质没有特别地限定，但例如，能够使用铝合金、不锈钢、锰钢、碳钢等金属、酚醛树脂、尿素树脂、三聚氰胺树脂、不饱和聚酯树脂、环氧树脂、聚氨酯、对苯二甲酸二烯丙酯树脂等热固性树脂、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、AS树脂、ABS树脂、甲基丙烯酸树脂、氯乙烯等热塑性树脂、或者在这些热固性树脂或热塑性树脂中混合有玻璃纤维、碳纤维等强化纤维的强化塑料、纸管等。

需要说明的是，在以下的说明中，将作为母材的玻璃膜称为第一玻璃膜2A，将在第一玻璃膜2A形成有透明导电膜3的玻璃膜称为第二玻璃膜2B。另外，在第二玻璃膜2B重叠有保护膜4的层叠体(由玻璃膜2、透明导电膜3以及保护膜4构成层叠体)称为第三玻璃膜2C。

图2是示出本实施方式中的玻璃卷筒1的制造装置6。制造装置6具备成膜装置7以及保护膜供给装置8。成膜装置7具有真空室9。真空室9具有玻璃膜供给室9a、成膜室9b以及玻璃膜回收室9c。

在玻璃膜供给室9a配置有通过卷芯5A将第一玻璃膜2A卷绕成卷筒状的母材玻璃卷筒1A。通过卷芯5A的旋转，从母材玻璃卷筒1A引出的第一玻璃膜2A从玻璃膜供给室9a向成膜室9b供给。

在成膜室9b配置有将透明导电膜3形成于第一玻璃膜2A的第一面2a的成膜部10。成膜部10能够通过溅射法、蒸镀法、CVD法等各种成膜法将透明导电膜3形成于第一玻璃膜2A。在本实施方式中，对通过溅射法形成作为透明导电膜3的ITO膜的情况进行说明。

成膜部10由离子束溅射装置、磁控溅射装置等构成。作为溅射装置的成膜部10主要具备包含靶的溅射源11以及支承第一玻璃膜2A的加热辊12。

溅射源11以使从靶飞散的溅射粒子(ITO粒子)附着于第一玻璃膜2A的第一面2a的方式，从加热辊12隔开恒定的间隔而配置。

加热辊12具备：圆筒状的辊主体13，其支承第一玻璃膜2A；以及加热器14，其加热该辊主体13。辊主体13由玻璃或者陶瓷构成。辊主体13被轴部15支承为旋转自如。

加热器14为了加热辊主体13而配置于该辊主体13的内侧。加热器14例如由红外线加热器或者近红外线加热器构成，但并不局限于此。

通过利用成膜部10使透明导电膜3形成于第一玻璃膜2A，从而构成第二玻璃膜2B。第二玻璃膜2B被搬运到玻璃膜回收室9c，然后，重叠保护膜4而成为第三玻璃膜2C。

在真空室9的玻璃膜回收室9c配置有卷绕第三玻璃膜2C的卷芯5以及保护膜供给装置8。卷芯5卷绕第三玻璃膜2C，从而形成成为最终形态的玻璃卷筒1。母材玻璃卷筒1A以及玻璃卷筒1构成为，通过卷筒对卷筒(Roll to Roll)方式，将各玻璃膜2A～2C连续地搬运。

保护膜供给装置8具备保护膜卷筒16、引导辊17以及引导辊17的支承机构18。

保护膜卷筒16配置于玻璃卷筒1的上方，但并不局限该结构。保护膜卷筒16也可以设置于玻璃卷筒1的下游侧的位置或者下方位置。

引导辊17由一个辊构成。引导辊17以与玻璃卷筒1的卷芯5一起夹持第三玻璃膜2C和保护膜4的方式构成。引导辊17配置于比玻璃卷筒1的卷芯5靠上方的位置，但并不局限于该位置。引导辊17的辊面17a由缓冲材料构成。缓冲材料优选由橡胶等弹性体构成。

支承机构18具备：支承构件19，其将引导辊17支承为旋转自如；以及支承轴20，其将该支承构件19支承为转动自如。引导辊17通过经由支承构件19而作用于支承轴20周围的力矩，以适度的按压力与玻璃卷筒1的一部分接触。另外，引导辊17通过该支承机构18被支承为追随制造过程中的玻璃卷筒1的外径的扩大而移动。

以下，对本实施方式中的玻璃卷筒1的制造方法进行说明。如图3所示，本方法包括玻璃膜供给工序、成膜工序、保护膜供给工序以及卷绕工序。

在玻璃膜供给工序中，从配置于玻璃膜供给室9a的母材玻璃卷筒1A引出第一玻璃膜2A，向下游侧的成膜室9b内的成膜部10输送。

在成膜工序中，通过成膜部10将透明导电膜3形成于从玻璃膜供给室9a供给的第一玻璃膜2A的第一面2a。在成膜室9b中，通过未图示的真空泵设定为规定的真空度，并且供给氩气等非活性气体。成膜部10使溅射粒子(例如ITO粒子)从溅射源11飞散，并依次附着于第一玻璃膜2A的第一面2a。

加热辊12的辊主体13通过利用未图示的驱动源来驱动轴部15，从而以沿着第一玻璃膜2A的搬运方向的方式向规定的方向(图2中的箭头R的方向)旋转。辊主体13的一部分与第一玻璃膜2A的第二面2b接触。辊主体13通过其旋转，将第一玻璃膜2A向下游侧(玻璃膜回收室9c侧)引导。

辊主体13通过加热器14被加热到规定的温度。辊主体13的温度例如设定为200℃以上且500℃以下，但并不局限于该范围。由此，辊主体13一边对第一玻璃膜2A进行加热一边将第一玻璃膜2A向下游侧引导。第一玻璃膜2A通过辊主体13被加热为150℃以上。在溅射粒子为ITO的情况下，第一玻璃膜2A优选被加热为200℃以上，更优选被加热为250℃，最优选被加热为300℃以上。通过第一玻璃膜2A被加热，从而使附着于该第一玻璃膜2A的ITO粒子结晶化，形成低电阻(20Ω/□以下)的透明导电膜3。由此，形成第二玻璃膜2B。

在保护膜供给工序中，随着保护膜供给装置8中的保护膜卷筒16的卷芯21的旋转，引出保护膜4。保护膜4以及第二玻璃膜2B被引导辊17和玻璃卷筒1的卷芯5夹持。由此，保护膜4的一个面4a(粘接面)被粘附于第二玻璃膜2B的作为外周面的第二面2b。由此，开始形成第三玻璃膜2C。

在卷绕工序中，通过卷芯5的旋转立即卷绕经过保护膜供给工序而形成的第三玻璃膜2C。由此，在卷芯5的周围形成玻璃卷筒1。玻璃卷筒1根据卷芯5的旋转而扩大其外径。

此时，保护膜供给装置8的引导辊17追随玻璃卷筒1的外径的扩大而向外侧移动。支承机构18的支承构件19为了使引导辊17移动，绕支承轴20(顺时针旋转)转动。即，引导辊17根据玻璃卷筒1的外径的扩大，从图2中由实线示出的位置向由双点划线示出的位置移动。由此，引导辊17在不向玻璃卷筒1施加过度的按压力的情况下，使保护膜4与第二玻璃膜2B可靠地接触。

通过卷芯5卷绕规定长度的第三玻璃膜2C，从而卷绕工序结束，完成本实施方式的玻璃卷筒1。

需要说明的是，在之后的工序中，从玻璃卷筒1引出第三玻璃膜2C，通过光刻等手段在透明导电膜3上形成规定的电路图案(例如电极图案)。若执行规定的制造相关处理，则保护膜4从玻璃膜2被除去(剥离)。

根据以上说明的本实施方式的玻璃卷筒1的制造方法，通过将保护膜4重叠于玻璃膜2，从而能够保护该玻璃膜2。由此，能够防止各种设备的制造相关工序中的玻璃膜2的损伤。另外，在卷绕工序中，当通过以使保护膜4成为外侧的方式卷绕第三玻璃膜而构成玻璃卷筒1时，拉伸应力作用于玻璃膜2的第二面2b，但能够通过保护膜4适当地保护玻璃膜2的第二面2b。由此，能够有效地防止玻璃卷筒1状态的玻璃膜2发生断裂。此外，由于在玻璃膜2的第一面2a形成的透明导电膜3通过加热形成，因此，能够实现20Ω/□以下这样的低电阻，能够适宜地用于各种设备的电极等。

另外，通过在真空室9内进行保护膜供给工序，从而能够提高玻璃卷筒1的制造效率。此外，通过将保护膜供给装置8配置于成膜装置7的真空室9内，从而能够使制造装置6小型化。

图4至图6示出玻璃卷筒及其制造方法的第二实施方式。

玻璃卷筒1的制造装置6单独地具备成膜装置7以及保护膜供给装置8。如图4所示，成膜装置7的真空室9与第一实施方式同样地，具备玻璃膜供给室9a、成膜室9b以及玻璃膜回收室9c。与第一实施方式同样地，在玻璃膜供给室9a配置有母材玻璃卷筒1A，在成膜室9b设置有成膜部10。

在玻璃膜回收室9c未设置有保护膜供给装置8。在玻璃膜回收室9c配置有卷绕第二玻璃膜2B的卷芯5B。通过卷芯5B卷绕第二玻璃膜2B，从而在其周围形成临时玻璃卷筒1B。成膜装置7中的其他结构与第一实施方式相同。

保护膜供给装置8配置于成膜装置7中的真空室9的外侧，且为该成膜装置7的附近位置。如图5所示，保护膜供给装置8具备保护膜卷筒16以及引导保护膜4的引导辊17。保护膜卷筒16通过卷芯21卷绕保护膜4而构成。引导辊17由夹持辊构成，但并不局限于该结构。

如图5所示，临时玻璃卷筒1B以及玻璃卷筒1通过卷筒对卷筒方式连结，保护膜卷筒16配置于临时玻璃卷筒1B与玻璃卷筒1之间。保护膜供给装置8经由引导辊17使从保护膜卷筒16引出的保护膜4接触随着卷芯5B的旋转而从临时玻璃卷筒1B引出的第二玻璃膜2B。由此，在引导辊17的下游侧连续地形成第三玻璃膜2C。卷芯5通过卷绕该第三玻璃膜2C，从而在其周围构成玻璃卷筒1。

以下，对通过上述结构的制造装置6制造玻璃卷筒1的方法进行说明。

如图6所示，本方法包括：第一玻璃膜供给工序，供给第一玻璃膜2A；成膜工序，在第一玻璃膜2A形成透明导电膜3；第一卷绕工序，在成膜工序后，将第二玻璃膜2B作为临时玻璃卷筒1B进行回收；第二玻璃膜供给工序，从临时玻璃卷筒1B引出第二玻璃膜2B而供给；保护膜供给工序，将保护膜4重叠于第二玻璃膜2B而构成第三玻璃膜2C；以及第二卷绕工序，将第三玻璃膜2C作为玻璃卷筒1进行回收。

第一玻璃膜供给工序以及成膜工序与第一实施方式的玻璃膜供给工序以及成膜工序同样地，从在成膜装置7中的真空室9的玻璃膜供给室9a配置的母材玻璃卷筒1A引出第一玻璃膜2A而向成膜室9b供给，并通过成膜部10在第一玻璃膜2A的第一面2a形成透明导电膜3。由此，形成

第二玻璃膜2B。

第一卷绕工序是在通过卷芯5卷绕第三玻璃膜2C之前，利用其他卷芯5B临时卷绕第二玻璃膜2B的工序(临时卷绕工序)。在第一卷绕工序中，在成膜室9b中通过的第二玻璃膜2B被导入到玻璃膜回收室9c，被卷芯5B卷绕。卷芯5B以卷绕第二玻璃膜2B的方式被未图示的驱动源驱动而旋转。由此，在卷芯5B的周围形成临时玻璃卷筒1B。临时玻璃卷筒1B随着卷芯5B的旋转而逐渐扩大外径。若卷芯5B卷绕规定长度的第二玻璃膜2B，则第一卷绕工序结束。此后，临时玻璃卷筒1B从玻璃膜回收室9c被取出。

在第二玻璃膜供给工序中，从自玻璃膜回收室9c取出的临时玻璃卷筒1B引出第二玻璃膜2B，并向下游侧的保护膜供给装置8供给。

在保护膜供给工序中，从保护膜卷筒16引出保护膜4。保护膜4与第二玻璃膜2B一起被引导辊17(夹持辊)夹持。由此，保护膜4的一个面4a(粘接面)粘附于第二玻璃膜2B的第二面2b。由此，形成第三玻璃膜2C。

在第二卷绕工序中，通过卷芯5卷绕第三玻璃膜2C。卷芯5被未图示的驱动源驱动而旋转。由此，在卷芯5的周围形成玻璃卷筒1。玻璃卷筒1随着卷芯5的旋转而逐渐扩大外径。若卷芯5卷绕规定长度的第三玻璃膜2C，则第二卷绕工序结束，完成玻璃卷筒1。

需要说明的是，本发明并不局限于上述实施方式的结构，并不局限于上述作用效果。本发明能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。

在上述的实施方式中，虽然示出在真空室9内配置母材玻璃卷筒1A，通过卷筒对卷筒方式在第一玻璃膜2A形成透明导电膜3的例子，但并不局限于该结构。例如，也可以将通过溢流下拉法连续地成形的玻璃膜2(第一玻璃膜2A)导入到真空室9内，在该玻璃膜2形成透明导电膜3。在该情况下，不使用母材玻璃卷筒1A而形成第二玻璃膜2B。

在上述的实施方式中，虽然示出通过利用加热器14加热的辊主体13来加热第一玻璃膜2A的例子，但并不局限于该结构。例如，也可以在真空室9的成膜室9b内，在第一玻璃膜2A的附近配置加热器14，通过该加热器14加热第一玻璃膜2A。

在上述的实施方式中，虽然例示出仅在玻璃膜2的第一面2a形成透明导电膜3的玻璃卷筒1，但并不局限于此，也可以在玻璃膜2的两个面2a、2b形成透明导电膜3。

在上述的实施方式中，虽然示出将保护膜4的一个面4a作为粘接面，而粘附于第一玻璃膜2A的第二面2b的例子，但并不局限于该结构。也可以将保护膜4的两个面作为粘接面，在玻璃卷筒1中使保护膜4的另一个面与透明导电膜3粘附。在该情况下，优选将保护膜4的一个面4a的粘接力设定得比另一个面的粘接力大。

在上述的实施方式中，虽然例示出在玻璃膜2的内侧(第一面2a)形成有透明导电膜3且在外侧(第二面2b)重叠有保护膜4的玻璃卷筒1，但并不局限于该结构。也可以是在玻璃膜2的内侧重叠有保护膜4且在玻璃膜2的外侧形成有透明导电膜3的玻璃卷筒1。

在上述的实施方式中，虽然例示出仅由第一玻璃膜2A(玻璃膜2)构成的母材玻璃卷筒1A，但并不局限于该结构。母材玻璃卷筒1A也可以将在成为母材的玻璃膜2上重叠有由PET等树脂构成的带状的缓冲膜的玻璃膜构成为卷筒状。在该情况下，优选在玻璃膜供给工序中，在真空室9的玻璃膜供给室9a内使从母材玻璃卷筒1A引出的第一玻璃膜2A与缓冲膜分离，并在玻璃膜供给室9a内通过卷芯等卷绕缓冲膜。另外，也可以在制作临时玻璃卷筒1B时，适当地重叠由PET等树脂构成的带状的缓冲膜。

另外，也可以在带状的玻璃膜2的始端部以及末端部安装有用于将卷芯5、5A、5B和玻璃膜2(2A～2C)连结的导向件(例如带状的树脂膜)。

附图标记说明：

1 玻璃卷筒

2 玻璃膜

2a 玻璃膜的一个面

2b 玻璃膜的另一个面

2A 第一玻璃膜

2B 第二玻璃膜

2C 第三玻璃膜

3 透明导电膜

4 保护膜

4a 粘接面

5 第三玻璃膜的卷芯

9 真空室。