阅读说明：本技术 缺陷检查装置和缺陷检查方法 () 是由 本田敏文 松本俊一 幕内雅巳 浦野雄太 冈惠子 于 2018-02-16 设计创作，主要内容包括：本发明的缺陷检查装置具备：照明部,其向试样的检查对象区域照明从光源射出的光；检测部,其检测从上述检查对象区域产生的多个方向的散射光；光电变换部,其将通过上述检测部检测出的上述散射光变换为电信号；信号处理部,其对通过上述光电变换部变换后的上述电信号进行处理,检测上述试样的缺陷,上述检测部具备对开口进行分割而在上述光电变换部上形成多个像的成像部,上述信号处理部对与成像的上述多个像对应的电信号进行合成,检测上述试样的缺陷。()