具体实施方式

以下，参照附图对本发明的示例性的实施方式进行说明。此外，以下，将与接触端子的中心轴J(参照图2、图7、图13)平行的方向称为“轴向”，将图中轴向一方侧示为X1，将轴向另一方侧示为X2。并且，将绕中心轴J的方向称为“周向”。

＜1.检查装置的整体结构＞

使用图1对本发明的示例性的实施方式的检查装置25的整体结构进行说明。此外，图1中，轴向一方X1侧相当于下方，轴向另一方X2侧相当于上方。

图1所示的检查装置25进行检查对象30的电检查。检查装置25具备检查夹具10和检查处理部15。检查夹具10例如构成为所谓的探针卡。

检查对象30例如是在硅等半导体基板形成有多个电路的半导体晶片。半导体晶片通过切割而单片化为分别具有各个上述电路的半导体芯片。此外，检查对象30除了设为半导体晶片以外，例如还能够设为半导体芯片、CSP(Chip size package：芯片尺寸封装)、或者半导体元件等电子器件。

并且，检查对象30也可以是基板。在该情况下，检查对象30例如可以是印刷布线基板、环氧玻璃基板、柔性基板、陶瓷多层布线基板、半导体封装用的封装基板、内插基板、薄膜载体等基板，也可以是液晶显示器、EL(Electro-Luminescence：电致发光)显示器、触摸面板显示器等显示器用的电极板、或者触摸面板用的电极板。

并且，也可以将基于被称为EMIB(Embedded Multi-die Interconnect Bridge：嵌入式多芯片互连桥接)的封装技术的产品作为检查对象30。在EMIB中，将被称为硅桥的较小的硅基板埋入到封装树脂基板，且在硅桥的表面形成微细且高密度的布线，从而将相邻的硅裸片接近搭载于封装树脂基板。

如图1所示，检查夹具10具备探头1、间距转换单元4以及连接板5。探头1具有接触端子(探针)2和支撑部件3。

支撑部件3支撑多根形成为棒状的接触端子2。即，检查夹具10具备多个接触端子2和支撑多个接触端子2的支撑部件3。

间距转换单元4配置于支撑部件3的上方，并固定于支撑部件3。接触端子2在轴向一方X1侧具有一端部2A，在轴向另一方X2侧具有另一端部2B。另一端部2B与设于间距转换单元4的下端部的各第一电极41(参照图10)连接。

上述各第一电极41经由形成于间距转换单元4内部的未图示的布线部而与形成于间距转换单元4的上端部的各第二电极(未图示)导通。间距转换单元4将接触端子2间的第一间距转换成上述第二电极间的第二间距。第二间距比第一间距长。间距转换单元4例如由MLO(Multi-Layer Organic：多层有机)或MLC(Multi-Layer Ceramic：多层陶瓷)等多层布线基板等形成。

连接板5构成为能够装卸间距转换单元4。在连接板5形成有与上述第二电极连接的未图示的多个电极。连接板5的上述各电极例如通过未图示的电缆或连接端子等与检查处理部15电连接。

检查处理部15例如具备电源电路、电压计、电流计以及微型计算机等。检查处理部15控制未图示的驱动机构来使检查夹具10移动。

在检查对象30例如为半导体晶片的情况下，在检查对象30中，按照与在切割后形成的半导体芯片的各个半导体芯片对应的每个电路，形成多个焊盘或多个凸块等检查点。检查处理部15将形成于检查对象30的多个电路中的一部分区域作为检查区域，使检查夹具10移动到接触端子2与检查区域内的各检查点在上下方向上对置的位置。此时，检查夹具10处于使接触端子2的一端部2A朝向检查对象30侧的状态。

然后，检查处理部15使检查夹具10向下方移动，使接触端子2与检查区域内的各检查点接触。由此，各检查点与检查处理部15电连接。

检查处理部15在上述的状态下经由各接触端子2向检查对象30的各检查点供给检查用的电流或电压，基于从各接触端子2得到的电压信号或电流信号，例如执行电路图案的断线或短路等检查对象30的检查。或者，检查处理部15也可以基于通过向各检查点供给交流的电流或电压而从各接触端子2得到的电压信号或电流信号，来测定检查对象30的阻抗。

即，检查装置25具备检查夹具10和检查处理部15，该检查处理部15基于通过使接触端子2与设于检查对象30的检查点接触而得到的电信号，来进行检查对象30的检查。

若检查对象30中的检查区域内的检查完成，则检查处理部15使检查夹具10向上方移动，使检查夹具10平行移动到与新的检查区域对应的位置，之后使检查夹具10向下方移动，而使接触端子2与新的检查区域内的各检查点接触来进行检查。这样，通过一边依次变更检查区域一边进行检查，来进行检查对象30整体的检查。

此外，也可以做成使检查夹具10的位置固定、使检查对象30相对于检查夹具10移动的结构。

＜2.接触端子的第一实施方式＞

以下，对接触端子2的结构进行更详细的说明。图2示出未对接触端子2施加载荷、第一弹簧部202及第二弹簧部203为自然长度状态的情况。

如图2所示，接触端子2具备：沿接触端子2的轴向延伸且具有导电性的筒状体20；具有导电性的棒状的第一导体(柱塞)21；以及具有导电性的棒状的第二导体(柱塞)22。第一导体21及第二导体22例如由镍合金等导电性材料形成。

筒状体20形成为圆筒状，例如使用具有约25～300μm的外径和约10～250μm的内径的镍或镍合金的管材来形成。并且，优选在筒状体20的内周面形成镀金等的镀层。另外，也可以根据需要对筒状体20的外周面进行绝缘包覆。

筒状体20具有第一主体部201、第一弹簧部202、第二弹簧部203以及第二主体部204。第一主体部201设于筒状体20的轴向一方侧端部20A。第一弹簧部202与第一主体部201的轴向另一方X2侧连接配置。第二弹簧部203配置为比第一弹簧部202更靠轴向另一方X2侧。第二主体部204配置在第一弹簧部202与第二弹簧部203之间。

第一弹簧部202及第二弹簧部203形成为沿筒状体20的周面呈螺旋状地延伸的螺旋状体。第一主体部201及第二主体部204呈不构成为螺旋状的筒状。

即，筒状体20具有：构成为沿着筒状体20的周面的螺旋状的弹簧部202、203；以及与弹簧部202的轴向一方X1侧连接而不构成为螺旋状的第一主体部201。

为了制造这样的具有螺旋状体的筒状体，例如，当通过镀敷而在芯材的外周形成镀金层后，通过电铸在所形成的镀金层的外周形成镍电铸层。当在镍电铸层的外周形成抗蚀剂层后，利用激光进行曝光来将抗蚀剂层的一部分呈螺旋状地除去。将抗蚀剂层作为掩蔽材料进行蚀刻，将呈螺旋状地除去抗蚀剂层后的部位的镍电铸层除去。然后，在除去抗蚀剂层后，将呈螺旋状地除去镍电铸层后的部位的镀金层除去，保持在镍电铸层的内周残留镀金层的状态不变地将芯材除去来形成筒状体。

此外，筒状体20的形状不限定于圆筒状，例如也可以呈在沿轴向剖视时具有四边形或六边形等方形环状的筒状。

第一导体21具有第一突出部211和第一插入部212。第一导体21及下述的第二导体22例如通过利用车床的切削加工来形成。

第一突出部211具有棒状主体部211A和与棒状主体部211A的轴向另一方X2侧连接的凸边部211B。棒状主体部211A在轴向一方X1侧具有前端部211A1。如将在下文中说明，前端部211A1与检查对象30的检查点接触。即，第一导体21能够与检查对象30接触。

此外，在图2的例子中，前端部211A1呈圆锥状，但不限定于此，例如也可以呈圆锥台状、半球状或平面状等。

第一插入部212与凸边部211B的轴向另一方X2侧连接，设于第一导体21的轴向另一方侧端部21A。

此处，使用图5对第一导体21组装于筒状体20的结构进行说明。第一插入部212具有压入部212A。此处，第一主体部201在轴向一方X1侧具有固定部201A。在固定部201A的周面设有从筒状体20的轴向一方侧端面20A1沿轴向切入而形成的端部侧切口S1。即，在第一主体部201的周面设有从筒状体20的轴向一方侧端面20A1沿轴向延伸的端部侧切口S1。

压入部212A的轴向一方侧端部212A1的外径D1比将第一导体21固定于筒状体20之前的状态下的固定部201A的内径大。压入部212A的轴向另一方侧端部212A2与轴向一方侧端部212A的轴向另一方X2侧连接。轴向另一方侧端部212A2的外径随着从轴向一方侧端部212A1的外径朝向轴向另一方X2侧而逐渐变小。在将第一导体21组装于筒状体20时，从轴向一方X1侧向固定部201A内部插入轴向另一方侧端部212A2。此时，若向固定部201A内部插入轴向一方侧端部212A1，则端部侧切口S1扩大，压入部212A被压入到固定部201A。在该状态下，轴向一方侧端部212A1的外径D1与固定部201A的内径相等，比第一主体部201的轴向另一方侧端部201B的内径D2大。由于凸边部211B的外径比固定部201A的内径大，所以凸边部211B与固定部201A接触而限制第一导体21的推入。由此，第一棒状主体部211A及凸边部211B配置于筒状体20的轴向一方X1侧。

即，第一导体21具有从筒状体20向轴向一方X1侧突出的第一突出部211、以及设于第一导体21的轴向另一方侧端部21A且配置于筒状体20内部的第一插入部212。第一插入部212固定于第一主体部201。

并且，第一导体21及下述的第二导体22相对于筒状体20的固定不限定于压入，例如也可以使用焊接或铆接等来进行。但是，由于如图5所示地设有端部侧切口S1，所以被压入的部分容易扩大。因此，能够缩短被压入的部分的距离，从而能够缩短接触端子2的轴向长度。

并且，如图5所示，第一主体部201具有周向切口201C。周向切口201C与端部侧切口S1的轴向另一方X2侧连接，形成为从端部侧切口S1的周向两端部沿远离端部侧切口S1的周向切入的形状。通过设置周向切口201C，即使被压入的部分扩大，第一主体部201中的比周向切口201C更靠轴向另一方X2侧的部分也难以扩大。因此，在第二导体22如将在下文中说明地与上述部分接触时，接触容易变得稳定。

此外，第一导体21及下述的第二导体22相对于筒状体20的固定也可以使用卡扣来进行。在通过卡扣将第一导体21固定于筒状体20的情况下，如图6所示，第一主体部201具有端部侧切口201S1、周向切口201S2以及中心侧切口201S3。

端部侧切口201S1从筒状体20的轴向一方侧端面20A1向轴向另一方X2侧切入地形成于第一主体部201的轴向一方X1侧的周面。周向切口201S2与端部侧切口201S1的轴向另一方X2侧连接，形成为从端部侧切口201S1的周向两端部201ST沿远离端部侧切口201S1的周向切入的形状。中心侧切口201S3与周向切口201S2的轴向另一方X2侧连接，通过沿轴向切入第一主体部201的周面来形成。

并且，如图6所示，第一插入部212具有卡扣部212B。卡扣部212B具有倾斜部212B1、壁面部212B2、端部侧肋212B3以及中心侧肋212B4。倾斜部212B1具有倾斜面T1A。在与轴向垂直的方向上观察时，倾斜面T1A随着朝向轴向一方X1侧而从中心轴J离开。壁面部212B2配置于倾斜部212B1的轴向一方X1侧。

端部侧肋212B3与壁面部212B2的轴向一方X1侧连接，且与凸边部211B的轴向另一方X2侧连接。中心侧肋212B4与倾斜部212B1的轴向另一方X2侧连接。

在将第一插入部212固定于第一主体部201时，将中心侧肋212B4插入到端部侧切口201S1。然后，若使倾斜部212B1抵接于端部侧切口201S1并向轴向另一方X2侧推入第一插入部212，则端部侧切口201S1扩大。若直接推入第一插入部212，则壁面部212B2被收纳在周向切口201S2内，端部侧切口201S1恢复到原来的形状。因此，壁面部212B2能够与筒状体20接触。在该状态下，端部侧肋212B3位于端部侧切口201S1内部，中心侧肋212B4位于中心侧切口201S3内部。

由此，通过简单的组装工序，能够抑制第一导体21在轴向上从筒状体20脱落，并且能够限制第一导体21相对于筒状体20的周向的旋转。

返回到图2进行说明，第二导体22具有第二突出部221和第二插入部222。第二插入部222与第二突出部221的轴向一方X1侧连接。

第二插入部222具有压入部222A作为轴向另一方侧端部。此处，筒状体20在轴向另一方侧端部20B具有与第二弹簧部203的轴向另一方X2侧连接的固定部205。在固定部205的周面设有从筒状体20的轴向另一方侧端面20B1沿轴向切入而形成的端部侧切口S2。

压入部222A的外径比将第二导体22固定于筒状体20之前的状态下的固定部205的内径大。在将第二导体22组装于筒状体20时，从轴向另一方X2侧向固定部205内部插入第二插入部222。此时，若向固定部205内部插入压入部222A，则端部侧切口S2扩大，压入部222A被压入到固定部205。由于第二突出部221的外径比固定部205的内径大，所以第二突出部221与固定部205接触而限制第二导体22的推入。由此，第二突出部221配置于筒状体20的轴向另一方X2侧。即，第二突出部221从筒状体20向轴向另一方X2侧突出。

这样，第一导体21及第二导体22固定于筒状体20来形成接触端子2。

如图3所示，第二插入部222在筒状体20内部经由固定部205、第二弹簧部203、第二主体部204以及第一弹簧部202沿轴向延伸到第一主体部201。即，第二导体22具有配置于筒状体20内部的第二插入部222。由此，第二插入部222的轴向一方侧端部222B配置于第一主体部201内部。

图4示出通过对接触端子2施加载荷来使第一弹簧部202及第二弹簧部203压缩的状态。在该情况下，第二导体22与图3的状态相比更向轴向一方X1侧移动。由此，第二插入部222的轴向一方侧端部222B一边与第一主体部201接触一边向轴向一方X1侧移动。另一方面，第一插入部212通过压入而固定于第一主体部201。因此，接触端子2中的滑动触点仅为由轴向一方侧端部222B与第一主体部201的接触形成的触点CP。接触端子2中的电流路径成为经由第一插入部212、第一主体部201、触点CP以及第二插入部222的路径。

此处，使用图7～图9对比较例的接触端子2X进行说明。如图7所示，接触端子2X具有筒状体200、第一导体210以及第二导体220。

筒状体200具有第一主体部2001、第一弹簧部2002、第二弹簧部2003、第二主体部2004以及第三主体部2005。第一导体210具有第一突出部2101和第一插入部2102。第二导体220具有第二突出部2201和第二插入部2202。此外，图7及图8示出未对接触端子2X施加载荷而第一弹簧部2002及第二弹簧部2003为自然长度状态的情况。

第一插入部2102的轴向一方侧端部2102A通过压入而固定于第一主体部2001。由此，第一导体210固定于筒状体200。第二插入部2202的轴向另一方侧端部2202A通过压入而固定于第三主体部2005。由此，第二导体220固定于筒状体200。

如图8所示，在第一导体210及第二导体220固定于筒状体20的状态下，第一插入部2102的轴向另一方侧端部2102B以及第二插入部2202的轴向一方侧端部2202B配置于第二主体部2004内部。

图9示出通过对接触端子2X施加载荷而使第一弹簧部2002及第二弹簧部2003压缩的状态。在该情况下，第一导体210与图8的状态相比更向轴向另一方X2侧移动，并且第二导体220与图8的状态相比更向轴向一方X1侧移动。因此，接触端子2X中的滑动触点成为由轴向另一方侧端部2102B与第二主体部2004的接触形成的第一触点CP1、以及由轴向一方侧端部2202B与第二主体部2004的接触形成的第二触点CP2。接触端子2X中的电流路径成为经由第一触点CP1、第二主体部2004以及第二触点CP2的路径。

这样，第一实施方式的接触端子2与比较例的接触端子2X相比，能够削减滑动触点的数量，从而能够降低接触端子内部的接触电阻。并且，也能够实现接触电阻的稳定化。

并且，在比较例的接触端子2X中，如图8所示，用于与检查对象30接触的第一导体210的轴向长度比第二导体220的轴向长度长，双方的长度之差较大。相对于此，如图3所示，第一实施方式的接触端子2通过缩短第一导体21的轴向长度并延长第二导体22的轴向长度，能够缩小双方的长度之差。由此，容易制造第一导体21及第二导体22。

并且，通过在第一主体部201设置端部侧切口S1，能够在比端部侧切口S1更靠轴向另一方X2侧的位置确保供第二导体22滑动的部位。此外，设置图6所示的端部侧狭缝201S1的效果也相同。

并且，如图4所示，第二插入部22的轴向一方侧端部222B与第一主体部201接触。由此，形成经由第一插入部21、第一主体部201以及第二插入部22的电流路径，从而能够进一步降低电流路径的电阻值。

图10是示出由支撑部件3支撑第一实施方式的接触端子2的状态的图。此外，图11示出由支撑部件3支撑比较例的接触端子2X的状态。

如图10所示，支撑部件3具有上侧支撑体31、中间支撑体32以及下侧支撑体33。此处，对第一实施方式的接触端子2由支撑部件3支撑的结构进行说明。

下侧支撑体33具有作为沿轴向贯通的贯通孔的支撑孔33A。支撑孔33A的在沿轴向观察时的截面积比棒状主体部211A的在沿轴向观察时的截面积稍大，而且比凸边部211B的在沿轴向观察时的截面积小。由此，能够将棒状主体部211A插入到支撑孔33A，而且利用凸边部211B来防止接触端子2的脱落。

中间支撑体32配置为比下侧支撑体33更靠上方，具有作为与支撑孔33A同轴的贯通孔的支撑孔32A。支撑孔32A的在沿轴向观察时的截面积比第二主体部204的在沿轴向观察时的外形截面积稍大。由此，能够将第二主体部204插入到支撑孔32A。

上侧支撑体31配置为比中间支撑体32更靠上方，具有作为与支撑孔32A同轴的贯通孔的支撑孔31A。支撑孔31A的在沿轴向观察时的截面积比固定部205及第二突出部221的在沿轴向观察时的外形截面积稍大。由此，能够将固定部205及第二突出部221插入到支撑孔31A。

在由支撑部件3支撑接触端子2时，使棒状主体部211A从上方依次插通到支撑孔31A、支撑孔32A以及支撑孔33A。此外，支撑孔31A、32A在沿轴向观察时具有能够使凸边部211B插通的截面。

并且，不限定于上述结构，支撑部件3也可以是能够分别分解为上侧支撑体31、中间支撑体32以及下侧支撑体33的实施方式。在该情况下，将棒状主体部211A插入到下侧支撑体33。接着，使第二主体部204插入到中间支撑体32并将中间支撑体32固定于下侧支撑体33。然后，使固定部205及第二突出部221插入到上侧支撑体31并且将上侧支撑体31固定于中间支撑体32。

在利用接触端子2和支撑部件3组装了探头1的状态下，棒状主体部211A被插入到支撑孔33A。凸边部211B与下侧支撑体33的上表面抵接。第二主体部204被插入到支撑孔32A。固定部205及第二突出部221被插入到支撑孔31A。由此，接触端子2由支撑部件3支撑。

然后，使第二突出部221的前端部221A与在间距转换单元4的下表面露出的第一电极41接触，并且将上侧支撑体31的上表面按压到间距转换单元4的下表面。由此，将支撑部件3固定于间距转换单元4。此时，第一弹簧部202及第二弹簧部203在轴向上被压缩。由此，利用弹簧部202、203的弹力将前端部221A1按压到第一电极41，从而前端部221A与第一电极41保持为稳定的导通接触状态。

另外，在进行检查对象30的检查的情况下，使棒状主体部211A的前端部211A1与检查对象30的检查点301接触。此时，对前端部211A1施加朝向轴向另一方X2侧的力，第一弹簧部202及第二弹簧部203在轴向上被压缩。由此，利用弹簧部202、203的弹力，将前端部211A1按压到检查点301，从而前端部211A1与检查点301保持为稳定的导通接触状态。

在接触端子2中，弹簧部具有第一弹簧部202和配置为比第一弹簧部202更靠轴向另一方X2侧的第二弹簧部203，筒状体20具有配置在第一弹簧部202与第二弹簧部203之间且不构成为螺旋状的第二主体部204。由此，能够由中间支撑体32对位于筒状体20的中间的第二主体部204进行支撑，从而能够抑制筒状体20的纵向弯曲。

并且，第二弹簧部203具有卷绕方向与第一弹簧部202的卷绕方向相同的第三弹簧部2031、以及与第三弹簧部2031连接且卷绕方向与第一弹簧部202的卷绕方向相反的第四弹簧部2032。若将第一导体21按压到检查对象30，则第一弹簧部202被压缩，第一导体21相对于第二主体部204向预定方向旋转。同样，第二弹簧部203也被压缩，第二导体22相对于第二主体部204旋转。第二弹簧部203所包括的第三弹簧部2031的卷绕方向与第一弹簧部202的卷绕方向相同，从而使第二导体22向与第一导体21相同的方向旋转。另一方面，第二弹簧部203所包括的第四弹簧部2032的卷绕方向与第一弹簧部202的卷绕方向相反，从而使第二导体22向与第一导体21相反的方向旋转。因此，能够抑制由接触端子2的压缩引起的接触端子2的两端的旋转。

如图10所示，在使第一弹簧部202的匝数与第三弹簧部2031的匝数之和等于第四弹簧部2032的匝数的情况下，能够进一步抑制接触端子2的两端的旋转。

此外，作为与图11所示的比较例的接触端子2X的比较，在第一实施方式的接触端子2中，为了确保第二插入部222的轴向一方侧端部222B(参照图4)在第一主体部201内部的移动量，优选使第一主体部201的轴向长度比接触端子2X的第一主体部2001长。因此，第一弹簧部202的匝数与接触端子2X的第一弹簧部2002相比减少，为了确保匝数而使第三弹簧部2031与第四弹簧部2032连接。由此，能够与接触端子2X的情况相比不改变中间支撑体32的位置地由中间支撑体32支撑第二主体部204。即，能够沿用支撑部件3。

＜2.第一实施方式的变形例＞

如图12所示，在第一实施方式的变形例的接触端子2V1中，筒状体20v1具有第一主体部201、第一弹簧部202v1以及第二弹簧部203v1。

第一弹簧部202v1相当于上述的接触端子2(参照图2)中的第一弹簧部202。第二弹簧部203v1相当于接触端子2中的第四弹簧部2032。第二弹簧部203v1与第一弹簧部202v1的轴向另一方X2侧连接。即，接触端子2V1成为在接触端子2中省略了第二主体部204及第三弹簧部2031的结构。

即，在接触端子2V1中，弹簧部具有第一弹簧部202v1和与第一弹簧部202v1的轴向另一方X2侧连接的第二弹簧部203v1，第二弹簧部203v1的卷绕方向与第一弹簧部202v1的卷绕方向相反。由此，能够缩短筒状体20v1的轴向长度，不需要对筒状体20v1的中间进行支撑的部件。

＜3.接触端子的第二实施方式＞

如图13所示，第二实施方式的接触端子2V2具有筒状体20v2。筒状体20v2具有第一主体部206A、第五弹簧部207、第四主体部206C、第六弹簧部208以及第三主体部206B。

第五弹簧部207的轴向另一方侧端207A配置于从筒状体20v2的轴向中央C向轴向一方X1侧离开第一预定距离L1的位置。第六弹簧部208的轴向一方侧端208A配置于从筒状体20v2的轴向中央C向轴向另一方X2侧离开第二预定距离L2的位置。第一预定距离L1与第二预定距离L2相等。即，在接触端子2V2中，弹簧部具有配置于相对于筒状体20v2的轴向中央C对称的位置的第五弹簧部207和第六弹簧部208。

第六弹簧部208配置于第五弹簧部207的轴向另一方X2侧。第六弹簧部208与第五弹簧部207相比，卷绕方向相反且匝数相同。

第一主体部206A与第五弹簧部207的轴向一方X1侧连接。筒状体2V2具有与第六弹簧部208的轴向另一方X2侧连接且不构成为螺旋状的第三主体部206B。第一主体部206A的轴向长度与第三主体部206B的轴向长度相等。

第四主体部206C配置为被夹在第五弹簧部207与第六弹簧部208之间。

如图13所示，通过将第一插入部212的压入部212A固定于第一主体部206A，来将第一导体21固定于筒状体20v2。并且，通过将第二插入部222的压入部222A固定于第三主体部206B，来将第二导体22固定于筒状体20v2。在筒状体20v2内部，第二插入部222经由第三主体部206B、第六弹簧部208、第四主体部206C以及第五弹簧部207延伸到第一主体部206A。由此，形成由第二插入部222与第一主体部206A的接触形成的滑动触点，能够得到与上述的第一实施方式相同的效果。

此处，图14是示出相对于筒状体20v2与图13相比调换第一导体21和第二导体22并固定的状态的接触端子2V2的侧视图。即，图14中，将第二插入部222的压入部222A固定于第一主体部206A，将第一插入部212的压入部212A固定于第三主体部206B。由此，在筒状体20v2内部，第二插入部222经由第一主体部206A、第五弹簧部207、第四主体部206C、第六弹簧部208延伸到第三主体部206B。由此，形成由第二插入部222与第三主体部206B的接触形成的滑动触点。

这样，在本实施方式中，通过筒状体20v2的结构，如图13、图14所示，即使相对于筒状体20v2将第一导体21、第二导体22从轴向的任一侧插入并组装，也能够组装成大致相同的接触端子2V2。由此，能够提高组装的作业性。

＜4.第二实施方式的变形例＞

图15所示的第二实施方式的变形例的接触端子2V3作为与第二实施方式(参照图13)的不同点而具有以下结构。在接触端子2V3的筒状体20v3中，第六弹簧部208与第五弹簧部207的轴向另一方X2侧连接。即，成为省略了第二实施方式的第四主体部206C的结构。

通过这样的接触端子2V3，即使相对于筒状体20v3将第一导体21、第二导体22从轴向的任一侧插入并组装，也能够组装成大致相同的接触端子2V3。

＜5.其它内容＞

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但只要在本发明的主旨的范围内，实施方式就能够进行各种变形。

产业上的可利用性

本发明能够在各种检查对象的电检查中利用。

符号说明

1—探头，2、2V1、2V2、2V3—接触端子，20、20v1、20v2、20v3—筒状体，201、206A—第一主体部，201A—固定部，201B—轴向另一方侧端部，201C—周向切口，201S1—端部侧切口，201S2—周向切口，201S3—中心侧切口，202、202v1—第一弹簧部，203、203v1—第二弹簧部，2031—第三弹簧部，2032—第四弹簧部，204—第二主体部，205—固定部，206B—第三主体部，206C—第四主体部，207—第五弹簧部，208—第六弹簧部，21—第一导体，211—第一突出部，211A—棒状主体部，211B—凸边部，212—第一插入部，212A—压入部，212A1—轴向一方侧端部，212A2—轴向另一方侧端部，212B—卡扣部，212B1—倾斜部，212B2—壁面部，212B3—端部侧肋，212B4—中心侧肋，22—第二导体，221—第二突出部，222—第二插入部，222A—压入部，3—支撑部件，31—上侧支撑体，31A—支撑孔，32—中间支撑体，32A—支撑孔，33—下侧支撑体，33A—支撑孔，4—间距转换单元，41—第一电极，5—连接板，10—检查夹具，15—检查处理部，25—检查装置，30—检查对象，301—检查点，S1、S2—端部侧切口，CP—触点，CP1—第一触点，CP2—第二触点，J—中心轴。