具体实施方式

本公开涉及用于测试与流体存储及输送容器一起使用的调节器的方法，且更特定来说，涉及测试调节器以识别提供可接受尖峰性能的调节器。

如本文中使用，“流体”是指一或多种气体、一或多种液体或其组合。

图1展示根据实施例的流体存储及输送容器。流体存储及输送容器100包含具有孔104的容器体102。调节器组合件106可包含于孔104中以控制出入流体存储及输送容器100的流量。调节器组合件106包含入口108(其可包含过滤器110)、从入口108接收流体的第一调节器112、从第一调节器112接收流体的第二调节器114及从第二调节器114接收流体的分配器116。

流体存储及输送容器100是用于存储流体的容器。流体通常以气体形式输送。流体可由流体存储及输送容器100以低于大气压的压力输送。流体可经存储于压力下的流体存储及输送容器100中，例如在大于大气压的压力下。在实施例中，流体存储及输送容器可为来自英特格公司(Entegris,Inc.)的真空致动汽缸(VAC)封装。流体可为用于例如半导体制造、显示器组件制造、太阳能电池板制造或类似物等工业过程中的流体。作为非限制性实例，加压流体可包含AsH₃、AsF₃、AsF₅、PH₃、NF₃、PF₃、PF₅、BF₃、BCl₃、B₂H₆、Si₂H₆、Si₃H₈、SiH₄、C₃H₁₀Si、Si(CH₃)₄、卤代硅烷(例如(举例来说)SiF₄)、卤代乙硅烷(例如(举例来说)Si₂F₆)、氯硅烷(例如SiCl₄)、GeH₄、GeF₄、H₂Se、H₂Te、SbH₃、CH₄、CF₄、CHF₃、CH₂F₂、CH₃F、CO、CO₂、COF₂、HS、H₂、HF、B₂F₄、HCl、Cl₂、氟化烃、N₂、O₂、F₂、He、Xe、Ar、Kr、有机金属气态试剂、前述内容中的两者或多于两者的混合物、前述内容中的一或多者与H₂或任何其它合适混合组分的混合物及/或前述内容的同位素富集变体。其内所含的流体可经加压到适于被存储的流体的任何压力。在实施例中，流体存储及输送容器100内的存储压力可在从200psig到1550psia的范围内。在实施例中，流体存储及输送容器100可经配置以具有高达2265psia的额定存储压力服务压力。

容器体102可界定用于容纳流体的内部空间。容器体102可由适于容器的任何材料制成。合适材料能够无变形地容纳加压流体。作为非限制性实例，合适材料可包含一或多种金属、不透气聚合物、纤维树脂复合物、其组合或类似物。容器体102可包含形成大体上圆柱形形状的侧壁118及底部120，其中颈部122从侧壁118朝向端124延伸。端124可与容器体102的底部120相对。

孔104是定位于端124处的容器体102的开口。调节器组合件106可穿过孔104。调节器组合件106可依任何合适防漏方式密封到容器体102，使得调节器组合件106控制通过孔104出入容器体102的流量。调节器组合件106包含入口108、第一调节器112、第二调节器114及分配器116。

入口108是允许容器体102内的流体传递到调节器组合件106中的开口。入口108可连接到第一调节器112的入口。任选地，可相对于从容器体102的内部传递到调节器组合件106中且通过调节器组合件106的流体在第一调节器112的上游包含环绕入口108、覆盖入口108或在入口108内的过滤器110。过滤器110经配置以确保气体的纯度及/或防止颗粒物进入调节器组合件106。过滤器110可为适于与流体存储及输送容器100内所含的流体一起使用的任何过滤材料。过滤器110可为例如镍、不锈钢或聚四氟乙烯。

第一调节器112是相对于通过调节器组合件106的流体流定位于入口108与第二调节器114之间的压力调节器。第一调节器112是流体的压力调节器。第一调节器112可将流体的压力从处于或接近容器体102内的流体的压力的入口压力减小到在第一调节器112的出口处提供的相对较低中间压力。第一调节器112可为能够以入口压力接受流体且以相对较低出口压力提供其的任何合适类型的流体压力调节器。在实施例中，第一调节器112可经配置以依对应于流体存储及输送容器100的存储压力的入口压力接受流体，例如在200psig到1550psia之间的范围内。在实施例中，第一调节器112的出口压力可基于根据图3中展示且下文描述的方法的测试来确定。在实施例中，第一调节器的出口压力可为约15到35psig。在实施例中，第一调节器112的出口压力可为约20到30psig。在实施例中，第一调节器的出口压力是约25psig。这些范围内的第一调节器112的出口压力可减少从第二调节器114的出口中观测到的观测尖峰行为。

第二调节器114是流体的第二压力调节器，其经配置以大致以第一调节器112的出口压力从第一调节器112接收流体且以相对较低压力在出口处提供流体。第二调节器可为适于以第一调节器112的出口压力接收流体且进一步减小压力的任何压力调节器。由第二调节器114供应的出口压力可基于其中使用流体存储及输送容器100的应用来选择。在实施例中，由第二调节器114供应的出口压力可为次大气压。在实施例中，由第二调节器114供应的出口压力可在从350托到650托的范围内。

第一调节器112及第二调节器114可分别为在将其组装到调节器组合件106之前或之后通过测试过程(例如图3中展示且下文描述的测试过程)的第一及第二调节器。

可用作第一调节器112及第二调节器114的压力调节器可为例如使用提升阀来控制从压力调节器的入口到出口的流量的调节器。此调节器的实例实施例包含与入口及出口通路连通的主中央外壳。提升阀包含于入口通路中且与入口通路的阀座接合以关闭到流体流的入口通路。提升阀与阀杆耦合，阀杆又连接到压力调节器的内部体积中的压力感测组合件。压力感测组合件包含界定波纹管结构的多个膜片。压力感测组合件响应调节器的出口通路中的压力级，使得出口通路中的低于预定设置点压力的压力将致使多个膜片移动且致使压力感测组合件及与其耦合的提升阀阀杆对应地平移，使得提升阀脱离其阀座以允许流体流过调节器的入口通路及中央腔室到出口通路以使流体从出口通路的排放口流出。当出口通路中的流体压力超过调节器的设置点压力时，压力感测组合件将响应地平移提升阀阀杆及相关联提升阀，使得提升阀接合入口通路的阀座以关闭到通过其的流体流的通路。

分配器116可包含例如阀126及排放口128。阀126控制通过调节器组合件的流量以阻挡或准许从第二调节器114朝向排放口128的流动。排放口128是其中在阀126处于允许至少一些流量通过的打开位置时流体可离开调节器组合件106到流体存储及输送容器100外部的开口。流体存储及输送容器100可进一步包含附接或保持特征，使得排放口128可经附接以将流体提供到例如工业工具，例如用于半导体处理、显示器制造、太阳能电池板制造或类似物的工具。

图2展示根据实施例的用于流体存储及输送容器的调节器组合件200。调节器组合件200包含由过滤器204覆盖的入口202。调节器组合件200进一步包含经配置以从入口202接收流体的第一调节器206、经配置以从第一调节器206的出口接收流体的第二调节器208及经配置以从第二调节器208的出口接收流体的分配器210。

调节器组合件200可经组装为用于随后安装到容器中或与容器一起使用的组件，例如通过放置到容器的孔(例如容器100的孔104)中且经密封使得进入或离开容器的流体必须通过调节器组合件200。

在实施例中，调节器组合件200可经定位于容器中，使得入口202、第一调节器206及第二调节器208中的任一或多者经定位于内部空间内，且第一调节器206、第二调节器208及分配器210中的剩余一或多者经定位于由容器界定的内部空间外部。只要入口202经定位于容器内且分配器210在容器外部，就可使用任何此配置。在实施例中，第一调节器206及第二调节器208中的一或多者可经定位于容器的体内、容器的颈部内及/或控制来自容器的流量的阀的体中。

入口202允许流体进入调节器组合件200，使得流体可通过调节器组合件200。入口200可为连接到延伸到第一调节器206的流体线的孔。过滤器204可围绕入口202定位周围、定位于入口202上方或内或沿着从入口202到第一调节器206的流体线定位。过滤器204可为适于与将流过调节器组合件200的流体一起使用的任何过滤器。

第一调节器206是流体压力调节器，其经配置以从处于或约为入口202处接收的流体的压力的相对较高压力减小流体且以相对较低出口压力提供流体。第一调节器206的出口可经提供到第二调节器208，例如通过提供从第一调节器206的出口到第二调节器208的入口的流体连通的流体线。在实施例中，第一调节器经配置以依基于其中将安装调节器组合件200的容器内的流体的压力选择的压力接受流体。在实施例中，第一调节器206的出口压力可基于根据图3中展示且下文描述的方法的测试来确定。在实施例中，第一调节器206的出口压力可为约15到35psig。在实施例中，第一调节器206的出口压力可为约20到30psig。在实施例中，第一调节器的出口压力是约25psig。这些范围内的第一调节器206的出口压力可减少从第二调节器208的出口中观测到的观测尖峰行为。

第二调节器208是压力调节器，其经配置以依或接近第一调节器206的出口压力接收流体且进一步将压力减小到适于输送流体例如通过分配器210的值。第二调节器208可为能够执行此压力减小的任何合适流体压力调节器。在实施例中，由第二调节器208供应的出口压力可为次大气压。在实施例中，由第二调节器208供应的出口压力可在从350托到650托的范围内。

第一调节器206及第二调节器208可分别为在将其组装到调节器组合件200之前或之后通过测试过程(例如图3中展示且下文描述的测试过程)的第一及第二调节器。

可用作第一调节器206及第二调节器208的压力调节器可各自为例如使用提升阀来控制从压力调节器的入口到出口的流量的调节器。此调节器的实例实施例包含与入口及出口通路连通的主中央外壳。提升阀包含于入口通路中且与入口通路的阀座接合以关闭到流体流的入口通路。提升阀与阀杆耦合，阀杆又连接到压力调节器的内部体积中的压力感测组合件。压力感测组合件包含界定波纹管结构的多个膜片。压力感测组合件响应调节器的出口通路中的压力级，使得低于预定设置点压力的出口通路中的压力将致使多个膜片移动且致使压力感测组合件及与其耦合的提升阀阀杆对应地平移，使得提升阀脱离其阀座以允许流体流过调节器的入口通路及中央腔室到出口通路以使流体从出口通路的排放口流出。当出口通路中的流体压力超过调节器的设置点压力时，压力感测组合件将响应地平移提升阀阀杆及相关联提升阀，使得提升阀接合入口通路的阀座以关闭到通过其的流体流的通路。

分配器210允许可控地排放在入口202处接收且通过调节器组合件200的流体。分配器210可包含控制从第二调节器208的出口到排放口214的流量的阀212。排放口214是允许在入口202处提供的流体离开调节器组合件200的开口。调节器组合件200可进一步包含附接或保持特征，使得排放口214可经附接以将流体提供到例如工业工具，例如用于半导体处理、显示器制造、太阳能电池板制造或类似物的工具。

根据实施例的调节器组合件可包含第一调节器206上游的额外调节器，从而在达到第一调节器206之前进一步减小压力，第一调节器206接着压力减小到适于由第二调节器208吸入的输出压力，第二调节器208又以合适压力供应流体以从容器输送。根据实施例的测试(例如下文描述且图3中展示的实施例)可用于确定一些或所有上游调节器及第一调节器的入口及出口压力，如下文描述。

图3展示用于测试流体存储及输送容器的调节器组合件的方法的流程图。在方法300中，组装302测试调节器组合件，将测试流体引入304到测试调节器组合件中的每一者中，观测306流量，确定308观测流量的尖峰数目，及获得310用于容器中的调节器组合件。

方法300可在准备用于流体存储及输送容器产品中的调节器组合件时用作例如调节器的质量控制测试。方法300可用于测试及比较不同调节器及设置参数以确定用于调节器组合件中的调节器设置。

在302处组装测试调节器组合件。在302处对测试调节器的组装包含使第一调节器与测试流体源流体连通及使第二调节器与第一调节器的出口流体连通。测试调节器组合件的第一调节器及第二调节器可分别为例如上文描述且图1及2中展示的第一调节器112或206及第二调节器114或208。在测试调节器组合件中，第一调节器相对于在304处提供的测试流体流在第二调节器的上游，对应于在入口与调节器组合件(例如上文描述且图1及2中展示的调节器组合件106及200)中的第二调节器之间的第一调节器。在实施例中，第一及第二调节器中的每一者处于测试设置以在302处组装测试调节器组合件。在实施例中，将第一及第二调节器组装成完整调节器组合件(例如上文描述且图1及2中展示的调节器组合件106或200)，且接着使测试调节器组合件与测试流体源流体连通以在302处组装测试调节器组合件。

在304处将测试流体引入到测试调节器组合件中的每一者中。测试流体可以预定压力输送。预定压力可对应于例如选定流体将以其存储于包含调节器组合件的容器中的最大压力。在实施例中，预定压力可高于选定流体将以其存储的最大压力，例如使得测试结果存在安全裕度。预定压力可基于测试出于实验目的而运行以用于调节器特性选择或调节器组合件质量控制评估来选择。在实施例中，预定压力可在从约100psia到1500psia的范围内。在实施例中，调节器组合件的质量控制评估期间的预定压力是约155psia。在304处启动测试流体的流量时提供预定压力。可在将测试流体提供到测试调节器组合件的整个过程中维持预定压力。

应了解，如下文描述且图5中展示，测试结果及尖峰性能受流过调节器组合件的流体的分子量影响。针对将被存储且从包含调节器组合件的容器分配的选定流体，测试流体可经选择以具有在选定流体的分子量的80％到110％之间的分子量。在实施例中，测试流体经选择以具有在选定流体的分子量的85％到95％之间的分子量。针对包含单种化合物的选定流体，分子量可通过任何合适手段确定，例如通过分子量的标准计算。针对是混合物的选定流体，分子量可通过例如以下各者来确定：重量分析已知体积的每一添加物的重量、计算混合物的组分的加权平均值、测试混合物的样本以估计分子量、使用由材料的供应商供应的预定值或获得混合物的分子量值的任何其它此类合适方法。在实施例中，测试流体可包含单种化合物，且所述测试流体的分子量可通过任何合适手段确定，例如通过分子量的标准计算。在实施例中，测试流体是经形成以具有选定分子量的混合物，如通过例如混合物的组分的加权平均值、重量测量(包含测量混合物的每一组分在其添加到测试混合物时的重量)或任何其它此方法确定，其中选定分子量是在关于选定流体的范围内。

选定流体可为使用流体存储及输送容器输送的任何合适关注流体。选定流体的非限制性实例包含AsH₃、AsF₃、AsF₅、PH₃、NF₃、PF₃、PF₅、BF₃、BCl₃、B₂H₆、Si₂H₆、Si₃H₈、SiH₄、C₃H₁₀Si、Si(CH₃)₄、卤代硅烷(例如(举例来说)SiF₄)、卤代乙硅烷(例如(举例来说)Si₂F₆)、氯硅烷(例如SiCl₄)、GeH₄、GeF₄、H₂Se、H₂Te、SbH₃、CH₄、CF₄、CHF₃、CH₂F₂、CH₃F、CO、CO₂、COF₂、HS、H₂、HF、B₂F₄、HCl、Cl₂、氟化烃、N₂、O₂、F₂、He、Xe、Ar、Kr、有机金属气态试剂、前述内容中的两者或多于两者的混合物、前述内容中的一或多者与H₂或任何其它合适混合组分的混合物及/或前述内容的同位素富集变体。

测试流体可为上文描述的能够以压下供应且通过测试调节器组合件的具有分子量的任何合适流体。测试流体可包含单种选定化合物或多种化合物的混合物。在实施例中，测试流体由惰性气体组成。作为非限制性实例，测试流体可包含氢、氦、氩、氪、氙、四氟化碳或其混合物中的一或多者。在实例实施例中，测试流体可为氩-氙混合物。

在306处观测流量。观测流量可为测试调节器组合件的第二调节器的出口处的流量。流量的观测可包含测量分配气体的压力、流量的速度、流量的体积流率或反映流量随时间通过第二调节器的量的任何其它合适测量中的一或多者。流量的观测随时间执行且包含启动测试流体的流量。观测可使用适于进行测量、定位于测试调节器组合件的第二调节器的出口处或下游的任何传感器进行。

在308处确定观测流量的尖峰数目。尖峰可通过例如处理在306处观测流量时获得的数据以确定在测量值中发生的峰值数目来确定。峰值可通过适于数据的任何处理技术识别。多个此类峰值的实例可例如见于图4B及5中且在下文描述。接着，可比较在308处确定的观测流量的尖峰数目与用于使测试调节器组合件的调节器通过或拒绝其的阈值。阈值可为通过调节器组合件的其中将使用调节器组合件或流体存储及输送容器的应用可接受的尖峰性能的任何阈值，且可随所述应用而变化。在实施例中，两个或多于两个尖峰导致测试调节器组合件的调节器被拒绝。在实施例中，少于两个尖峰导致测试调节器组合件的调节器通过以用于流体存储及输送容器的调节器组合件中。在一些实施例中，两个尖峰还可被视作可接受且被通过供使用。在实施例中，具有不同参数(例如第一调节器出口压力)的多个测试调节器组合件可在302处准备且在304、306处供应及观测流量，其中所述测试调节器的通过或未通过用于确定在不同测试调节器组合件之间变化的参数的可接受或优选值。

可在310处任选地获得用于与容器一起使用的调节器组合件。当测试调节器组合件在308处确定尖峰数目低于阈值之后通过时，可使用测试调节器组合件的一些或所有组件获得用于与容器一起使用的调节器组合件。在实施例中，在310处组装调节器组合件可包含采用来自在302处组装的测试调节器组合件的第一及第二调节器及提供连接到第一调节器的入口、将第一调节器的出口连接到第二调节器的流体线及连接到第二调节器的出口的分配器以例如获得针对上文描述且图1及2中展示的调节器组合件106或200展示的布置。

任选地，可在312处将在310处组装的调节器组合件进一步组装到流体存储及输送容器中。调节器组合件310可经安装到容器的孔(例如图1中展示且上文描述的容器体102的孔104)中，其中调节器组合件经密封使得所有流体都必须行进通过调节器组合件以进入或离开所得容器。接着，流体存储及输送容器可用于存储及输送加压流体，例如上文列举的任何流体。

图4A展示根据实施例的调节器组合件对在测试时无尖峰的流量的实例响应。如图4A中可见，压力随时间下降到最小值400托。时间T＝0被指派给此最小值的发生。在达到最小压力值之后，压力平稳地恢复到略高于400托，其中压力随着测试流体继续流动而保持，直到T＝120秒，如由“SCCM”线指示。图4A中展示的实例响应将提供从适于与甚至敏感工业工具(例如用于半导体、装置或太阳能电池板制造的工具)一起使用的流体存储及输送容器内输送的流体的平稳、一致压力。

图4B展示根据实施例的调节器组合件对在测试时包含尖峰的流量的响应。在图4B中展示的结果中，压力下降到低于350托的最小值。出于图表的目的，时间T＝0被设置为其中实现所述最小压力值的时间点。压力几乎立即回升到425托，然后又急降到375托，然后又再次几乎立即回升到约425托，此后，逐渐平稳下降到400托，直到测试流体供应结束，如由图表上的SCCM线展示。压力的两个向上尖峰与第二急降一起表示可在一些调节器组合件中观测到的尖峰行为。在一些调节器组合件中，尖峰可进一步重复，从而在相对较高与相对较低压力之间提供连续振荡。一些工业工具(例如用于半导体、显示器或太阳能电池板制造的一些工具)无法处置经供应流体的压力的此类不一致性。此类不一致性可例如致使产品损失、处理工具的昂贵停机时间或通过制造线的流量中断、或组件、时间及/或材料的其它浪费。因此，由多个急降接着突增展示的尖峰行为可能不适合用于此类敏感应用的流体存储及输送容器中。通常，单个尖峰在流体存储及输送容器的许多应用中是可接受的，而两个或多于两个此类尖峰将需要拒绝调节器组合件。然而，应了解，尖峰的容限可随应用变化，且调节器组合件的接受或拒绝可基于调节器组合件的尖峰行为基于特定应用的特定要求是合适还是不合适的。

图5展示使用相同调节器组合件及不同测试流体时的一系列测试结果。在图5中展示的结果是从其获得的试验中，具有来自第一调节器的相同出口压力的相同调节器组合件用于试验中的每一者，其中仅改变所供应的测试流体。在图5中展示的第一试验中，使用氦气作为测试流体。在第二试验中，使用氮作为测试流体。在第三试验中，使用氩作为测试流体。在第四试验中，使用氩-氙混合物作为测试流体。在第五试验中，使用氙作为测试流体。如相应结果中可见，具有相对较高分子量的测试流体导致比相对较低分子量测试流体少的尖峰及振荡，即使所有试验中调节器组合件及出口压力是相同的。因此，应了解，流量中观测到的尖峰及振荡行为随通过调节器组合件的流体的分子量而变化，其中具有较轻分子量的流体导致比具有较重分子量的流体增加的尖峰及振荡。因此，使用具有表示通过调节器组合件输送的选定流体的分子量的测试流体的测试可确保更准确表示与选定流体一起使用的调节器组合件的性能。而且，具有比选定流体相对更低的分子量的测试流体可向测试提供安全裕度，测试流体比将在与选定流体一起使用时的经历更易受尖峰及振荡影响。

方面：

应理解，方面1到7中的任何者可与方面8到15中的任何者组合。

方面1.一种测试用于流体供应封装的调节器的方法，其包括：

将测试流体引入到多个单独测试调节器组合件中，其中：

所述测试流体具有在由所述流体供应封装供应的选定流体的分子量的80％到110％之间的分子量，且

所述多个测试调节器组合件中的每一者包含第一调节器及第二调节器，所述多个测试调节器组合件中的每一者的所述第一调节器具有设置出口压力；

观测通过所述多个测试调节器组合件中的每一者的所述第二调节器的流量；

确定通过所述多个测试调节器组合件中的每一者的所述第二调节器的所述观测流量的尖峰数目；及

组装用于所述流体供应封装的供应封装调节器组合件，所述供应封装调节器组合件包含在所述观测流量中展现少于两个尖峰的所述多个测试调节器组合件中的一者的所述第一调节器及所述第二调节器。

方面2.根据方面1所述的方法，其中所述观测流量的第一尖峰是所述观测流量的压力尖峰。

方面3.根据方面1到2中任一方面所述的方法，其中所述测试流体是两种或多于两种流体的混合物，且所述两种或多于两种流体中的每一者是气体。

方面4.根据方面1到3中任一方面所述的方法，其中所述测试流体的所述分子量在所述选定流体的所述分子量的85％到95％之间。

方面5.根据方面1到4中任一方面所述的方法，其进一步包括将所述供应封装调节器组合件安装到所述流体供应封装中。

方面6.根据方面1到5中任一方面所述的方法，其中所述选定流体包含CF₄、CO、BF₃、SiF₄、AsH₃、PH₃及GeF₄中的一或多者。

方面7.根据方面6所述的方法，其中所述选定流体是进一步包含H₂的混合物。

方面8.一种用于选定流体的流体供应容器的调节器组合件，其包括：

第一调节器，其具有设置到预定设置点的出口压力；及

第二调节器，其经配置以从所述第一调节器接收流体，

其中所述预定设置点是在所述调节器组合件使用测试流体操作时在通过所述第二调节器的流量中产生少于两个尖峰的出口压力，所述测试流体具有在所述选定流体的分子量的80％到110％之间的分子量。

方面9.根据方面8所述的调节器组合件，其中所述测试流体是两种或多于两种流体的混合物，且所述两种或多于两种流体中的每一者是气体。

方面10.根据方面8到9中任一方面所述的调节器组合件，其中所述测试流体的所述分子量在所述选定流体的所述分子量的85％到95％之间。

方面11.根据方面8到10中任一方面所述的调节器组合件，其中所述选定流体包含CF₄、CO、BF₃、SiF₄、AsH₃、PH₃及GeF₄中的一或多者。

方面12.根据方面11所述的调节器组合件，其中所述选定流体是进一步包含H₂的混合物。

方面13.一种流体供应容器，其包括根据方面8到10中任一方面所述的调节器组合件，其中所述流体供应容器经配置以存储所述选定流体。

方面14.根据方面13所述的流体供应容器，其中所述选定流体包含CF₄、CO、BF₃、SiF₄、AsH₃、PH₃及GeF₄中的一或多者。

方面15.根据方面14所述的流体供应容器，其中所述选定流体是进一步包含H₂的混合物。

尽管已如此描述本公开的若干说明性实施例，但所属领域的技术人员将容易了解，可在随附属权利要求书的范围内进行及使用其它实施例。由本文件涵盖的本公开的众多优点已陈述于前文描述中。然而，应理解，本公开在许多方面都仅是说明性的。可在不超过本公开的范围的情况下对细节作出改变，尤其是关于部件的形状、大小及布置。当然，本公开的范围以表达所附权利要求书的语言定义。