具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-7，一种半导体材料深孔加工装置，包括加工台1，且加工台1呈箱体结构，加工台1的侧面固定连接有机架2，机架2的侧面固定安装有钻孔装置3，加工台1的侧面安装有泵体4，泵体4的进水端通过水管与加工台1的内部相连通，加工台1的侧面装配有可拆卸的收集盒5，便于工作人员对收集盒5内的碎屑进行清理，加工台1的内面固定连接有固定板6，固定板6的顶面固定连接有挡水板，挡水板位于滤网7的一侧，防止水流溅射到两个弹簧106上，避免两个弹簧106出现短路的情况，固定板6的侧面与加工台1的内面相贴合，固定板6上贯穿开设有开口，开口的内面固定连接有滤网7。

加工台1上设有导流机构8，导流机构8包括环形槽81、多个导流孔82、导流罩83与导流管84，环形槽81开设在加工台1顶面的边缘位置，加工台1顶面设有凸起状平台，便于冷却液与碎屑的混合物流入环形槽81内，多个导流孔82均开设在环形槽81的内底面，且多个导流孔82均与加工台1的内部相连通，导流罩83固定连接在加工台1的内顶面，多个导流孔82均位于导流罩83的内部，导流管84固定连通在导流罩83的底面，导流管84远离导流罩83的一端延伸至滤网7的正上方，如此设置便于冷却液与碎屑的混合物落在滤网7上。

加工台1上设有防堵机构9，防堵机构9包括驱动电机91、转杆92、转动板93、电磁铁94与振动支架95，驱动电机91固定安装在导流罩83的底面，转杆92的一端与驱动电机91的输出轴末端轴接，转杆92远离驱动电机91的一端与转动板93的顶面固定连接，电磁铁94固定安装在转动板93的底面，振动支架95通过转动组件转动连接在加工台1的内面，转动组件包括两个横板、转轴与连接块，两个横板均固定连接在加工台1的内面，转轴转动连接在两个横板之间，连接块固定套接在转轴上，且连接块固定连接在振动支架95的侧面，加工台1与收集盒5上共同开设有条形口，振动支架95正对条形口设置，便于振动支架95上的碎屑通过条形口落入收集盒5内。

加工台1的内部设有振动机构10，振动机构10包括固定筒101、转动筒102、多个转动叶103、磁板104、导线框105与两个弹簧106，固定筒101通过细杆固定连接在加工台1的内面，固定筒101与转杆92同轴设置，转杆92穿过固定筒101，且转杆92与固定筒101的贯穿处不接触，转动筒102固定套接在转杆92上，且转动筒102位于固定筒101的内部，多个转动叶103均固定连接在转动筒102的外缘，磁板104固定连接在其中一个转动叶103的侧面，导线框105粘接在固定筒101的内面，伴随多个转动叶103的转动，导线框105上能够周期性的产生感应电流，并周期性的把感应电流传递到两个弹簧106上；

两个弹簧106的一端均与固定板6的顶面固定连接，两个弹簧106的另一端均与振动支架95的底面固定连接，两个弹簧106均与导线框105电性连接，伴随感应电流周期性的流经弹簧106，弹簧106会周期性的发生延伸，从而带动振动支架95产生振动，振动支架95在振动的过程中使得碎屑能够沿着振动支架95向下滑动。

加工台1的内部设有触发机构11，触发机构11包括磁控开关111与条形磁铁112，磁控开关111固定安装在转动板93的顶面，条形磁铁112粘接在加工台1的内面，磁控开关111与电磁铁94电性连接。

一种半导体材料深孔加工装置，其使用方法如下：

碎屑与冷却液进入环形槽81内，并通过多个导流孔82流入导流罩83内，接着通过导流管84落在滤网7上，碎屑被滤网7滤除，而冷却液通过滤网7落入加工台1的内底部；

驱动电机91运转时通过转杆92带动转动板93转动，在触发机构11的控制作用下，电磁铁94不断的把滤网7上堆积的磁性碎屑转移到振动支架95上；

驱动电机91带动转杆92转动的同时通过转动筒102带动多个转动叶103转动，使导线框105上周期性的产生感应电流，并周期性的把感应电流传递到两个弹簧106上；

伴随感应电流周期性的流经弹簧106，弹簧106周期性的发生延伸，并带动振动支架95产生振动，振动支架95在振动的过程中碎屑沿着振动支架95向下滑动，并落入收集盒5内。

本发明使用时，工作人员可启动驱动电机91，深孔加工过程中使用过的冷却液内会掺杂有碎屑，这些碎屑与冷却液均会进入环形槽81内，并通过多个导流孔82流入导流罩83内，接着冷却液与碎屑会通过导流管84落在滤网7上，冷却液内掺杂的碎屑会被滤网7滤除，而冷却液则会通过滤网7落入加工台1的内底部，并在泵体4的作用下进行重复使用。

驱动电机91运转时能够通过转杆92带动转动板93转动，当转动板93转动到滤网7的上方时，转动板93底面的电磁铁94能够把具有磁性的碎屑吸附在电磁铁94的底面，当转动板93转动到振动支架95的上方时，转动板93顶面的磁控开关111与条形磁铁112之间的距离较近，此时磁控开关111能够控制电磁铁94断电失磁，附着在电磁铁94底面的磁性碎屑则会落在振动支架95上，基于上述过程，伴随转动板93的转动，电磁铁94能够不断的把滤网7上堆积的磁性碎屑转移到振动支架95上。

驱动电机91带动转杆92转动的同时，还能够带动转动筒102转动，转动筒102在转动的过程中能够带动多个转动叶103转动，当侧面安装有磁板104的转动叶103转动到导线框105的周边时，在磁板104产生的磁场内穿过导线框105的磁通量会不断发生变化，根据电磁感应原理，导线框105上会产生感应电流，所以伴随多个转动叶103的转动，导线框105上能够周期性的产生感应电流，并周期性的把感应电流传递到两个弹簧106上。

当感应电流流经弹簧106时，弹簧106的每匝都相当于一个线圈，感应电流经过线圈时线圈周围会产生磁场，同时根据右手定则可以判断，由于流经每个线圈的感应电流流向都相同，所以每个线圈的两端的极性也都相同，由于同极相斥，所以弹簧106整体上会发生延伸，基于上述过程，伴随感应电流周期性的流经弹簧106，弹簧106会周期性的发生延伸，从而带动振动支架95产生振动，振动支架95在振动的过程中使得碎屑能够沿着振动支架95向下滑动，并落入收集盒5内，对滤网7上的碎屑起到自动收集的作用，方便工作人员对碎屑进行统一处理。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。