一种用于磷化铟晶体的制备装置
阅读说明：本技术 一种用于磷化铟晶体的制备装置 (Preparation device for indium phosphide crystal ) 是由 潘功寰 于 2021-07-13 设计创作，主要内容包括：本发明涉及一种用于磷化铟晶体的制备装置,包括：平台、以及设置在平台顶部的制备组件；所述制备组件包括上箱体与下箱体,所述上箱体与所述下箱体通过铰接件配合连接,所述上箱体与下箱体内部合围空间设置有制备筒,所述制备筒内部设置有制备腔,所述制备腔内侧沿周向设置有若干个加热管；所述制备筒一端设置有联轴器,所述联轴器贯穿所述制备组件,所述联轴器一端设置有转动机构,所述转动机构能够带动所述制备筒旋转；所述平台一侧设置有操作面板,所述操作面板上设置有显示屏,所述显示屏能够显示制备腔内的画面。(The invention relates to a preparation device for indium phosphide crystals, which comprises the following components: the device comprises a platform and a preparation assembly arranged on the top of the platform; the preparation assembly comprises an upper box body and a lower box body, the upper box body and the lower box body are connected in a matched mode through a hinge piece, a preparation cylinder is arranged in a space enclosed by the inner parts of the upper box body and the lower box body, a preparation cavity is arranged in the preparation cylinder, and a plurality of heating pipes are arranged on the inner side of the preparation cavity along the circumferential direction; a coupler is arranged at one end of the preparation cylinder and penetrates through the preparation assembly, and a rotating mechanism is arranged at one end of the coupler and can drive the preparation cylinder to rotate; an operation panel is arranged on one side of the platform, a display screen is arranged on the operation panel, and the display screen can display pictures in the preparation cavity.)
技术领域
本发明涉及一种制备装置，尤其涉及一种用于磷化铟晶体的制备装置。
背景技术
磷化铟是一种化学物质，是沥青光泽的深灰色晶体，用高压单晶炉制备磷化铟单晶是最主要的方法，并用掺等电子杂质的方法降低晶体的位错密度。而气相外延，多采用In-PCl3-H2系统的歧化法，在该工艺中用铟(99.9999％)和三氯化磷(99.999％)之间的反应来生长磷化铟层。气相外延将石英反应管放在双温区电炉中，已净化的高纯氢气经计量通入，氢气也用来稀释三氯化磷，此时彭泡器保持在0℃，通过反应管内的氢气线速度为14cm/min。外延生长分为诱个阶段进行。在第一阶段，将盛有铟的石英舟放在电炉中源区，通入氢气并加热到700～850℃，再用氢气将三氯化磷引入，在铟源上方被还原成磷蒸气和氯化氢。镉化氢与铟反应生成一氯化铟蒸气在管中迁移。磷溶解在铟中直至饱和为止。在第二阶段，铟源保持在原位置不加热，单晶衬底放在电炉的第二加温区后，在氢气氛下加热到600～750℃。首先用氢气将三氯化磷引入到管内对衬底进行气相腐蚀，清洗衬底表面。再将氢气直接引入反应管，并把源加热到它的过饱和温度(在操作中此温度比衬底晶体的温度高100℃)。然后通过氢气鼓泡将三氯化磷引入，这时磷蒸气与在源区生成的一氯化铟反应，在衬底上淀积生长出磷化铟层。当外延生长完成后，向系统中通入纯氢气，将两个温区冷却到室温，取出产物，制得磷化铟成品，现有的磷化铟晶体制备装置自动化程度较低，且制备获取的磷化铟晶体精度较差。
发明内容
本发明克服了现有技术的不足，提供一种用于磷化铟晶体的制备装置。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种用于磷化铟晶体的制备装置，包括：平台、以及设置在平台顶部的制备组件；
所述制备组件包括上箱体与下箱体，所述上箱体与所述下箱体通过铰接件配合连接，所述上箱体与下箱体内部合围空间设置有制备筒，所述制备筒内部设置有制备腔，所述制备腔内侧沿周向设置有若干个加热管；
所述制备筒一端设置有联轴器，所述联轴器贯穿所述制备组件，所述联轴器一端设置有转动机构，所述转动机构能够带动所述制备筒旋转；
所述平台一侧设置有操作面板，所述操作面板上设置有显示屏，所述显示屏能够显示制备腔内的画面。
本发明一个较佳实施例中，所述平台一侧设置有急停按钮。
本发明一个较佳实施例中，所述平台底部四角均设置有支脚，所述支脚与所述平台之间设置有减震机构。
本发明一个较佳实施例中，所述操作面板上设置有若干个按键，若干个按键阵列分布
本发明一个较佳实施例中，所述上箱体一侧设置有把手。
本发明一个较佳实施例中，所述制备筒为分体式结构，所述制备筒包括上筒与下筒，所述上筒与所述上箱体连接，所述下筒与所述下箱体连接。
本发明一个较佳实施例中，所述上筒与所述下筒之间设置有密封层。
本发明一个较佳实施例中，所述制备筒下侧设置有隔热板。
本发明一个较佳实施例中，所述下箱体底部四角设置有支撑柱，所述支撑柱固定至所述平台顶部。
本发明解决了背景技术中存在的缺陷，本发明具备以下有益效果：
(1)通过将制备装置进行集成至平台上，减少制备装置占用空间，且能够通过平台上的操作面板对制备装置进行控制，此外还可以通过显示屏实时显示制备筒内的制备情况，能够更加直观的观测磷化铟晶体形成过程，方便使用人员进行实时调整制备筒内的制备温度或制备压力，制备出的磷化铟晶体精度较高。
(2)通过转动机构带动制备筒进行匀速或设定速度变化曲线进行变速旋转，能够使制备筒受热均匀，且内部制备的磷化铟晶体受热均匀，此外制备筒为分体式结构，在将上箱体打开时，上箱体带动上筒打开，方便将制备磷化铟晶体的原料放入制备筒内，使用更加灵活方便。
(3)平台底部四角设置有支脚，通过支脚上的减震机构能够防止在制备装置运行过程中，因装置本身结构造成的震动影响制备效果或制备筒转动，防止制备筒转动过程中因震动造成的制备筒离心力不稳的情况发生。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1示出了本发明农药混合喷洒无人机局部立体结构示意图；
图2示出了制备组件局部剖视图；
图3示出了制备筒局部剖视图；
图中：1、上箱体，2、转动机构，3、下箱体，4、支撑柱，5、支脚，6、急停按钮，7、显示屏，8、按键，9、平台，10、铰接件，11、把手，12、操作面板，13、制备筒，14、制备腔，15、加热管，16、隔热板。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明所指示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
图1示出了本发明一种用于磷化铟晶体的制备装置局部立体结构示意图。
如图1-3所示，本发明第一方面提供了一种用于磷化铟晶体的制备装置，包括：平台9、以及设置在平台9顶部的制备组件；
制备组件包括上箱体1与下箱体3，上箱体1与下箱体3通过铰接件10配合连接，上箱体1与下箱体3内部合围空间设置有制备筒13，制备筒13内部设置有制备腔14，制备腔14内侧沿周向设置有若干个加热管15；
制备筒13一端设置有联轴器，联轴器贯穿制备组件，联轴器一端设置有转动机构2，转动机构2能够带动制备筒13旋转；
平台9一侧设置有操作面板12，操作面板12上设置有显示屏7，显示屏7能够显示制备腔14内的画面。
需要说明的是，通过将制备装置进行集成至平台9上，减少制备装置占用空间，且能够通过平台9上的操作面板12对制备装置进行控制，此外还可以通过显示屏7实时显示制备筒13内的制备情况，能够更加直观的观测磷化铟晶体形成过程，方便使用人员进行实时调整制备筒13内的制备温度或制备压力，制备出的磷化铟晶体精度较高，显示屏7与探头进行电性连接，探头设置在制备筒13内部，探头可承受高温高压，探头能够是伸缩式结构，当需要进行画面传输时，探头伸出，进行画面采集，不需要画面传输时，探头回收至制备筒13内部。
根据本发明实施例，平台9一侧设置有急停按钮6。
需要说明的是，平台9上还设置有报警器，当报警器进行报警时，可以选择快速按下急停按钮6，进行强制停止制备装置运行，提高制备装置运行安全性。
根据本发明实施例，平台9底部四角均设置有支脚5，支脚5与平台9之间设置有减震机构。
需要说明的是，平台9底部四角设置有支脚5，通过支脚5上的减震机构能够防止在制备装置运行过程中，因装置本身结构造成的震动影响制备效果或制备筒13转动，防止制备筒13转动过程中因震动造成的制备筒13离心力不稳的情况发生。
根据本发明实施例，操作面板12上设置有若干个按键8，若干个按键8阵列分布
根据本发明实施例，上箱体1一侧设置有把手11。
根据本发明实施例，制备筒13为分体式结构，制备筒13包括上筒与下筒，上筒与上箱体1连接，下筒与下箱体3连接。
根据本发明实施例，上筒与下筒之间设置有密封层。
需要说明的是，通过转动机构2带动制备筒13进行匀速或设定速度变化曲线进行变速旋转，能够使制备筒13受热均匀，且内部制备的磷化铟晶体受热均匀，此外制备筒13为分体式结构，在将上箱体1打开时，上箱体1带动上筒打开，方便将制备磷化铟晶体的原料放入制备筒13内，使用更加灵活方便。
根据本发明实施例，制备筒13下侧设置有隔热板16。
根据本发明实施例，下箱体3底部四角设置有支撑柱4，支撑柱4固定至平台9顶部。
以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。