一种用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置
阅读说明：本技术 一种用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置 (Detection device for preventing vacuum pump rotor from dislocation for vacuum sputtering instrument ) 是由 王洪义 于 2021-07-23 设计创作，主要内容包括：本发明涉及电子元器件制造技术领域,且公开了一种用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置,包括抽气机构,所述抽气机构内部活动连接有检测机构,检测机构包括滑块,抽气机构内部开设有与滑块相适配的槽,用于安装滑块,方便滑块移动,滑块两侧均活动有复位弹簧,用于带动滑块复位,滑块内侧固定连接有转环。该用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置,通过转子带动滑块旋转,滑块旋转的过程中接触壳体,在壳体的作用下带动滑块移动,滑块带动转环旋转,转环带动主动杆旋转,主动杆旋转的过程中带动从动杆旋转,从动杆旋转的过程中带动转块旋转,实现自动检测转子位置的功能,提高设备生产效率和稳定性。(The invention relates to the technical field of electronic component manufacturing, and discloses a detection device for preventing dislocation of a vacuum pump rotor of a vacuum sputtering instrument. This a detection device for vacuum sputtering appearance prevents dislocation of vacuum pump rotor drives the slider rotation through the rotor, and the rotatory in-process contact casing of slider drives the slider and removes under the effect of casing, and the slider drives the change and rotates, and the change drives the initiative pole rotation, and the rotatory in-process of initiative pole drives the driven lever rotation, and the rotatory in-process of driven lever drives the change rotation, realizes the function of automated inspection rotor position, improve equipment production efficiency and stability.)
技术领域
本发明涉及电子元器件制造技术领域，具体为一种用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置。
背景技术
高端装备制造业是指生产制造高技术、高附加值的先进工业设施设备的行业。高端装备主要包括传统产业转型升级和战略性新兴产业发展所需的高技术高附加值装备。高端装备制造业是以高新技术为引领，处于价值链高端和产业链核心环节，决定着整个产业链综合竞争力的战略性新兴产业，是现代产业体系的脊梁，是推动工业转型升级的引擎。
高端装备中最不可或缺的就是电子元器件，电子元器件又称电子组件，是电子电路中的基本元素，通常是个别封装，并具有两个或以上的引线或金属接点。电子元器件中使用最多也是最重要的元器件就是晶体管，晶体管是一种类似于阀门的固体半导体器件，可以用于放大、开关、稳压、信号调制和许多其他功能。
晶体管的制造工艺包括有溅射镀膜，溅射工艺需要使用真空溅射台，真空溅射台在镀膜之前主要是靠真空泵对腔体进行抽真空，真空泵在使用过程中常常会出现很多故障现象，其中最常见的就是泵体过热的故障，而产生这种现象的原因多是因为转子在长时间工作过程中出现磨损，进而导致转子与泵壳发生接触，因为摩擦导致泵体过热，长时间过热导致设备损坏，进而影响生产效率，更严重的情况下会对工作人员造成损伤。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置，具备自动检测转子位置，防止泵体过热，提高生产效率的优点，解决了现有设备转子错位，泵体过热，生产效率低的问题。
(二)技术方案
为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置，包括抽气机构，所述抽气机构内部活动连接有检测机构，检测机构包括滑块，抽气机构内部开设有与滑块相适配的槽，用于安装滑块，方便滑块移动，滑块两侧均活动有复位弹簧，用于带动滑块复位，滑块内侧固定连接有转环。
进一步的，所述抽气机构包括壳体，壳体顶部开设有进气口和排气口，用于抽真空，壳体中部活动连接有从动轴,从动轴外圈固定连接有转子，转子中部活动连接有转杆，转杆中间活动连接有推拉弹簧，转子内部开设有与转杆和推拉弹簧相适配的槽，用于安装转杆，方便转杆移动。
进一步的，所述转环内侧活动连接有传动机构，传动机构包括主动杆，主动杆内端活动连接有从动杆，从动杆外圈活动连接有切换弹簧，用于推动传动机构移动，从动杆远离主动杆的一端活动连接有转块，转子正面且位于主动杆两侧均固定连接有限位块，防止主动杆旋转超程发生碰撞。
进一步的，所述从动轴右端活动连接有离合机构，离合机构包括摆杆，摆杆中部通过固定杆与壳体活动连接，用于安装摆杆，方便摆杆旋转，摆杆正面底部活动连接有压缩弹簧，用于推动摆杆旋转，摆杆顶部活动连接有活动齿，从动轴后端固定连接有圆键，活动齿内部开设有与圆键相适配的槽，用于带动活动齿旋转，壳体后侧活动连接有主动轴，主动轴前端固定连接有固定齿，固定齿正面开设有与活动齿相适配的槽，用于带动活动齿旋转。
进一步的，所述活动齿正面固定连接有连接机构，连接机构包括楔块，两侧的楔块分别与活动齿和转块固定连接，且楔块角度相对，用于带动活动齿移动，活动齿正面且位于楔块两侧均固定连接有内杆，内杆外圈活动连接有外杆，外杆内部开设有与内杆相适配的槽，用于安装内杆，方便内杆移动。
进一步的，所述连接机构内部固定连接有警示机构，警示机构包括警报座，警报座内部活动连接有移动座，移动座与内杆固定连接，用于带动移动座移动，移动座两侧均固定连接有活动触点，警报座内部且位于活动触点前面活动连接有固定触点，活动触点与固定触点接触后触发警报，用于提醒工作人员及时维修。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置，具备以下有益效果：
1、该用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置，通过转子旋转的过程中带动滑块旋转，滑块旋转的过程中接触壳体，在壳体的作用下带动滑块移动，滑块移动的过程中带动转环旋转，转环旋转的过程中带动主动杆旋转，主动杆旋转的过程中带动从动杆旋转，从动杆旋转的过程中带动转块旋转，实现自动检测转子位置的功能，提高设备生产效率和稳定性。
2、该用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置，通过转块旋转的过程中带动楔块旋转，楔块旋转的过程中释放活动齿，活动齿释放后，压缩弹簧带动摆杆旋转，摆杆旋转的过程中带动活动齿向前移动，活动齿向前移动的过程中远离固定齿，活动齿与固定齿分离后断开动力传递，停止从动轴旋转，进而停止转子旋转，防止转子继续旋转导致设备受到更严重损坏，提高设备安全性。
3、该用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置，通过活动齿移动的过程中带动内杆向前移动，内杆移动的过程中带动移动座向前移动，移动座移动的过程中带动活动触点移动，活动触点移动的过程中靠近固定触点，活动触点接触固定触点后触发警报，用于提醒工作人员及时检修，提高设备维修效率和生产效率。
附图说明
图1为本发明正视结构剖视示意图。
图2为本发明左视结构剖视示意图。
图3为本发明图1中图A部分结构放大示意图。
图4为本发明图2中图B部分结构放大示意图。
图中：1、抽气机构；11、壳体；12、从动轴；13、转子；14、转杆；15、推拉弹簧；2、检测机构；21、滑块；22、复位弹簧；23、转环；3、传动机构；31、主动杆；32、从动杆；33、切换弹簧；34、转块；35、限位块；4、离合机构；41、摆杆；42、固定杆；43、压缩弹簧；44、活动齿；45、圆键；46、主动轴；47、固定齿；5、连接机构；51、楔块；52、内杆；53、外杆；6、警示机构；61、警报座；62、移动座；63、活动触点；64、固定触点。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：
请参阅图1，一种用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置，包括抽气机构1，抽气机构1内部活动连接有检测机构2，检测机构2包括滑块21，抽气机构1内部开设有与滑块21相适配的槽，用于安装滑块21，方便滑块21移动，滑块21两侧均活动有复位弹簧22，用于带动滑块21复位，滑块21内侧固定连接有转环23。
转子13错位后运行过程中触发检测机构2和传动机构3，实现自动检测转子13位置的功能，提高设备稳定性和生产效率；传动机构3运行过程中触发离合机构4，实现自动停机功能，防止设备继续运转导致泵体过热。
另外，离合机构4运行过程中通过连接机构5触发警示机构6，实现自动提醒功能，提高设备维修效率和生产效率。
进一步的，转环23内侧活动连接有传动机构3，传动机构3包括主动杆31，主动杆31内端活动连接有从动杆32，从动杆32外圈活动连接有切换弹簧33，用于推动传动机构3移动，从动杆32远离主动杆31的一端活动连接有转块34，转子13正面且位于主动杆31两侧均固定连接有限位块35，防止主动杆31旋转超程发生碰撞。
转子13错位后运行过程中触发检测机构2和传动机构3，实现自动检测转子13位置的功能，提高设备稳定性和生产效率；具体来说，转子13旋转的过程中带动滑块21旋转，滑块21旋转的过程中接触壳体11，在壳体11的作用下带动滑块21移动，滑块21移动的过程中带动转环23旋转，转环23旋转的过程中带动主动杆31旋转，主动杆31旋转的过程中带动从动杆32旋转，从动杆32旋转的过程中带动转块34旋转，实现自动检测转子13位置的功能，提高设备生产效率和稳定性。
实施例二：
请参阅图1-4，一种用于真空溅射仪防止真空泵转子错位的检测装置，包括抽气机构1，抽气机构1包括壳体11，壳体11顶部开设有进气口和排气口，用于抽真空，壳体11中部活动连接有从动轴12,从动轴12外圈固定连接有转子13，转子13中部活动连接有转杆14，转杆14中间活动连接有推拉弹簧15，转子13内部开设有与转杆14和推拉弹簧15相适配的槽，用于安装转杆14，方便转杆14移动，抽气机构1内部活动连接有检测机构2，检测机构2包括滑块21，抽气机构1内部开设有与滑块21相适配的槽，用于安装滑块21，方便滑块21移动，滑块21两侧均活动有复位弹簧22，用于带动滑块21复位，滑块21内侧固定连接有转环23。
转环23内侧活动连接有传动机构3，传动机构3包括主动杆31，主动杆31内端活动连接有从动杆32，从动杆32外圈活动连接有切换弹簧33，用于推动传动机构3移动，从动杆32远离主动杆31的一端活动连接有转块34，转子13正面且位于主动杆31两侧均固定连接有限位块35，防止主动杆31旋转超程发生碰撞，从动轴12右端活动连接有离合机构4，离合机构4包括摆杆41，摆杆41中部通过固定杆42与壳体11活动连接，用于安装摆杆41，方便摆杆41旋转，摆杆41正面底部活动连接有压缩弹簧43，用于推动摆杆41旋转，摆杆41顶部活动连接有活动齿44，从动轴12后端固定连接有圆键45，活动齿44内部开设有与圆键45相适配的槽，用于带动活动齿44旋转，壳体11后侧活动连接有主动轴46，主动轴46前端固定连接有固定齿47，固定齿47正面开设有与活动齿44相适配的槽，用于带动活动齿44旋转。
活动齿44正面固定连接有连接机构5，连接机构5包括楔块51，两侧的楔块51分别与活动齿44和转块34固定连接，且楔块51角度相对，用于带动活动齿44移动，活动齿44正面且位于楔块51两侧均固定连接有内杆52，内杆52外圈活动连接有外杆53，外杆53内部开设有与内杆52相适配的槽，用于安装内杆52，方便内杆52移动，连接机构5内部固定连接有警示机构6，警示机构6包括警报座61，警报座61内部活动连接有移动座62，移动座62与内杆52固定连接，用于带动移动座62移动，移动座62两侧均固定连接有活动触点63，警报座61内部且位于活动触点63前面活动连接有固定触点64，活动触点63与固定触点64接触后触发警报，用于提醒工作人员及时维修。
工作原理：转子13旋转的过程中带动滑块21旋转，滑块21旋转的过程中接触壳体11，在壳体11的作用下带动滑块21移动，滑块21移动的过程中带动转环23旋转，转环23旋转的过程中带动主动杆31旋转，主动杆31旋转的过程中带动从动杆32旋转，从动杆32旋转的过程中带动转块34旋转，实现自动检测转子13位置的功能，提高设备生产效率和稳定性。
转块34旋转的过程中带动楔块51旋转，楔块51旋转的过程中释放活动齿44，活动齿44释放后，压缩弹簧43带动摆杆41旋转，摆杆41旋转的过程中带动活动齿44向前移动，活动齿44向前移动的过程中远离固定齿47，活动齿44与固定齿47分离后断开动力传递，停止从动轴12旋转，进而停止转子13旋转，防止转子13继续旋转导致设备受到更严重损坏，提高设备安全性。
活动齿44移动的过程中带动内杆52向前移动，内杆52移动的过程中带动移动座62向前移动，移动座62移动的过程中带动活动触点63移动，活动触点63移动的过程中靠近固定触点64，活动触点63接触固定触点64后触发警报，用于提醒工作人员及时检修，提高设备维修效率和生产效率。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。