具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，本发明的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。

在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词为基于附图所示的方位或位置关系。特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸。这些相对术语是为了说明方便起见并且通常并不旨在需要具体取向。

涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接的关系，除非以其他方式明确地说明。

根据本发明一实施方式，结合图1，本发明提供了一种氩气自动回收工艺装置，其包括：液氩储罐11；液氮储罐13；以及氩气回收组件12；其分别与所述液氩储罐11及所述液氮储罐13相连通；

其中，所述氩气回收组件12包括：氩气换热器121，其与所述液氩储罐11相连通；

氩冷凝器122，其分别与所述氩气换热器121及所述液氮储罐13相连通；

液氩计量装置123，其与所述氩冷凝器122相连通；以及

液氩泵124，其分别与所述液氩计量装置123、液氩储罐11及所述氩冷凝器122相连通。

进一步，所述氩气自动回收工艺装置还包括控制装置14。

进一步，所述液氩储罐11设有第一压力变送器111，所述第一压力变送器111用于监测所述液氩储罐11内部的压力值；

所述液氩储罐11与所述氩气换热器121之间设有第一自动阀112。

所述第一压力变送器111及所述第一自动阀112分别与所述控制装置14电连接或无线连接。

在本发明一实施例中，所述第一压力变送器111监测到所述液氩储罐11内部的压力达到10Kpa时，将信号传递到所述控制装置14，所述控制装置14控制所述第一自动阀112打开，所述液氩储罐11内部的氩气被排出。

进一步，所述氩冷凝器122的内部分别设有氮换热通道1221及氩换热通道1222。

所述氩冷凝器122的表面分别设有液氮进口1226、第一氮气出口1227、第一氩气进口1228及第一液氩出口1229；

所述氩气换热器121的表面分别设有氮气进口1211、第二氮气出口1212、第二氩气进口1213及氩气出口1214；

其中，所述液氮进口1226、所述第一氮气出口1227分别与所述氮换热通道1221相连通，第一氩气进口1228及第一液氩出口1229分别与所述氩换热通道1222相连通，所述液氮进口1226与所述液氮储罐13相连通，所述第一氮气出口1227与所述氮气进口1211相连通，所述第一氩气进口1228与所述氩气出口1214相连通，所述第一液氩出口1228与所述液氩计量装置123相连通，所述第二氩气进口1213与所述液氩储罐11相连通。

进一步，所述氩冷凝器122的表面设有第一液位计1223，以检测所述氩冷凝器122内部液氮的液位；

所述液氮进口1226的位置设有第二自动阀131，以控制液氮进入所述氩冷凝器122的进入量；

所述第一氮气出口1227的位置设有第二压力变送器1224，以监测所述氩冷凝器122内部的压力；

所述第一氮气出口1227的位置还设有第三自动阀1225，以控制氮气的排放量及压力。

所述控制装置14分别与第一液位计1223、第二自动阀131、第二压力变送器1224、第三自动阀1225、第三压力变送器1231电连接或无线连接。

在本发明一实施例中，所述第一液位计1233监测到所述氮换热通道1221内液氮的液位超过设定值时，将信号传递给所述控制装置14，所述控制装置14调节所述第二自动阀131，以控制液氮的进入量，从而调节所述氮换热通道1221内液氮的液位；所述第二压力变送器1224监测到所述氮换热通道1221内部的压力达到设定值时，将信号传递到所述控制装置14，所述控制装置14控制所述第三自动阀1225打开，所述氮换热通道1221内部的氮气被排出，防止温度降低后导致液氩凝固。

在本发明优选的实施方式中，所述氮换热通道1221内液氮的液位控制在40~60%之间。

可以理解的是，所述液氮储罐13中的液氮通过所述液氮进口1226进入所述氮换热通道1221内，为所述氩冷凝器122提供冷量，同时所述氮换热通道1227通过第三自动阀1225将节流的氮气通过所述氮气进口1211进入所述氩气换热器121内，所述液氩储罐11排出的氩气通过所述第二氩气进口1213进入所述氩气换热器121内，所述液氩储罐11排出的氩气被节流后的氮气冷却到饱和状态后通过所述氩气出口1214及所述第一氩气进口1228排出所述氩气换热器，进入所述氩换热通道1222内，氮气通过所述第二氮气出口1212排入空气中；

饱和状态的氩气进入所述氩换热通道1222内后，吸收所述氮换热通道1221内液氮的冷量，冷凝至液氩，通过所述第一液氩出口1228排入所述液氩计量装置123内。

进一步，所述液氩计量装置123的表面设有第一液氩进口1233、第二液氩进口1234及第二液氩出口1235；

所述液氩泵124设有第三液氩进口1244、液氩泵气相出口1245及第三液氩出口1246；

其中，所述第一液氩进口1233与所述第一液氩出口1229相连通，所述第二液氩出口1235与所述第三液氩进口1244相连通，所述液氩泵气相出口1245与所述第一氩气进口1228相连通，所述第三液氩出口1246分别与所述第二液氩进口1234及所述液氩储罐11相连通。

可以理解的是，所述氩冷凝器122排出的液氩经所述第一液氩进口1233进入所述液氩计量装置123内，在经所述第二液氩出口1235及第三液氩进口1244进入所述液氩泵124，其中，液氩气化的氩气经所述液氩泵气相出口1245及所述第一氩气进口1228再次进入所述氩冷凝器122冷凝，液氩根据所述液氩计量装置123中液氩的液位数值从而选择排入所述液氩计量装置12内或所述液氩储罐内。

进一步，所述液氩计量装置123的表面设有第三压力变送器1231，所述第三压力变送器1231监测所述液氩计量装置123内部的压力值；

所述液氩计量装置123的表面还设有第二液位计1232，所述第二液位计1232监测所述液氩计量装置123内部液氩的液位。

所述液氩泵124的出口处设有温度测量装置1241，所述温度测量装置1241可检测所述液氩泵124出口处液氩的温度。

所述液氩泵124与所述液氩计量装置123之间设有第四自动阀1243；

所述液氩泵124与所述液氩储罐11之间设有第五自动阀1242。

所述控制装置14分别与第三压力变送器1231、第二液位计1232、温度测量装置1241、第四自动阀1243、第五自动阀1242电连接或无线连接。

在本发明一实施例中，当所述第二液位计1232检测所述液氩计量装置123中液氩的液位升至80%时，所述第二液位计1232将信号传递到所述控制装置14，所述控制装置14控制第四自动阀1243关闭，所述第五自动阀1242开启，同时所述液氩泵124自动开大至设定频率，液氩被排入所述液氩储罐11内，当所述第二液位计1232检测所述液氩计量装置123中液氩的液位低至30%时，所述第二液位计1232将信号传递到所述控制装置14，所述控制装置14控制第四自动阀1243开启，所述第五自动阀1242关闭，同时所述液氩泵124低速状态运行，液氩被排入所述液氩计量装置123内，防止所述液氩泵124及进出口管路复热升温后无法快速开启。

所述温度测量装置1241检测到温度高于设定值时，将信号传递到所述控制装置14，所述控制装置14控制第四自动阀1243开启至最大，所述第五自动阀1242关闭，同时所述液氩泵124自动开大至设定频率，液氩被排入所述液氩计量装置123内，所述温度测量装置1241检测到温度降低至设定值时，将信号传递到所述控制装置14，所述控制装置14控制第四自动阀1243恢复至常态，所述第五自动阀1242开启，液氩被排入所述液氩储罐11内。

在本发明一优选的实施方式中，所述氩气回收组件12不需要放置的高处，可以放置在和所述液氩储罐11同一水平高度处，减少设备投资。

所述氩气回收组件12安装在一冷箱内，所述冷箱内部用珠光砂保温，减少设备冷损。

本发明所述的氩气自动回收工艺装置的工作流程为：所述第一压力变送器111监测到所述液氩储罐11内部的压力达到10Kpa时，将信号传递到所述控制装置14，所述控制装置14控制所述第一自动阀112打开，所述液氩储罐11内部的氩气被排出，进入所述氩气换热器121内降至降至饱和温度后进入所述氩冷凝器122内的所述氩换热通道1222，所述液氮储罐13中的液氮进入所述氮换热通道1221内，为所述氩冷凝器122提供冷量，氩气被液化为液氩；同时，所述氩冷凝器122的表面设有第一液位计1223，所述液氮进口1226的位置设有第二自动阀131，由控制装置14控制，所述氮换热通道1221内的液氮保持液氮液位控制在40~60%之间，液氮受热气化后变成氮气经第三自动阀1225节流后进一步降低温度进入氩气换热器，复热后排放大气；

所述氩冷凝器122内的液氩自动进入所述液氩计量装置123内，所述液氩计量装置123的表面设有第三压力变送器1231及第二液位计1232，所述第二液位计1232检测所述液氩计量装置123中液氩的液位升至80%时，所述第二液位计1232将信号传递到所述控制装置14，所述控制装置14控制第四自动阀1243关闭，所述第五自动阀1242开启，同时所述液氩泵124自动开大至设定频率，液氩被排入所述液氩储罐11内，所述第二液位计1232检测所述液氩计量装置123中液氩的液位低至30%时，所述第二液位计1232将信号传递到所述控制装置14，所述控制装置14控制第四自动阀1243开启，所述第五自动阀1242关闭，同时所述液氩泵124低速状态运行，液氩被排入所述液氩计量装置123内，防止所述液氩泵124及进出口管路复热升温后无法快速开启。

综上所述，本发明提供了一种氩气自动回收工艺装置，其结构简单，便于零部件的组装，能够实现自动、安全、高效的氩气回收，避免氩放空浪费，节省人工成本。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本发明的说明的。对本发明的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本发明的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。