具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例一

参照图1，一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，包括：

团簇离子加速装置1包括第一加速电极和第二加速电极，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号A，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2-5keV。

第一飞行通道2与团簇离子加速装置1的输出端连通，加速后的团簇离子在第一飞行通道2内自由飞行。

第一反射装置3位于第一飞行通道2内用于反射团簇离子，第一反射装置3与第一飞行通道2的轴线夹角为10-90°，参照图1，在本实施例中夹角为20°。

第二飞行通道4与第一飞行通道2连通，且第二飞行通道4位于第一反射装置3的反射线处轴向设置，第一反射装置3反射后的团簇离子在第二飞行通道4内自由飞行。

第一接收器5用于探测团簇离子并给出到达信号B1，时间数字转换器6,用于记录起始信号An与到达信号Bn之间的时间差,n>0，计算出团簇的质量，可以长期安装于晶元衬底座与团簇源端口之间。

实施例二

参照图2，在实施例一的基础上，第一飞行通道2内沿团簇离子运动路径设置有电极调制器11，电极调制器11用于调制团簇离子，调制出选择性离子和非选择离子，第一飞行通道2内偏离团簇离子运动路径平行设置有偏转电极12，偏转电极12由第一电极片和第二电极片两部分构成并产生匀强电场，偏转电极12将选择性离子从团簇离子中偏移飞行，非选择性离子继续沿着原轨迹运行。

第一飞行通道2内设置有第二反射装置10，第二反射装置10位于偏转电极12偏移的选择性离子运动路径处，第二反射装置10与第一飞行通道2的轴线夹角为10-90°，在本实施例中，参照图2，夹角为60°

第一飞行通道2内设置有第三飞行通道13，第三飞行通道13的轴线处设置有第二接收器7，第二接收器7探测选择性离子并给出到达信号B2，第三飞行通道13的轴线与第二反射装置10的反射线重合，让选择性离子可以被第二接收器7接收。

在本实施例中，非选择性离子继续被第一接收器5接收记作B1，而部分选择性离子偏离原轨道经由第二反射装置10反射后被第二接收器7接收记作B2，通过B1和B2样本更多，能更好的反应团簇离子的质量。

实施例三

参照图3，在实施例二的基础上，第三飞行通道13内设置有伸缩通道8，伸缩通道8连接有驱动其伸缩运动的调节机构9，在本实施例中，伸缩通道8采用金属波纹管。

参照图4，调节机构9由连接环91、螺杆92、光杆93、挡块94、螺母95、蜗轮96、支架97、电机98和蜗杆99构成，伸缩通道8的两端外侧均固定连接有连接环91，其中一个连接环91与光杆93和螺杆92固定连接，其中另一个连接环91与光杆93滑动连接并固定连接有支架97，光杆93的端口处焊接有防止连接环91脱出的挡块94，支架97上设置有与螺杆92螺纹连接的螺母95，螺母95上过盈配合有蜗轮96，蜗轮96啮合有蜗杆99，蜗杆99与电机98的输出端连接，电机98设置在支架97上。

通过电机98可以驱动蜗杆99转动，蜗杆99可以驱动蜗轮96转动，蜗轮96带动螺母95转动，使得其在螺杆92上轴向运动，螺母95轴向运动时带动与之连接的连接环97沿着伸缩管8的径向伸展或收缩，从而可以延长或缩短第三飞行通道13的长度，通过延长或缩短第三飞行通道13，可以利于检测不同长度下第二接收器7的接收信号的样本，使得团簇离子质量的测量更加准确。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，这里无法对所有的实施方式予以穷举，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“罩盖”、“嵌装”、“连接”、“固定”、“分布”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。