半导体装置及半导体装置的制造方法

文档序号:1967021 发布日期:2021-12-14 浏览:7次 >En<

阅读说明:本技术 半导体装置及半导体装置的制造方法 (Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device ) 是由 山崎舜平 村川努 安藤善范 掛端哲弥 佐藤优一 方堂凉太 于 2020-04-28 设计创作,主要内容包括:提供一种晶体管特性的不均匀少的半导体装置。本发明的一个方式是一种半导体装置,包括:第一绝缘体;第一绝缘体上的第一氧化物;第一氧化物上的第一导电体及第二导电体;与第一氧化物的侧面接触的第一层及第二层;第一绝缘体、第一层、第二层、第一导电体及第二导电体上的第二绝缘体;第二绝缘体上的第三绝缘体;配置在第一导电体与第二导电体之间且第一氧化物上的第二氧化物;第二氧化物上的第四绝缘体;以及第四绝缘体上的第三导电体,其中,第一层及第二层各自包含第一导电体及第二导电体所含有的金属,并且,与第二绝缘体接触的区域中的第一绝缘体具有金属的浓度比第一层或第二层低的区域。(A semiconductor device with less variation in transistor characteristics is provided. One embodiment of the present invention is a semiconductor device including: a first insulator; a first oxide over the first insulator; a first conductor and a second conductor over the first oxide; a first layer and a second layer in contact with side surfaces of the first oxide; a first insulator, a first layer, a second layer, a first conductor, and a second insulator on the second conductor; a third insulator on the second insulator; a second oxide disposed between the first conductor and the second conductor and over the first oxide; a fourth insulator on the second oxide; and a third conductor on the fourth insulator, wherein the first layer and the second layer each contain a metal contained in the first conductor and the second conductor, and the first insulator in a region in contact with the second insulator has a region in which the concentration of the metal is lower than that in the first layer or the second layer.)

半导体装置及半导体装置的制造方法

技术领域

本发明的一个方式涉及一种晶体管、半导体装置及电子设备。另外,本发明的一个方式涉及一种半导体装置的制造方法。另外,本发明的一个方式涉及一种半导体芯片及模块。

注意,在本说明书等中,半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的所有装置。除了晶体管等的半导体元件之外,半导体电路、运算装置或存储装置也是半导体装置的一个方式。显示装置(液晶显示装置、发光显示装置等)、投影装置、照明装置、电光装置、蓄电装置、存储装置、半导体电路、摄像装置、电子设备等有时包括半导体装置。

注意,本发明的一个方式不局限于上述技术领域。本说明书等所公开的发明的一个方式涉及一种物体、方法或制造方法。另外,本发明的一个方式涉及一种工序(process)、机器(machine)、产品(manufacture)或者组合物(composition of matter)。

背景技术

此外,通过使用形成在具有绝缘表面的衬底上的半导体薄膜构成晶体管的技术受到注目。该晶体管被广泛地应用于集成电路(IC)、图像显示装置(也简单地记载为显示装置)等电子设备。作为可以应用于晶体管的半导体薄膜,硅类半导体材料被广泛地周知。另外,作为其他材料,氧化物半导体受到关注。

在氧化物半导体中,发现了既不是单晶也不是非晶的CAAC(c-axis alignedcrystalline:c轴取向结晶)结构及nc(nanocrystalline:纳米晶)结构(参照非专利文献1及非专利文献2)。

非专利文献1及非专利文献2中公开了一种使用具有CAAC结构的氧化物半导体制造晶体管的技术。

[先行技术文献]

[非专利文献]

[非专利文献1]S.Yamazaki et al.,“SID Symposium Digest of TechnicalPapers”,2012,volume 43,issue 1,p.183-186

[非专利文献2]S.Yamazaki et al.,“Japanese Journal of Applied Physics”,2014,volume 53,Number 4S,p.04ED18-1-04ED18-10

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