具体实施方式

在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指结合附图和实际应用中所示的方位理解，“内、外”是指部件的轮廓的内、外。

本发明提供了研磨工作台用的清洁装置，研磨工作台用的清洁装置10包括直线驱动机构12以及装配于直线驱动机构12的清洁体14，从图1所示的方位看，直线驱动机构12可设置于研磨工作台20的上方，清洁体14装配于直线驱动机构12，清洁体14位于研磨工作台20的上方，清洁体14具有能够清扫研磨工作台20的清洁部，直线驱动机构12设置为能够带动清洁体14朝向研磨工作台20移动以使得清洁部与研磨工作台20相接触，当清洁部与研磨工作台20相接触时，清洁部可对研磨工作台20清扫，以清除落于研磨工作台20的研磨粉尘，可以理解的是，当不需要对研磨工作台20进行清扫时，直线驱动机构12可带动清洁体14朝向远离研磨工作台20的方向移动以使得清洁部与研磨工作台20相分离。通过设置直线驱动机构12以及在直线驱动机构12上装配清洁体14，从而使得清洁体14在直线驱动机构12的带动下能够朝向研磨工作台20移动，这样，清洁体14的清洁部与研磨工作台20相接触以能够清扫落于研磨工作台20的研磨粉尘如玻璃粉尘，由此提高了研磨工作台20的清洁度，保证了研磨作业的顺利进行，同时减少了研磨粉尘对待研磨件如玻璃基板的影响，提升了研磨品质。另外，由于直线驱动机构12带动清洁体14移动便能够实现对研磨工作台20的清扫，由此无需人工进行清扫，降低了操作人员的劳动强度，与此同时，提高了清洁效率以及清洁的便捷性。需要说明的是，研磨工作台用的清洁装置10尤其适用于清扫研磨玻璃基板用的研磨工作台。

研磨工作台20具有传送状态，可以理解的是，研磨工作台20能够承载以及输送待研磨件，在承载待研磨件时，研磨机可对待研磨件的待研磨部位进行研磨，当研磨作业结束后，研磨工作台20可对待研磨件进行输送。由于研磨工作台20具有传送状态，因此，在研磨工作台20空载的过程中，清洁体14的清洁部与研磨工作台20接触后便能够对研磨工作台20进行清扫。为了更稳固的承载研磨工作台20，可在研磨工作台20上设置与真空源如真空泵相连通的吸附口，当将待研磨件放置于研磨工作台20时，通过对吸附口抽真空，可使得待研磨件稳固的承载于研磨工作台20。

为了对研磨工作台20进行更好的清扫，清洁体14可包括装配于直线驱动机构12的清洁体主体140以及设置于清洁体主体140的毛刷部，毛刷部可形成为清洁部。毛刷部与研磨工作台20相接触后，不仅能够更好的清扫研磨工作台20，而且不会划伤研磨工作台20。

其中，直线驱动机构12可包括气缸或者油缸，以气缸为例，清洁体14可装配于气缸的活塞杆，气缸的活塞杆可带动清洁体14做直线运动以使得清洁部如毛刷部与研磨工作台20相接触或是相分离。

需要说明的是，直线驱动机构12具有直线驱动轴，为了便于装配清洁体14，可在直线驱动机构12的直线驱动轴上设置安装板142，清洁体14可装配于直线驱动轴。当选用气缸或者油缸作为直线驱动机构12时，安装板142可设置于活塞杆。

毛刷部呈条状，且毛刷部可沿垂直于研磨工作台20的传送方向的横向方向延伸，可以理解的是，呈条状的毛刷部可沿垂直于研磨工作台20的传送方向的水平方向延伸，这样，呈条状的毛刷部可在研磨工作台20空载传送的过程中对研磨工作台20进行横向清扫，由此更好的清扫沉积于研磨工作台20的研磨粉尘如研磨玻璃时产生的玻璃粉尘，并且提高了清扫面积以及提高了清洁效率。

清洁体主体140可设置有沿毛刷部的厚度方向延伸的通孔，从图1所示的方位看，通孔可沿垂直于研磨工作台20的传送方向的纵向方向延伸，通孔可供用于冲刷毛刷部的清洁液如水通过，清洁液通过通孔时，可对毛刷部进行自清洁。另外，通孔还可供压缩气体如压缩空气通过，由此可对毛刷部进行吹扫，这样可使得毛刷部被及时吹干。

为了便于向通孔输送介质如清洁液或是压缩气体，可设置连通于通孔的第一输送管18a，第一输送管18a能够输送清洗液，可在第一输送管18a上设置第一控制阀19a，在第一控制阀19a的控制作用下，可控制第一输送管18a中所输送的介质的流量大小以及流通与否。

如图1中所示，可设置压缩气体总管线17a，压缩气体总管线17a能够输送压缩气体如压缩空气，第一输送管18a可与压缩气体总管线17a相连通；另外，可设置清洁液总管线17b，清洁液总管线17b能够输送清洁液如水，第一输送管18a可与清洁液总管线17b相连通。

如图1中所示，研磨工作台用的清洁装置10可包括与研磨工作台20对置设置的冲刷喷嘴16，冲刷喷嘴16可朝向研磨工作台20喷射用于冲刷研磨工作台20的清洗液如水。通过设置冲刷喷嘴16，可冲刷去除研磨工作台20的研磨粉尘，由此可进一步提高研磨工作台20的清洁度。优选地，冲刷喷嘴16可设置于研磨工作台20的上方。

另外，冲刷喷嘴16可设置为能够朝向研磨工作台20的传送方向或者与研磨工作台20的传送方向相反的方向即背离研磨工作台20的传送方向喷射流体即清洁液，这样，清洁液可对研磨工作台20进行更好的冲刷。

此外，冲刷喷嘴16可设置为使得所喷射出的流体的方向与研磨工作台20之间的夹角为15°-45°，这样，冲刷喷嘴16相对于研磨工作台20可倾斜喷射出的流体，也就是说，清洁液相对于研磨工作台20可被倾斜喷出，由此，可更好地冲刷研磨工作台20。优选地，冲刷喷嘴16可设置为使得所喷射出的流体的方向与研磨工作台20之间的夹角为30°。

为了更好的冲刷研磨工作台20，可设置一对冲刷喷嘴16，一对冲刷喷嘴16可分别设置于清洁体14的沿研磨工作台20的传送方向的两侧。需要说明的是，在沿研磨工作台20的传送方向上，一对冲刷喷嘴16中的一个冲刷喷嘴16可设置于清洁体14的上游，另一个冲刷喷嘴16可设置于清洁体14的下游。另外，其中一个冲刷喷嘴16可朝向研磨工作台20的传送方向喷射清洁液，另一个冲刷喷嘴16可朝向背离研磨工作台20的传送方向喷射清洁液。

如图1中所示，研磨工作台用的清洁装置10可包括分别连通于相应的冲刷喷嘴16的一对第二输送管18b以及分别设置于相应的第二输送管18b的一对第二控制阀19b，第二输送管18b能够输送清洁液，第二控制阀19b能够控制相应的第二输送管18b中的介质的流量大小以及流通与否。

另外，研磨工作台用的清洁装置10可包括分别连通于相应的冲刷喷嘴16的一对第三输送管18c以及分别设置于相应的第三输送管18c的一对第三控制阀19c，第三输送管18c能够输送压缩气体如压缩空气，第三控制阀19c能够控制相应的第三输送管18c中的介质的流量大小以及流通与否。

此外，可设置分别与直线驱动机构12、第一控制阀19a、第二控制阀19b以及第三控制阀19c相连的控制器，其中：控制器可设置为能够驱动直线驱动机构12带动清洁体14移动以及分别控制第一控制阀19a、第二控制阀19b和第三控制阀19c的开闭和开度，可以理解的是，在控制器的控制作用下，直线驱动机构12能够带动清洁体14朝向研磨工作台20移动或是带动清洁体14朝向远离研磨工作台20的方向移动，另外，控制器还能够控制各个控制阀的开闭和开度，以控制第一控制阀19a为例，控制器能够调节第一控制阀19a的开闭以及开度。通过设置控制器，实现了对上述各个部件的自动控制。其中，第一控制阀19a、第二控制阀19b以及第三控制阀19c均可为电磁阀。

为了便于向一对第二输送管18b输送清洁液，可设置导液管，导液管的一端可连通于清洁液总管线17b，导液管的另一端可分别连通于一对第二输送管18b；此外，可在导液管上设置第一调节阀19d，第一调节阀19d能够控制导液管中的介质的流量大小以及流通与否。

此外，为了便于向一对第三输送管18c输送压缩气体如压缩空气，可设置导气管，导气管的一端可连通于压缩气体总管线17a，导液管的另一端可分别连通于一对第三输送管18c；此外，可在导气管上设置第二调节阀19e，第二调节阀19e能够控制导气管中的介质的流量大小以及流通与否。

本发明还提供了研磨系统，如图1中所示，研磨系统22包括能够支撑待研磨件如玻璃基板的研磨工作台20和本发明所提供的研磨工作台用的清洁装置10，研磨工作台用的清洁装置10能够清扫研磨工作台20。需要说明的是，研磨工作台20支撑待研磨件后，研磨机可对待研磨件的待研磨部位进行研磨，之后，可利用本发明所提供的研磨工作台用的清洁装置10清扫研磨工作台20的研磨粉尘。其中，研磨工作台20具有传送状态，在研磨工作台20空载传送的过程中，研磨工作台用的清洁装置10中的清洁体14的清洁部可对研磨工作台20进行清扫，具体清扫过程在前述内容中已被详细描述，此处不再赘述。通过在研磨系统22中设置本发明所提供的研磨工作台用的清洁装置10，可清除研磨系统22的研磨工作台20的研磨粉尘，从而不仅保证了研磨系统22的正常运行，而且保证了待研磨件的清洁度，由此保证了研磨品质。

以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于此。在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，包括各个具体技术特征以任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本发明所公开的内容，均属于本发明的保护范围。