具体实施方式

以下参照附图详细说明本发明。

此处，在指代方向时，将图1所示的X轴称作前后方向、Y轴称作左右方向、Z轴称作垂直方向。并且，水平方向包括由XY平面构成的所述左右方向和前后方向。并且，在区分前后方向时，将布置有容器10的这一侧称作前方，布置有下部模块3的这一侧称作后方。并且，在以盖体分离部320和连接器紧固部330为基准区分左右方向时，将布置有盖体分离部320的这一侧定义为右侧，将布置有连接器紧固部330的这一侧定义为左侧。

参照图1至图3，本发明的气体供应装置1可以包括：上部模块2，包括设置为固定在从配备于容器10的上端的阀部朝上侧相隔的位置的上部板211；下部模块3，配备在所述上部模块2的下部，配备有盖体分离部320和连接器紧固部330，所述盖体分离部320分离覆盖阀连接器30的盖体31，所述阀连接器30配备于所述阀部，所述连接器紧固部330用于将连接到气体需求处的连接配管连接器331连接到所述阀连接器30；阀开闭模块4，用于开闭所述阀部的阀。

所述容器10作为用于储存供应至半导体装置等气体需求处的工艺气体并将其供应的构成，在容器10的上部配备有所述阀部。

所述阀部构成为包括：阀(未示出)，用于控制气体的供应；阀连接器30，配备在所述阀的一侧而紧固到所述下部模块3的连接器紧固部330；盖体31，覆盖所述阀连接器30；阀闸(valve shutter，未示出)开闭所述阀；手柄50，连接于所述阀闸的上部，随着旋转而使阀闸升降，从而对阀进行开闭。

在所述阀部结合有固定块510、520、530。在所述固定块510、520、530配备有第一对准部512。

所述固定块510、520、530可以利用围绕所述阀部的第一固定块510、第二固定块520以及第三固定块530构成。

如果通过所述第二固定块520和第三固定块530的结合围绕所述阀部，则所述阀部中所述阀连接器30和盖体31相对于所述固定块520、530向侧方向突出而暴露，所述阀部中所述手柄50相对于所述固定块520、530向上方向突出而暴露。

所述第一固定块510构成为具有沿Y轴方向的长度的四角桶状，在所述Y轴方向的一侧面结合有所述第二固定块520，在X轴方向的一侧面配备有第一对准部512。

所述第一对准部512可以由在所述X轴方向的一侧面凹陷地形成的对准销插入槽512构成。

所述下部模块3形成为在能够相对于上部模块2进行水平方向移送的同时，还能够进行垂直方向的升降移送。

所述第一对准部512构成为在下部模块3进行水平方向移送时，通过与配备在下部模块3的第二对准部351的结合而实现容器10的对准。

所述第二对准部351可以由从后述的下部模块3的对准块350沿作为与所述对准销插入槽512相对向的方向的X轴方向突出而具有水平方向的长度的对准销351构成。

通过使所述对准销351被插入到所述对准销插入槽512，从而实现所述容器10的对准。

虽然本实施例中示出了第一对准部512构成为对准销插入槽，第二对准部351构成为对准销的情形，但也可以将第一对准部构成为对准销，将第二对准部构成为对准销插入槽。

并且，虽然本实施例中示出了对准销被插入到对准销插入槽的情形，但并不限于此，也可以构成为第一对准部与第二对准部紧固或者结合的情形。将所述第一对准部和第二对准部被插入、紧固、结合的方式统称为“结合”。

在所述第一固定块510，在与所述第一对准部512相邻的位置配备有第一结合部511，并且在所述下部模块3的对准块350配备有与所述第一结合部511实现结合的第二结合部352。

所述第一结合部511可以由所述第一固定块510中的与形成有所述第一对准部512的面相同的面沿X轴方向凹陷地形成的固定槽511构成。

所述第二结合部352可以由在与所述第二对准部351相邻的位置的对准块350向所述第一结合部511突出的固定块结合部件352构成。

在所述固定块结合部件352的外侧面配备有多个凸起352a，所述多个凸起352a通过配备在内部的弹簧(未示出)而被弹性支撑。在所述固定槽511的内部形成有使所述凸起352a插入的凸起插入槽(未示出)。如果所述固定块结合部件352插入到所述固定槽511，则所述凸起352a被插入到所述凸起插入槽，从而可以防止所述固定块结合部件352从所述固定槽511脱离，进而使所述下部模块3维持结合在所述第一固定块510的状态。

在从所述固定槽511拉出所述固定块结合部件352的情形下，如果供应空气(air)而使所述凸起352a克服所述弹簧的弹性力并从固定块结合部件352的表面向内侧移动，则所述凸起352a从所述凸起插入槽脱离。因此，所述固定块结合部件352能够从固定槽511脱离。

在所述上部模块2可以配备有移送引导件(未示出)，以能够分别向X轴、Y轴以及Z轴方向移送所述下部模块3。如果操作人员用手抓住所述下部模块3并对其沿轴方向施加力，则下部模块3可以向X轴、Y轴以及Z轴中的某一个方向被移送。并且，可以通过这种下部模块3的移送而实现第一对准部512和第二对准部351的结合，通过这种结合可以实现容器10的对准。

在所述下部模块3配备有：多个壳体311、312、313、314；盖体分离部320；连接器紧固部330、子模块移送机构340、对准块350、插塞模块360、密封垫供应部370以及密封垫移送部380。

所述多个壳体311、312、313、314构成为包括：上部壳体311，在所述下部模块3的上部配备为板状；第一侧面壳体312、第二侧面壳体313，分别结合在所述上部壳体311的Y轴方向两侧；下部壳体314，从所述上部壳体311向下侧相隔，两侧与所述第一侧面壳体312和第二侧面壳体313结合。

所述上部壳体311和第一侧面壳体312、第二侧面壳体313以及下部壳体314配备为围绕所述下部模块3的前后方以外的上部和下部以及两侧部。

所述盖体分离部320从所述阀连接器30分离覆盖阀连接器30的盖体31，其中所述阀连接器30配备于所述阀部。

所述盖体分离部320形成有槽，以使所述盖体31被插入到内部，如果在所述盖体31被插入到所述盖体分离部320的槽的状态下驱动旋转机构(未示出)而旋转所述盖体分离部320，则所述盖体31从所述阀连接器30分离。与此相反地，可以驱动所述旋转机构将从所述盖体分离部320分离的盖体31结合到所述阀连接器30。

所述连接器紧固部330包括：连接配管连接器331，连接到气体需求处；连接配管连接器壳体332(图7)，围绕所述连接配管连接器331的外侧。所述连接器紧固部330配备为能够将所述连接配管连接器331连接到所述阀连接器30。如果在所述连接器紧固部330和阀连接器30连接的状态下旋转手柄50而开放阀，则容器10内部的气体通过阀连接器30和连接配管连接器331供应至气体需求处。所述连接配管连接器331和连接配管连接器壳体332通过所述旋转机构的驱动而一起旋转。

所述子模块移送机构340将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地沿左右方向(Y轴方向)和前后方向(X轴方向)移送。所述子模块移送机构340可以构成为包括：第一移送机构340a，用于将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地沿前后方向移送；第二移送机构340b，用于将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地沿左右方向移送。

所述第一移送机构340a可以利用用于沿前后方向进行移送的移送引导件和用于通过供应空气(air)而施加移送力的气缸构成。并且，所述第二移送机构340b可以利用用于沿左右方向进行移送的移送引导件和用于通过供应空气(air)而施加移送力的气缸构成。

所述旋转机构旋转所述盖体分离部320和连接器紧固部330。所述旋转机构包括产生旋转力的马达和减速器，并且包括用于将所述旋转力传递至所述盖体分离部320和连接器紧固部330的旋转传递部件。

所述旋转传递部件将所述旋转力分别传递到盖体分离部320和连接器紧固部330，如果驱动所述马达，则所述盖体分离部320和连接器紧固部330将同时旋转。与此不同地，所述旋转机构还可以构成为配备有两个马达，并且利用所述两个马达使所述盖体分离部320和连接器紧固部330分别旋转。

可以配备有前方和后方被开放且围绕左右和上下的内部壳体315，以能够设置所述盖体分离部320和连接器紧固部330。所述内部壳体315能够与下部壳体314的上部结合。

所述对准块350以从所述内部壳体315的前方端部突出的方式结合，并且构成为大致的多面体形状。在所述对准块350的前方表面以向所述阀部突出的形状形成有作为第二对准部351的对准销351，在所述对准销351的侧部以向所述阀部突出的形状形成有作为所述第二结合部352的固定块结合部件352。

参照图3和图4说明插塞模块360。

所述插塞模块360构成为包括：插塞361，为了防止在阀连接器30和连接器紧固部330没有被紧固的状态下异物进入连接器紧固部330内部而结合在连接器紧固部330；插塞支撑部件362，用于支撑所述插塞361的端部；插塞支撑壳体363，所述插塞支撑部件362被结合而支撑；插塞移送引导件364，为了将所述插塞361、插塞支撑部件362以及插塞支撑壳体363一体地沿前后方向移送而起到引导作用；插塞移送驱动部365，提供用于将所述插塞361、插塞支撑部件362以及插塞支撑壳体363一体地沿前后方向移送的驱动力。

参照图3和图5说明密封垫供应部370。

所述密封垫供应部370是为了供应在更换容器10时用于安装到连接配管连接器331与阀连接器30之间的新的密封垫(gasket)的部件，包括：收纳部372，收纳多个密封垫371a；密封垫收纳部移送机构373，用于沿前后方向移送所述密封垫收纳部372。

所述密封垫收纳部移送机构373可以构成为包括：移送引导件，引导沿前后方向的移送；驱动部，提供驱动力以能够随着所述移送引导件而被移送。

在所述密封垫收纳部372以竖立的状态配备有多个密封垫371a，构成为在后述的密封垫夹持器381夹持位于一侧边沿的密封垫后使其能够通过作为形成在密封垫收纳部372的开口部的密封垫排出部372a脱离。

参照图3和图6说明密封垫移送部380。

所述密封垫移送部380构成为包括：密封垫夹持器381，为了夹持密封垫而利用一对密封垫夹持器部件381a、381b构成；密封垫夹持器操作机构382，用于使所述一对密封垫夹持器部件381a、381b以彼此靠近或者彼此远离的方式操作；第一密封垫夹持器移送机构383，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382一体地沿前后方向移送；第二密封垫夹持器移送机构384，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382以及第一密封垫夹持器移送机构383一体地沿左右方向移送。

所述第一密封垫夹持器移送机构383和第二密封垫夹持器移送机构384可以利用用于在前后方向和左右方向上引导移送的移送引导件和提供驱动力以能够随着所述移送引导件被移送的驱动部构成。

参照图7说明连接配管连接器移送机构335。

所述盖体分离部320和连接器紧固部330可以通过第一移送机构340a实现向前方和后方的直线移送。虽然也可以构成为驱动所述第一移送机构340a而将连接配管连接器331结合到所述阀连接器30，但由于通过所述第一移送机构340a的驱动，包括分离部320和连接器紧固部330而用于使盖体分离部320和连接器紧固部330旋转的整个构成部件会一同被移送，因此由于其重量，在将连接配管连接器331结合到阀连接器30时可能产生冲击。

为了防止这种问题，可以构成为与第一移送机构340a独立地配备了连接配管连接器移送机构335，从而在将连接配管连接器331结合到阀连接器30的情形下，不驱动第一移送机构340a，而是驱动连接配管连接器移送机构335，以仅使连接配管连接器331沿前后方向移送。

所述连接配管连接器移送机构335可以包括：连接器卡接部件335-1，下部的一部分被插入到形成在连接配管连接器331的端部的槽(未示出)，从而实现与连接配管连接器331的卡接；卡接轴335-2，卡接到所述连接器卡接部件335-1的上部并配备为能够被沿前后方向直线移送；驱动部(未示出)，提供驱动力以使所述卡接轴335-2能够被沿前后方向直线移送；引导轴335-3，在所述卡接轴335-2被直线移送的情形下起到引导功能。

在所述阀连接器30和连接配管连接器331彼此相邻地布置的状态下，如果驱动所述连接配管连接器移送机构335的驱动部，则所述卡接轴335-2、被卡接在所述卡接轴335-2的连接器卡接部件335-1、卡接在所述连接器卡接部件335-1的连接器331被一体地移送到后方，从而使连接配管连接器331结合到阀连接器30。

在此情形下，连接配管连接器331可以在结合到阀连接器30时通过旋转机构的驱动而同时实现旋转。并且，由于所述盖体分离部320、用于旋转盖体分离部320和连接器紧固部330的构成部件不与所述连接配管连接器331一起被移送，因此在连接配管连接器331与阀连接器30结合时可以最小化冲击。

此外，配备有控制部，控制部控制所述子模块移送机构340、旋转机构、插塞移送驱动部365、密封垫收纳部移送机构373、第一密封垫夹持器移送机构383、第二密封垫夹持器移送机构384，从而用于控制本发明的气体供应装置。并且，配备有用于将安装在所述阀连接器30与连接配管连接器331之间的第二密封垫分离后回收的密封垫回收部390。

参照图8至图17说明更换容器10时进行的密封垫更换方法。

图8至图13示出了在容器10的阀连接器30与连接配管连接器331之间安装新的密封垫(第一密封垫)的过程，图14至图17示出了分离并去除安装在容器10的密封垫(第二密封垫)的过程。

图8示出了用于更换密封垫的初始状态。虽然在图8未示出，但其为第一对准部512和第二对准部351已经结合而实现了容器10的对准的状态。密封垫夹持器381与密封垫供应部370相隔，并且与连接器紧固部330也相隔。将此时的各部件的位置称作“初始位置”。

参照图9，在图8的状态下驱动密封垫收纳部移送机构373而将密封垫收纳部372向后方移送至密封垫夹持器381的位置。在此状态下，驱动密封垫操作机构382以使一对密封垫夹持部件381a、381b彼此靠近，则密封垫收纳部372中位于最后方的一个第一密封垫371a被夹持到一对密封垫夹持部件381a、381b之间。

参照图10，在图9的状态下驱动第二密封垫夹持器移送机构384将夹持了第一密封垫371a的密封垫夹持器381移送到右侧，并再次驱动第一密封垫夹持器移送机构383而将密封垫夹持器381移送到后方，从而将第一密封垫371a结合到连接配管连接器331的前方端部。

在图10的状态下，如图11所示，在所述第一密封垫371a的中央部形成有孔，所述连接配管连接器331的前方端部形成有圆筒形状的突出部331a，以使所述突出部331a被插入到所述第一密封垫371a的孔的方式实现第一密封垫371a与连接配管连接器331的结合。

参照图12，在图10的状态下同时驱动第二移送机构340b和第二密封垫夹持器移送机构384，从而将连接器紧固部330和夹持了第一密封垫371a的密封垫夹持器381向右侧方向进行第一次移送，之后同时驱动第一密封垫移送机构383和第一移送机构340a而使连接器紧固部330和夹持了第一密封垫371a的密封垫夹持器381向前方进行第二次移送，则连接配管连接器331会将第一密封垫371a置于之间而布置在靠近阀连接器30的后方的位置。在此情形下，驱动密封垫收纳部移送机构373而再次向前方移送密封垫收纳部372，使得变回初始位置。

由于以往将密封垫插入到连接配管连接器331的突出部331a，从而在连接配管连接器331结合于密封垫的状态被移送，因此具有密封垫从连接配管连接器331的突出部331a脱离的问题，但在本发明中，若如上所述地移送连接配管连接器331，则密封垫夹持器381以夹持第一密封垫371a的状态与连接配管连接器331一同被移送，因此可以防止第一密封垫371a从连接配管连接器331脱离的情形。

参照图13，在图12的状态下驱动密封垫夹持器操作机构382而使一对密封垫夹持部件381a、381b彼此远离，从而解除第一密封垫371a的夹持状态，并驱动第二密封垫夹持器移送机构384而将其移送至左侧。在此情形下，第一密封垫371a将维持被插入到连接配管连接器331的突出部331a的状态。并且，在驱动旋转机构而使连接器紧固部330旋转的同时驱动连接配管连接器移送机构335而将连接配管连接器331移送至前方，从而将连接配管连接器331和阀连接器30结合。

在通过如上所述的过程而使第一密封垫371a介于连接配管连接器331与阀连接器30之间的状态下，实现连接器紧固部330和阀连接器30的结合。如果实现所述连接器紧固部330和阀连接器30的结合，则阀开闭模块4使手柄50旋转而打开阀，从而使容器10的气体通过连接配管连接器331被供应至气体需求处。

参照图14至图17说明分离和去除被安装在容器10的第二密封垫371b的过程。

参照图14，驱动旋转机构和连接配管连接器移送机构335而解除连接配管连接器331与阀连接器30的结合，并驱动第一密封垫移送机构383和第二密封垫夹持器移送机构384以及密封垫夹持器操作机构382而使密封垫夹持器381从初始位置被移送，密封垫夹持器381夹持位于连接配管连接器331与阀连接器30之间的第二密封垫371b。

参照图15，在图14的状态下，驱动第一移送机构340a、连接配管连接器移送机构335以及第一密封垫夹持器移送机构383而使密封垫夹持器381在夹持第二密封垫371b的状态下向后方进行被第一次移送，并驱动第二移送机构340b和第二密封垫夹持器移送机构384而使密封垫夹持器381在夹持第二密封垫371b的状态下与连接器紧固部330一起向左侧被第二次移送。

在以往的气体供应装置中，在从阀连接器30分离连接配管连接器331时，第二密封垫371b可能不与连接配管连接器331一起被分离而残留在阀连接器30。即，如果在连接配管连接器331和阀连接器30将所述第二密封垫371b置于之间而结合的状态下经过预定时间，则所述第二密封垫371b和阀连接器30接触的面被挤压。在此状态下，如果从阀连接器30分离连接配管连接器331，则第二密封垫371b可能粘在阀连接器30的接触面，从而第二密封垫371b不与连接配管连接器331一起被分离而残留在阀连接器30。如果在这种状态下将新的第一密封垫安装到连接配管连接器331与阀连接器30之间，则未被去除而残留的第二密封垫和新的第一密封垫被双重安装，从而具有气体泄漏的风险。

在本发明中，由于密封垫夹持器381在夹持第二密封垫371b的状态下将第二密封垫371b从阀连接器30分离，因此可以防止第二密封垫371b粘在容器10的阀连接器30而与第一密封垫371a一起在连接配管连接器331与阀连接器30之间被双重安装密封垫的情形。

参照图16，在图15的状态下，驱动第一密封垫夹持器移送机构383而向前方移送夹持了第二密封垫371b的密封垫夹持器381，然后驱动密封垫夹持器操作机构382而解除密封垫夹持器381的夹持状态。通过解除所述密封垫夹持器381的夹持状态，使第二密封垫371b被回收到密封垫回收部390。

参照图17，在图16的状态下，驱动第二密封垫夹持器移送机构384，从而将密封垫夹持器381移送至左侧回归初始位置。

虽然以上以气体供应装置利用上部模块2和下部模块3构成的结构为例进行了说明，但并不限于此，可以应用于多种结构。

并且，虽然以手动地进行容器10的对准的气体供应装置为例进行了说明，但并不限于此，也可以应用于自动地进行容器10的对准的气体供应装置。

如前所述，虽然以优选实施例为例详细说明了本发明，但本发明并不限于前述的实施例，可以在权利要求书和发明的详细说明以及附图的范围内进行多种变形而实施，并且这些也属于本发明。