具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

实施例一

本发明实施例提供了一种翘曲片检测方法，应用翘曲片检测装置进行检测，其中翘曲片检测装置包括弹性材质的检测头，以及与检测头连通的流量传感器；图1是本发明实施例一提供的一种翘曲片检测方法流程图，参考图1，翘曲片检测方法包括：

S10、控制将检测头安装于预对准台上的待检测位置。

具体的，将检测头安装于预对准台上，检测头在预对准台上的位置即为待检测位置。可以先确定待检测位置以及待检测位置的个数，将相应个数的检测头安装在对应的待检测位置上；或者可以通过移动一个检测头先后到不同的待检测位置进行检测以减少检测头的数量。检测头的布局方式比较灵活，其中具体布局方式可以参考本发明下述实施例。其中检测头的材质具备弹性，弹性材质可以为硅胶或弹性塑料等。检测头形状优选为空心圆柱型，空心圆柱型的检测头截面为圆环形。

若设置多个检测头时，需要保证各检测头凸出于预对准台承载待检测片的表面相同高度。各检测头凸出预对转台承载待检测片的表面相同高度，可以使得待检测片放置于预对准台表面后，各个待检测位置所安装的待检测头从同一高度被压缩而发生形变，即保证在检测前各个待检测头的初始条件相同，进而保证对于待检测片需要检测的表面中，连线与预对准台承载待检测片表面平行的两待检测位置处检测头发生形变大小相同，而连线与预对准台承载待检测片表面(以下简称第一表面)不平行的两待检测位置处检测头发生形变大小不同。因检测头的形变量与翘曲高度值直接相关，翘曲高度值等于在垂直于预对准台承载待检测片的表面的方向上检测头凸出预对准表面的高度，即翘曲高度值h＝h3-h4，其中h3为在放置待检测片之前各检测头凸出预对转台承载待检测片的表面的高度，h4表示待检测头所产生的形变量，因此设置各检测头凸出预对转台承载待检测片的表面相同高度，可以保证翘曲高度值计算的准确性。

S20、控制将待检测片放置于预对准台表面，待检测片覆盖检测头。

可选的，待检测片可以是正片晶圆或衬底等。具体的，控制将待检测片上传到预对准台的表面，并且保证待检测片放入预对准台上后，每个检测头被待检测片压住。由于待检测片具有重力，检测头在待检测片重力的作用下发生弹性形变。若待检侧片表面绝对平整，那每个检测头发生的弹性形变相同；若相邻的两个检测头发生的弹性形变不同，则待检侧片表面具有一定的翘曲度。

S30、通过流量传感器测量待检测位置的气体流量值。

具体的，每个检测头靠近预对准台的一端都与一个与其对应的流量传感器相连接，检测头与流量传感器之间通过气体输送分管路连通，气体输送分管路可以设置在预对准台内部以避免管路的体积影响检测头的弹性形变量。流量传感器的另一端通过气体输送分管路与稳压气阀连通，每个稳压气阀连通的另一端连接在一条气体输送主管路上，气体输送主管路设置一个总阀门。总阀门的一端与连接各个气体输送分管路的气体输送主管路连通，总阀门的另一端与气罐连通；其中气罐通过真空气源提供负气源。控制主阀门的开闭以及每条气体输送分管路上的稳压气阀的开闭来控制是否有气流流过流量传感器，通过流量传感器测量待检测位置的气体流量值。

S40、根据气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值；其中翘曲高度值为在垂直于预对准台承载待检测片的表面的方向上检测头凸出预对准承载待检测片的表面的高度。

具体的，若待检测片表面绝对平整，那每个检测头发生的弹性形变相同，通过流量传感器测量所有的待检测位置的气体流量值相同。若相邻的两个检测头发生的弹性形变不同，则待检侧片表面具有一定的翘曲高度，其对应位置上的流量传感器测量到的气体流量值不同。气体流量值越大，待检侧片表面具有的翘曲高度值越大。气体流量值与翘曲高度值之间存在一定的预设对应关系，可以根据气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值，可选的，该预设对应关系可以在对待检测片进行检测前由实验得到。

本发明实施例提供的一种翘曲片检测方法包括：控制将检测头安装于预对准台上的待检测位置，各检测头凸出于预对准台承载待检测片的表面相同高度；控制将待检测片放置于预对准台表面，待检测片覆盖检测头；通过流量传感器测量待检测位置的气体流量值；根据气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值。本发明实施例提供的技术方案通过流量传感器测量不同检测位置上气体流量值，其中该气体流量值与弹性检测头的形变量相对应，不同的气流量体值对应检测头形变量不同，相应的，检测头在垂直于预对准台承载待检测片的表面的方向上检测头凸出预对准承载待检测片的表面的高度(翘曲高度值)不同；再根据气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值。本发明实施例提供的技术方案通过气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系即可确定出待检测片在各待检测位置的翘曲高度值，算法简单；并且所应用的翘曲片检测装置体积较小且成本较低，相对于现有检测装置及方法，简化了翘曲片检测算法，能够快速准确的获得待检测片的翘曲高度，提高了检测装置布局的灵活性，并且降低了检测装置的成本和所占空间。

实施例二

本发明实施例提供了一种翘曲片检测方法，在实施例一的基础上，本发明实施例对翘曲片检测方法进行了补充和细化。其中翘曲片检测设备包括至少两个弹性材质的检测头，各检测头凸出于预对准台承载待检测片的表面相同高度。

图2是本发明实施例二提供的一种翘曲片检测方法流程图，参考图2；翘曲片检测方法包括：

S210、控制将已知面型的片体放置于预对转台承载所述待检测片的表面，根据检测头在垂直于预对准台承载待检测片的表面的方向上的高度变化与流量传感器的电压数据，对转换系数进行校正。

具体的，转换系数需要在计算前进行校正。在对待检测片测量前，对一片已知面型的衬底进行测量，通过垂直于预对准台承载待检测片的表面的方向上检测头凸出预对准承载待检测片的表面的高度的变化与流量传感器的电压值之间的数据进行对比，进行校准转换系数K，进一步的保证了测量结果的准确性；其中对于转换系数用于表征流量传感器的电压值与翘曲高度值之间的关系，具体可参见本实施例中流量传感器的电压值与翘曲高度值的第二对应关系。

S220、控制将检测头安装于预对准台上的待检测位置，各检测头凸出于预对准台承载待检测片的表面相同高度。

S230、控制将待检测片放置于预对准台表面，通过吸附真空阀完成对预对准台上待检测片的吸附，待检测片覆盖检测头。

具体的，将待检测片放置于预对准台表面后，还需要对待检测片进行加固，防止待检测片的滑落或移动；打开预对准台的吸附真空阀，完成对预对准台上待检测片的吸附。对待检测片施加吸附力，防止了待检测片的滑落或移动。

S240、通过流量传感器测量待检测位置的气体流量值。

S250、根据气体流量值与流量传感器的电压值的第一对应关系确定待检测位置的流量传感器的电压值；利用测校系统的测校得到的流量传感器的电压值与翘曲高度值的第二对应关系确定待检测位置的翘曲高度值。

具体的，气体流量值与流量传感器的电压值之间存在一定的对应关系，流量传感器可以根据采集到的气体流量值得到该气体流量值对应的流量传感器的电压值。流量传感器的电压值与翘曲高度值之间存在一定的对应关系，利用测校系统的测校得到的流量传感器的电压值与翘曲高度值之间存在的对应关系，进而确定待检测位置的翘曲高度值。

可选的，利用测校系统的测校得到的流量传感器的电压值与翘曲高度值的第二对应关系为

h＝KV；其中h为翘曲高度值，V为流量传感器的电压值，K为测校系统的转换系数。

具体的，测量到每个流量传感器的电压值后，通过电压值与测校系统的转换系数做乘法运算，得到的乘积为待检测位置上待检测片的翘曲高度值。转换系数在计算前已进行过校正(具体在上述步骤210中进行了校正)，保证了测量结果的准确性。

S260、根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布。

具体的，图3是本发明实施例二提供的一种检测头一维空间排布方式示意图，参考图3；检测头70的布局方式可以是直线型的，若设置待检测位置为一维的，可获得一维空间上的翘曲度分布。即每个检测头70的底端(靠近预对准台表面的一端)在待测片80与预对准台90之间的同一水平线上，根据两点确定一条直线的原理，在检测移位空间的翘曲度分布时，检测装置至少设置两个待检测位置，检测装置设置至少两个检测头70，各检测头凸出于预对准台承载待检测片的表面相同高度。为简化计算，若设置的检测头的数量大于两个，则根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布。检测头也可以以“十”字形排布(例如，包括四个检测头时，可以每两个检测头分别位于“十”字形的一条直线上)，实现直线型的排布方式即可。

可选的，根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布基于以下确定：

θ＝arctan((h1-h2)/X)，其中h1、h2分别为所述待检测片在相邻两个待检测位置的翘曲高度值，X为相邻两个检测头之间的距离。

通过以上公式获取到一维空间上的翘曲度分布时，则可根据翘曲度分布确定待检测片是否满足对翘曲度的要求，进而可以在入光刻机内循环曝光之前，设法将翘曲度过大的片体剔除掉，可以降低光刻返工率和提升产品良率。

本发明实施例提供的翘曲片检测方法，其中根据气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系具体包括：根据气体流量值与流量传感器的电压值的第一对应关系确定待检测位置的流量传感器的电压值；利用测校系统的测校得到的流量传感器的电压值与翘曲高度值的第二对应关系确定待检测位置的翘曲高度值。根据气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值之后，还包括根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布。将待检测片放置于预对准台表面之后还包括：通过吸附真空阀完成对预对准台上待检测待检测片的吸附。能够快速准确的获得待检测片的翘曲度，提高了检测装置布局的灵活性，并且降低了检测装置的成本和所占空间；并进一步的提高测量结果的准确性，实现一维空间上的翘曲度分布的确定。

实施例三

本发明实施例提供了一种翘曲片检测方法，在实施例二的基础上，本发明实施例对翘曲片检测方法进行了补充。其中翘曲片检测设备包括至少三个弹性材质的检测头，各检测头凸出于预对准台承载待检测片的表面相同高度。图4是本发明实施例三提供的一种翘曲片检测方法流程图，参考图4；翘曲片检测方法包括：

S310、控制将已知面型的片体放置于预对转台承载所述待检测片的表面，根据检测头在垂直于预对准台承载待检测片的表面的方向上的高度变化与流量传感器的电压数据，对转换系数进行校正。

S320、控制将检测头安装于预对准台上的待检测位置，各检测头凸出于预对准台承载待检测片的表面相同高度。

S330、控制将待检测片放置于预对准台表面，通过吸附真空阀完成对预对准台上所述待检测片的吸附，待检测片覆盖检测头。

S340、通过流量传感器测量待检测位置的气体流量值。

S350、根据气体流量值与流量传感器的电压值的第一对应关系确定待检测位置的流量传感器的电压值；利用测校系统的测校得到的流量传感器的电压值与所述翘曲高度值的第二对应关系确定待检测位置的翘曲高度值。

可选的，利用测校系统的测校得到的流量传感器的电压值与所述翘曲高度值的第二对应关系为

h＝KV；其中h为翘曲高度值，V为流量传感器的电压值，K为测校系统的转换系数。

S360、根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布。

可选的，根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布基于以下确定：

θ＝arctan((h1-h2)/X)，其中h1、h2分别为所述待检测片在相邻两个待检测位置的翘曲高度值，X为相邻两个检测头之间的距离。

S370、根据至少两个一维空间上的翘曲度分布获得二维空间上的翘曲度分布。

具体的，翘曲片检测装置包括至少三个弹性材质的检测头，图5是本发明实施例三提供的一种检测头二维空间排布方式示意图，参考图5；检测头70的排列方式可以不在同一条直线上，若设置待检测位置S为二维的，可获得二维空间上的翘曲度分布。俯视待检测片80，检测头70的位置可以在半径不同的同心圆圆弧上，即检测头70距圆心的距离不同，且至少有三个检测头70不再同一直线上，各检测头凸出于预对准台承载待检测片的表面相同高度。根据两点确定一条直线以及两条不重合的直线确定一个面的原理，可以根据至少两个一维空间上的翘曲度分布获得二维空间上的翘曲度分布，进而更加准确地确定待检测片的面型是否满足翘曲度要求。

本发明实施例提供的翘曲片检测方法，其中根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布之后还包括根据至少两个一维空间上的翘曲度分布获得二维空间上的翘曲度分布。能够快速准确的获得待检测片的翘曲度，提高了检测装置布局的灵活性，并且降低了检测装置的成本和所占空间；并进一步的提高测量结果的准确性，实现二维空间上的翘曲度分布的确定，进而更加准确地确定待检测片的面型是否满足翘曲度要求。

实施例四

本发明实施例提供了一种翘曲片检测装置，图6是本发明实施例四提供的一种翘曲片检测装置结构图，参考图6；该装置包括：

第一控制模块410，第一控制模块410用于控制将检测头安装于预对准台上的待检测位置；

第二控制模块420，第二控制模块420控制将待检测片放置于预对准台表面，待检测片覆盖所述检测头；

气体流量值获取模块430，气体流量值获取模块430用于通过流量传感器测量待检测位置的气体流量值；

翘曲高度值计算模块440，翘曲高度值计算模块440用于根据气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值，其中翘曲高度值为在垂直于预对准台承载待检测片的表面的方向上检测头凸出预对准承载待检测片的表面的高度。

本发明实施例提供的翘曲片检测装置，简化了翘曲片检测算法，能够快速准确的获得待检测片的翘曲高度，提高了检测装置布局的灵活性，并且降低了检测装置的成本和所占空间。

实施例五

本发明实施例提供了一种翘曲片检测设备，图7是本发明实施例五提供的一种翘曲片检测设备结构图，参考图7；该装置包括：

真空气源10、气体输送主管路20、至少两个检测头70和与检测头70一一对应的流量传感器60以及气体输送分管路100，其中真空气源10通过气体输送主管路20分别和气体输送分管路100与流量传感器50连通，流量传感器50通过气体输送分管路100与对应的检测头60连通，其中，检测头60采用弹性材质。

可选的，气体输送主管20路设置有气罐30和总气阀40，气罐30设置于真空气源10和总气阀40之间。

可选的，气体输送分管路设置有稳压气阀50，稳压气阀50设置于流量传感器60与总气阀40之间。

具体的，每个检测头70靠近预对准台的一端都与一个与其对应的流量传感器60相连接，检测头70与流量传感器60之间通过气体输送分管路100连通，气体输送分管路100可以设置在预对准台内部以避免管路的体积影响检测头70的弹性形变量。流量传感器60的另一端通过气体输送分管路100与稳压气阀50连通，每个稳压气阀50的另一端连接在一条气体输送主管路20上，气体输送主管路20设置一个总阀门40。总阀门40的一端与连接各个气体输送分管路100的气体输送主管路20连通，总阀门40的另一端与气罐30连通；其中气罐30通过真空气源10提供负气源。控制总阀门40的开闭以及每条气体输送分管路100上的稳压气阀50的开闭来控制是否有气流流过流量传感器60，通过流量传感器60测量待检测位置的气体流量值。

本发明实施例提供的翘曲片检测设备，所需占据的空间较小，成本低，且通过将检测头安装于不同位置实现灵活的空间布局提高了检测装置布局的灵活性，并且降低了检测装置的成本和所占空间。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。