阅读说明：本技术 一种新型溅镀工艺 (Novel sputtering process ) 是由 叶生政 郭玉 周明焕 于 2021-09-24 设计创作，主要内容包括：本发明属于镀膜领域,公开了一种新型溅镀工艺,包括以下步骤：步骤一：在800℃的恒温条件下将纳米发热涂层喷涂在微晶玻璃承载体上,然后在850℃的恒温条件下渗透烧结；步骤二：待纳米发热涂层与微晶玻璃承载体烧结一体后,再在800℃恒温条件将导电涂层喷涂在烧结好的纳米发热涂层上；步骤三：喷涂完成后,在800℃恒温条件下二次渗透烧结,使得导电涂层与纳米发热涂层烧结为一体。本发明通过导电涂层让纳米发热涂层得电,纳米发热涂层内部分子因电场的作用开始布朗运动,由分子将的相互碰撞产生热量并通过玻璃载体转换热,最后通过玻璃载体的扩散将热传递出去,实现玻璃载体的发热工作需求,且热扩散快、热转换效率高。(The invention belongs to the field of film coating, and discloses a novel sputtering process, which comprises the following steps: the method comprises the following steps: spraying the nano heating coating on a glass ceramic carrier under the constant temperature condition of 800 ℃, and then infiltrating and sintering under the constant temperature condition of 850 ℃; step two: after the nano heating coating and the microcrystalline glass bearing body are sintered into a whole, spraying the conductive coating on the sintered nano heating coating at the constant temperature of 800 ℃; step three: after the spraying is finished, secondary infiltration sintering is carried out at the constant temperature of 800 ℃, so that the conductive coating and the nano heating coating are sintered into a whole. According to the invention, the nano heating coating is electrified through the conductive coating, molecules in the nano heating coating start Brownian motion under the action of an electric field, the molecules collide with each other to generate heat and convert the heat through the glass carrier, and finally the heat is transferred out through the diffusion of the glass carrier, so that the heating work requirement of the glass carrier is realized, and the heat diffusion is fast and the heat conversion efficiency is high.)

一种新型溅镀工艺

技术领域

本发明涉及溅射镀膜技术领域，更具体的来说，提供了一种新型溅镀工艺。

背景技术

溅镀，是真空溅射镀膜的简称，是一种物理镀膜的方法.真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。

微晶玻璃又称微晶玉石或陶瓷玻璃，微晶玻璃是指在玻璃中加入某些成核物质，通过热处理、光照射，或化学处理等手段，在玻璃内均匀地析出大量的微小晶体，形成致密的微晶相和玻璃相的多相复合体，微晶玻璃可取代传统发热管，为工业烘烤提供全新一代热源方式，如工业烤炉、隧道炉、电镀烤炉，烟草烘干技术、农副产品加热烤干加工、家庭取暖、除湿食品烤炉等。

然而现有工艺技术在微晶玻璃表面喷砂增加表面积，增加涂层附着力，通常是采用在微晶玻璃上低温烧结或未烧结，使得喷涂颗粒大小不均，喷涂颗粒密度不均，影响烧结的深度与渗透，影响涂层的实密性，从而影响在升温过程中的热传递扩散性，同时也影响热转换率，影响微晶玻璃在使用过程中的热伸缩扩张牵引力，造成承载体损坏，进而造成较大的成本损失与生产损耗。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型溅镀工艺。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种新型溅镀工艺，包括以下步骤：

步骤一：在800℃的恒温条件下将纳米发热涂层喷涂在微晶玻璃承载体上，然后在850℃的恒温条件下渗透烧结；

步骤二：待纳米发热涂层与微晶玻璃承载体烧结一体后，再在800℃恒温条件将导电涂层喷涂在烧结好的纳米发热涂层上；

步骤三：喷涂完成后，在800℃恒温条件下二次渗透烧结，使得导电涂层与纳米发热涂层烧结为一体。

优选的，所述纳米发热涂层厚度为0.20-0.46mm。

优选的，所述导电涂层厚度为0.20-0.48mm。

与现有技术相比，本发明提供了一种新型溅镀工艺，具备以下有益效果：

(1)本发明通过导电涂层让纳米发热涂层得电，纳米发热涂层内部分子因电场的作用开始布朗运动，由分子将的相互碰撞产生热量并通过玻璃载体转换热，最后通过玻璃载体的扩散将热传递出去，实现玻璃载体的发热工作需求，且热扩散快、热转换效率高。

(2)本发明的微晶玻璃承载体渗透深、烧结均，热扩散快而均，承载体热伸缩扩张牵引力小，热转换效率高，温升高速度快，使用寿命长。

具体实施方式

下面将结合本发明的实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

一种新型溅镀工艺，包括以下步骤：

步骤一：在800℃的恒温条件下将纳米发热涂层喷涂在微晶玻璃承载体上，然后在850℃的恒温条件下渗透烧结；

步骤二：待纳米发热涂层与微晶玻璃承载体烧结一体后，再在800℃恒温条件将导电涂层喷涂在烧结好的纳米发热涂层上，纳米发热涂层厚度为0.20-0.46mm；

步骤三：喷涂完成后，在850℃恒温条件下二次渗透烧结，使得导电涂层与纳米发热涂层烧结为一体，导电涂层厚度为0.20-0.48mm。

在800-850℃的温度条件下可软化微晶玻璃表层晶状物，于常压状态做出近似电浆环境以求涂层界面环境离子化，使涂层以纳米化高速、低温喷涂、快速降温同化离子层，可省略高价、高温、低压等离子设备，降低成本；

经实验证明：采用800度恒温保温喷涂，850度恒温烧结，使喷涂颗粒密度结合度增大60％，使喷涂颗粒渗透层增加38％深度，从而让承载体的热扩散率提高45％，热传转换率提高35％，承载体的热伸缩扩张牵引力降低了45％，承载体不会在因为热伸缩扩张牵引力出现损坏，最高温度提高了45％，升温时间缩短了35-40％。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式；但本发明的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围内。