具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明所述具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，包括：

阳极筒本体1，所述阳极筒本体1安装在离子源支座的左端；

所述阳极筒本体1的内部安装有准直器本体2；

阴极杆3，所述阴极杆3安装在离子源支座上，且阴极杆3的内侧设置有标准陶瓷垫片5，并且标准陶瓷垫片5的内侧设置有接线柱6。

其中一种具体实施方式中，所述阳极筒本体1上还设置有一体式偏心孔,所述一体式偏心孔位于阳极筒本体内壁,所述准直器外壁具有与所述一体式偏心孔配合的凸起。

如图1所示的具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，包括阳极筒本体1、准直器本体2、阴极杆3、锁紧螺钉4、标准陶瓷垫片5和接线柱6，在使用时，阳极筒本体1的定位是依靠在一头加工铣扁形成的定位扁，定位扁为一个平面,并与阳极筒其他区域的圆弧线连接处形成一个折角,从而防止阳极筒本体1打滑，阳极筒在图1所示的高度方向则可依靠一对止口7进行定位，形成阳极筒本体1的定位结构，从而达到阳极筒本体1精准安装至离子源内部。

而准直器本体2则直接安装在阳极筒本体1内部，利用一体式偏心孔解决了准直器本体2打转的影响，一体式偏心孔与准直器外壁的凸起配合固定准直器，避免准直器本体2打转。且由于偏心孔与凸起配合后一体式偏心孔与准直器本体的底面形成密封，因此只需密封准直器本体2在图1所示的上下表面即可，从而减少密封面数量，提高气密性。

阴极杆3的定位通过依靠标准陶瓷垫片外型，使用锁紧螺钉4进行紧固阴极杆3，形成阴极杆3的定位结构，从而实现阴极杆3在离子源内部进行精准安装且紧固在离子源内部。

所述离子源外壳具有粗糙密封区9,所述粗糙密封区为韧性绝缘材料包覆在外壳上形成。离子源的气密性是依靠粗糙密封区的高粗糙度，使用螺栓紧固挤压具有韧性且表面粗糙的密封材料如橡胶或高分子聚酯材料等形成一个密封结构，从而达到更好的密封效果。与传统的工艺加工的离子源相比，在密封面的平整度为在0.01mm。当氢气通入至阳极筒时，离子源漏气率可降至1%以内。

优选的，所述接线柱位于所述粗糙密封区末端，所述粗糙密封区长度延长使接线柱的位置到达离子源支座的气水管路的连接处。此时可以使接线柱同时固定陶瓷垫片和气水管路的连接处，简化连接结构，并增加了粗糙密封区长度，提升密封效果。

离子源整体气水管路的连接处采用低温钎焊连接头10，相对常规方式，此方法在焊接过程中形变量小，密封性高，焊接环境为真空状态对各零件有保护作用；安装上与常用方式基本相同，先安装内部阴极与外部接线柱6，再安装上下支座和阳极筒本体1，最后与支撑架法兰12相连；对于阳极筒本体1更换只需拆除上下支座连接与支架连接取出阳极筒本体1即可，依靠定位扁达到方便快捷的更换。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，离子源结构优化在阴极杆和阳极筒的安装精度以及安装的工作效率有所提升，大幅度减少了离子源安装的工作量，提高离子源安装的工作效率，且在离子源整体的气密性方面也有着大幅度的提升，减少了氢气的损失量；且该离子源支座结构环境接受度高，制作成本合适，经济性好。

本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。